SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 产品描述：

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，平台,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了完美的解决方案。

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台技术参数（型号：PS4L M-12）：

• 产品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）
• 卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm
• θ移动：可转角度：360°粗调，>10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 平面性:5μm
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)
• 压盘位移：可选择固定和线性调节（线性调节范围：40mm粗调，200um微调）
• 显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜
• 显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 产品描述：

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 是一款模块化设计、价格适中、体积小巧的探针系统，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足实验室测量的需求。它配置完整，简单易操作，安装可经由客户完成，操作可在一小时内完成。Lab Assistant 探针台可以配置为直流或高频/微波测试配置，包括一系列精密配件，通常只在更大更昂贵的探针系统中使用。与之相比，一般情况下，这种功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和功能选项---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。此外，该探针台有50mm、100mm、150mm或200mm卡盘和支架可供选择，并可配备许多与PS4L系列探针台中所使用的相同的热卡盘、光学元件和操纵器。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 配置包括：

• 硬铝基座，带有橡胶隔振脚
• 晶圆平台粗调和细调，可更换级选项-封装部件或热部件
• 精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm), Y (25 mm) & Z (>20 mm)
• 粗略（360°）和精细（10°）θ调整
• 卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统
• 铝与不锈钢镀盘，附有可拆卸的前锲
• 精密测微计驱动压盘Z上升（13mm）
• 显微镜柱，附有同轴和线性显微镜X，Y移动100 mm x 100mm
• 7:1变焦(100x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm
• 两个DC MA-8005 操纵器，带磁性底座，面板和同轴探针臂（标准，For LA-xx DC）
• 两个DC MA-8000操纵器，带磁性底座和HF西/东探测臂（标准，For LA-xx HF）

技术参数（型号：LA-100 DC/HF）：

• 尺寸：420 mm X 540 mm X 535 mm
• 重量：32 kg
• 电源：AC 110/220V AC 50-60 Hz，20A
• 真空：23 Hg 或 -0.8 bar
• 基座：带橡胶隔振脚的实心铝刚性基座
• 卡盘X-Y轴移动：用于粗调的可调磁性滑轨（>100 mm）
• 微调-25 mm（X，Y）
• 整个支架可通过磁性基座轻松拆卸
• 卡盘Z移动：行程：20 mm
• θ移动：360°粗调，10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，高频等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 操纵器固定-磁性(标准)，真空(可选真空歧管)
• 压盘位移：测微计驱动调节压盘Z
• 显微镜安装：刚性铝柱（标准）或吊杆
• 显微镜移动：手动移动同轴和线性精密显微镜-100mm（X）和100mm（Y）

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 可选配件：

CCTV系统（摄像机、监视器和适配器）、操纵器、探针臂、探针、电缆、光学隔振台，暗箱等

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台 采用PS4L专利技术制造了一系列真空探测系统，可在真空环境中测试晶片或基板。此外，单个模具和破损/部分晶圆可以用真空探测系统进行测试。所有关键模块都可以更换和升级。SA-xVP半自动真空探针台可用于芯片、部分晶圆和整个晶圆（200mm以下）的研发至生产中。该真空探针台是MEMS、传感器、开关、微测热辐射计或真空封装产品的理想选择。可根据客户需求进行定制，以满足各种应用和预算。

Probe System for Life (PS4L) 探针台：

Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台 采用了SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 探针台中所有的基础模块-基座，支架,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的。这使得 PS4L探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了完美的解决方案。更重要的是，PS4L可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

真空系统：

半自动探针系统将在真空环境中测试200mm以下的晶圆或基板。也可以测试单个芯片和破碎/部分晶圆。该系统是使用SemiProbe的PS4L自适应架构构建的。所有关键模块都是可互换的，以提供无与伦比的灵活性。该系统非常适合于研究、实验室或试生产应用。可更换的模块使其易于转换，为各种应用提供测试解决方案-直流、高频、光电、微机电系统、纳米技术等等。该系统易于定制，以满足各种应用和预算。所有模块都是可更换的，可以根据需要添加许多附件。有几种不同类型的真空泵和控制器可满足各种真空度。

技术参数：

型号：SA-4VP

• 晶圆/基板尺寸：100mm
• 晶圆卡盘：可达100mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：105 mm x 105 mm

型号：SA-6VP

• 晶圆/基板尺寸：150mm
• 晶圆卡盘：可达150mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：155 mm x 155 mm

型号：SA-8VP

• 晶圆/基板尺寸：200 mm
• 晶圆卡盘：可达200mm
• 卡盘支架行程（X,Y)：205 mm x 205 mm

• 精确度：+/- 3.0μm
• 分辨率：0.1 μm
• 重复精度：+/- 0.5 μm
• Z轴行程：15mm
• Z轴分辨率：0.5μm
• Z轴重复精度：+/- 1.5 μm
• θ转轴：+/- 4度
• 电动机：带编码器的直流步进电动机
• 卡盘支架的真空吸力：10^-5 torr
• 信号和驱动隔板：同轴、三轴或25针D连接器
• 设备触点：最多8个可编程操纵器（要求选择腔室顶部）
• 探针卡：圆形或矩形-工业标准4.5“x 12”
• 腔室顶部：2个标准腔室顶部-探针卡应用的平顶部和可编程操纵器应用的高顶部
• 热卡盘：尺寸和温度可选。典型:-65^oC-300^oC
• 光学元件/显微镜移动：50x50mm(标准)-手动或可编程
• 光学元件Z轴行程：50mm-100mm - 手动、气动或可编程
• 光学元件/显微镜：立体变焦、复合变焦、变焦管、AZoom
• 变焦范围：2x-40x，取决于所选的显微镜
• 放大倍数：7x-400x，取决于所选的显微镜
• 精密真空控制：MKS仪器精密真空控制提供100torr - 1mtorr的真空度控制
• 真空泵系统：双极泵系统，降至10-6 torr
• 泵类型：旋转叶片、涡旋、涡轮分子或TPS紧凑型（粗加工和涡轮分子）

配件：

• 操纵器、探针臂、探针头、探针卡夹、CCTV系统、激光切割机、
• Polytec MSA-500运动分析仪、红外黑体、热卡盘

PILOT软件显示:

PILOT软件主屏幕显示与导航仪和晶圆映射模块，显微镜和操纵器控制和集成视频显示

Semiprobe半自动真空探针台-半自动真空光电探针台-高低温真空探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 产品描述：

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，卡盘支架，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L 也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 PILOT控制软件：

SemiProbe的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作，软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上，客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准，功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

技术参数（型号：PS4L FA-6）：

• 产品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm
• 重量：240Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道： NEMA 17步进电机，光学线性编码器
• 行程:155*155mm（可升级）
• 速度：50mm/s(最大)
• 平面性:±8μm
• 分辨率:0.1μm
• 精度：±3μm
• 重复性：±0.5μm
• 卡盘Z轴轨道：行程：15mm
• 分辨率：0.5μm
• 重复性：±1.5μm
• θ移动：行程：±4°（可定制）
• 分辨率:0.00001°
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 压盘位移：可选择固定和线性调节
• 线性调节范围：40mm粗调，200um微调

可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台产品描述：

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，卡盘支架，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L 也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

PILOT控制软件：

SemiProb的半自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作，软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life(PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上，客户可增添控制模块来增加额外的功能和附件。其一般的功能比如2点校准，功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 技术参数（型号：PS4L SA-4）：

• 产品尺寸：900 mm x 650 mm x 750 mm
• 重量：80Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：NEMA 17步进电机，光学线性编码器
• 行程:105*105mm
•  速度：50mm/s(最大)
• 平面性:±6μm
• 分辨率:0.1μm
• 重复性：±0.5μm
• 精度：±3um
• 卡盘Z轴轨道：行程：15mm
• 分辨率：0.5μm
•  重复性：±1.5μm
• θ移动：行程：±4°（可定制）
•   分辨率:0.0008°
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 压盘位移：可选择固定和线性调节
•  线性调节范围：40mm粗调，200um微调

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台产品描述：

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 基于SemiProbe的专利探针系统(PS4L)自适应结构设计制造，提供了无与伦比的灵活性和强大功能。目前，越来越多的应用要求能够从模具或晶片的两面进行探测。SemiProbe的DSP解决方案可满足以下需求：

• 探针从两侧
• 探针从顶部，检测输出从底部
• 探针从底部，检测输出从顶部的双侧测试需求。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 与传统的探针系统不同，该系统所有的基础模块——基座、卡盘支架、卡盘、显微镜支架、显微镜移动、光学元件、操纵器等都是可更换升级的。这使得DSP能为许多不同应用提供完美的解决方案。独特的模块化设计使客户能够获得精确满足其要求的定制系统。更重要的是，随着环境或测试条件的变化，PS4L探针系统可以很容易地进行现场升级，以满足新的需求。与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本。

双面探针系统（DSP）的发展：

双面探针系统（DSP）最初是用于两个应用：失效分析和离散设备。失效分析（FA）的应用涉及到发射显微镜，它需要接触晶圆的顶部或活动面，同时使用增强型或红外相机从另一侧成像。晶圆片安装时通常背面朝上朝向发射相机，而上部朝下。这简化了查找故障位置和确定故障根本原因的过程。包括SemiProbe在内的一些公司都有这种应用的解决方案。根据发射显微镜的类型和制造商，探测的一面可以是顶面或底面。

第二种类型的DSP系统用于探测分立大功率器件，包括晶闸管、二极管、整流器、电压抑制器、功率晶体管和/或IGBT。由于测试这些设备所用的功率，通过偏置卡盘进行普通背面接触是无法获得准确的结果的。通过单独接触DUT（被测设备）的背面，可获得准确的结果。此外，由于这些测试中所使用的功率，通常需要多个探头。

随着半导体行业不断努力在降低成本的同时提高设备的性能，新技术正在成为产品设计和生产的主流，这些新技术需要DSP解决方案——MEMS、光电子、硅通孔等等。另一个新兴的DSP应用涉及在晶圆上方或下方安装太阳模拟器头，以刺激另一面偏压的装置。在设计工作和表征方面，SemiProbe已开创了一些创新的DSP解决方案来探测这些设备。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台技术参数：

• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 空气:最小流量100psi
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：手动或编程控制
• 行程:205*205mm
• 卡盘Z轴轨道：手动或编程控制
• 行程：最高可达20mm
• θ移动：手动（＞30°）或编程控制（±4°）
• 显微镜移动：手动或编程控制
• 行程：50x50mm-200x200mm
• 卡盘载体：75mm，100mm，150mm，200mm
• 部分晶圆片
• 芯片托盘
• 压盘材料：铝与镀镍钢
• 光学元件：

1. 显微镜：大多数为立体变焦，100x放大倍数
2. 底部：数码变焦镜
3. 相机：两个光学元件都有CCTV相机，通过视频开关连接到显示器上

可选配件：

包括隔振台、暗箱、探针卡、操纵器、探测臂和基座、探针，光学部件，CCTV 系统、其他晶圆片载体等

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。