主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 产品描述：

电子显微镜必须操作在符合自身对周围环境的交直流磁场规范的场地.当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲.主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升电子显微镜的影像品质.SC24主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题.在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善电镜周围的磁场干扰.

感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。消磁系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。

减磁因子：

减磁因子是周遭磁场对削减磁场的一个比率。

下图为减磁因子对频率的比率图。

SC24是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。

消磁方法是产生一个宽频类比的反向回馈。内部微电脑控制系统产生反向磁场，并藉由数位信号处理量测磁场强度。

产品特点：

• 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求
• 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内
• 智能式的触控面板具备自动参数设定及直流磁场重置功能
• 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)
• 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器
• 使用交流感测探头针对 50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或:
• 使用直流感测探头针对电车产生的直流干扰或 50/60Hz的交流磁场干扰
• 控制器具有磁场产生测试功能
• 具备乙太网路及USB连接埠选项以提供远端操作及监控

主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 技术参数：

主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Spicer消磁器-直流消磁器-交流消磁器 SC22，现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降，而SC22主动消磁系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。SC22是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。AC线路场（50/60 Hz）减少50 x。SC22是继先前SC12的加强版，而SC22在全世界的安装数量已超过1000台。需要特别留意的是在电子束量测设备安装中的机械振动、声学噪声和接地回路会产生类似于磁场的成像干扰。SC22无法改善受这些其他干扰源影响的图像，因为它们不是磁场。

典型扫描电镜室安装：

产品特性：

• 提供稳定磁场环境，保护电子束技术方面的机台不受影响
• 针对环境全时段监控及主动消除交流电磁场
• 低消耗高性能系统
• 智能用户界面自动设定系统
• 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流电场干扰
• 包含 全3轴（X，Y，Z）系统
• 最大能消除 高达60 mG（6.0μT）的pk-pk范围
• 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内
• 具备USB连接埠选项提供监控

技术参数：

Spicer消磁器-直流消磁器-交流消磁器 SC22最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26，针对晶圆厂内磁场改变时会使电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主动式消磁系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升拍摄的影像品质,SC26是被优化的第四代消磁系统，用于抵消在300mm晶圆厂中机器人晶圆传输的高频场，通常在9kHz。SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统，对测量场进行数字化处理，但不属于反馈回路,SC26主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个200 kHz AC场感测探头及三轴向低电感场消除线圈组成，并安装在晶圆厂内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善仪器周围的磁场干扰，可以消除DC到9 kHz以上的磁场。感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。

SC26具有两个200 kHz AC磁场传感器（蓝色）的输入，可混合使用以优化电子束工具的性能。这样能抵消低至10 Hz的磁场。通过为每个输入通道添加一个“ Sensor SC24 / DC + AC”和一个传感器组合器，消除范围可扩展到DC。

300mm晶圆厂里的晶圆运输工具，会产生9kHz的磁场，限制了电子束工具的性能，并成为半导体技术发展的障碍。 SC26是一个宽频带系统，可以消除磁场，从AC至9kHz以上。为了获得宽频带，SC26消磁系统采用了低电感场对消安装在电子束工具外壳中的电缆。

SC26不能像SC24系统那样在“房间”安装中与较大的电缆一起使用，因为SC24系统的工作频率更低。

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26产品特点：

•  改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场规格的要求
• 从DC到> 9 kHz的实时宽带消除
• 适应10μs之内的磁场幅度和频率变化
• 触摸屏智能用户界面，具有自动设定和直流复位功能
• 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla或 Gauss)
• 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器
• 内置测试场发生器
• 以太网和USB端口用于远程操作和监视

技术参数：

磁场传感器：

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。