膜厚测试仪MProbe Vis
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名 称:膜厚测试仪MProbe Vis
型号:MProbe Vis
品牌:Semiconsoft
描述:薄膜厚度光学测量仪,快速、可靠的测量大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜,测量厚度范围: 15 nm-50 um。
服务热线:020-85666701
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MProbe Vis

薄膜厚度光学测量仪

MProbe让你成为测量专家 !

 

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (Paralene,PMMA,聚酰胺),薄金属薄膜等。

MProbe系统

精度

0.01nm or 0.01%

精确度

0.2% or 1 nm

稳定性

0.02nm or 0.03%

光斑尺寸

标准为3mm,可以小到3μm

样本大小

从1 mm 起

 


厚度范围: 
15 nm-50 um
波长范围: 400nm -1100 nm

LCD, FPD应用: ITO, 细胞间隙,聚酰胺。光学涂层: 介质滤波器,硬涂层,防反射涂层半导体和电解质: 氧化物,氮化物, OLED堆
实时测量和分析。各种多层次的, 薄的,厚的,独立和不均匀层。

丰富的材料库(500多种材料) – 新材料容易增添。

Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等
使用灵活:可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。
                 用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。

测量参数:厚度、光学常数、表面粗糙度。
界面友好强大: 测量和分析设置简单。
实用的工具:仿真和灵敏度分析,背景和缩放修正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和生产批量处理。


测量300 nm 硅氧化膜     

测量与模型数据拟合

主要参数

从硅晶片原反射比。信号最大(16位)。

积分时间:10ms

 光谱范围(nm)

 400-1100

 分光仪/检测器

 分光仪F4,Si CCD 3600像素,

16位ADC, 范围360-1100 nm

光谱分辨率

 <2 nm (标准)
 <1 nm (选项)

 光源

 卤钨灯(Xe填充)5W, 
CT 2800o
 使用时间: 10000 hrs

 反射比探测

 光导纤维(7纤维束),
 400&mu;m纤维芯

 精度

 <0.01 nm 或 0.01%

 准确度

 <1nm或0.2%

 重量

 4 kg

 尺寸

 8'' x 10'' x 4'' (WxDxH)

功率

 100-250VAC, 50/60 Hz
 20W

 

测量500nm AlN. 测量参数:厚度和表面粗糙度。 换算系数应用到正确的距离以改变配置。 

 

选配硬件

 -FLVis

Vis消色差聚焦透镜. WD:35mm.

光板尺寸:  <0.5mm.

 -LP500

长通滤片, 波长范围在500nm以下. 
用于测量光阻材料。(其他滤器可用)

 -FD Holder

样品架朝下.测量透明和柔韧的样本

 -TO

选配透射率

 -TO Switch

2通道开关,结合测量反射率和透光率.

 - 2oW

更改为20W (CT 3100o, 使用时间2000hrs)钨卤素灯.

 - HR

升级光谱仪分辨率<1nm

 - TR

在输入/输出触发5V TTL。1外部(输入)
触发器以开始测量,6输出触发器


软件选项

 -MOD

 基于Modbus标准远程控制(TCP)

 - CM

 不同测量与指定数量的测量和/或延迟

 

膜厚测量仪

包括MProbe、MProbe MSP、Mprobe Vis三大类型。

类型                  厚度范围                  波长范围                      光斑尺寸                  

MProbe             1nm - 1 mm              200nm - 5000nm          3μm - 3mm

MProbe MSP      1nm - 1 mm              200nm - 1700nm          4μm - 50μm

Mprobe Vis        15nm - 50 μm           400nm - 1100nm          3μm - 3mm

载物位移台

位移载物台包括:XY、MXY电动位移台、手动台。

XY电动位移台包括:150 x 150 mm, 200mm x 200mm, 300 x 300mm 游程。

具体根据样品的厚度范围选择合适型号的膜厚仪。


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