主动隔振技术 随着超精密加工、精密测试等技术的发展，对环境的敏感程度也越来越高，被动隔振已经远远不能满足现在的要求。例如在精密光学领域，扫描隧道显微镜（STM）利用隧道效应及隧道电流原理而工作，STM在工作时，探针针尖与测试样品的距离很近（小于1nm），由于隧道效应，在探针与测试样品表面之间就会产生隧道电流并保持不变，隧道电流与隧道距离成指数关系，若表面有微小起伏，也将使得穿透电流发生成千上万倍的变化。这种携带原子结构的信息经过计算机的处理即可显示出一幅三维图像，其分辨率可达到0.01nm，放大倍数可达几亿倍。要达到这些效果，超精密类仪器必须搭配性能优秀的隔振装置。

主动隔振技术 工作原理

单自由度振动系统是最简单的振动系统，我们通过分析该系统来解释主动隔振原理。如图 1 所示，有阻尼单自由度隔振系统受外力F做一定规律的运动，主动隔振通过传感器（按所测机械量分有位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、应变传感器、扭振传感器、扭矩传感器，按机电变换原理分电动式、压电式、电涡流式、电感式、电容式、电阻式）检测到该系统的运动信息，该信息经过内置信号处理器的处理，反馈到执行电机中，执行电机产生一个与外力F大小相同，相位相反的力F₀，使得该系统的合外力为零，该系统处于平衡状态。当然，实际情况振动是以波的方式传播，根据波的叠加原理，振动波也可通过主动隔振系统被抵消。

实际的系统具有多个自由度，刚性系统都具有六个自由度，分别是x轴、y轴、z轴以及绕x轴、y轴、z轴的转动。所以主动隔振系统在每个自由度具备相应的传感器及执行电机。

主动隔振技术 系统响应

主动隔振，根据波的叠加原理，振动波被抵消，实际上不可能绝对做到这点，因为存在一定的响应时间，所以波没有完全被抵消，事实上还会存在一定的振动，但是由于振动被大幅度的降低，已经可以使得需要隔振的设备发挥其最大的性能。

相关产品

Table Stable 作为主动隔振领域的领导者，低功率压电技术与瑞士品质完美契合，铸就了AVI系列与TS系列产品。广州市固润光电科技有限公司作为Table Stable 在中国的代理商，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。

TS系列在水平轴隔振效果如图 2图 3所示：

在垂直方向隔振效果如图 4所示：

主动隔振技术最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

TS-140+40/LP工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：50 -170kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。TS150/LP/TP25 桌面式主动隔震台已经稳定的销售近20年，反应速度快，扁平化设计重心低，模块化设计灵活搭配为客户提供更多的选择，减振效果好，频响曲线一日了然，满足客户的各种需求。新推出的一些其他厂家主动减震台，不能提供完整的数据，没有经过时间的考验，有的甚至效果很差，完全不能满足客户测试需求。我们可以提供Herz多种样机试用。

工作原理：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS150/LP/TP25 产品特点：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台  技术参数：

• 型号：TS 150/LP/TP25              ※可选：TS-150/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS140-主动隔振台-用于卡西米力研究 波士顿大学的研究人员正在使用其定制计量平台进行开西米尔力研究，该平台由MEMs加速度计组成，该加速度计旨在用于对卡西米尔力进行敏感的室温测量。卡西米尔力是由于真空中的量子涨落而在金属表面之间以小于1um的间距出现的一个很小的pN标度力。 因为需要测量的力非常小，所以必须使加速度计的本底噪声尽可能低。由于该定制计量平台的机械噪声对研究产生了影响，研究人员正在寻找一种有效的方法来隔离该平台的噪声。为此，他们选择TS-140主动隔振台作为解决方案，以帮助消除定制计量平台的机械噪声。TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。当研究人员使用TS-140主动隔振台时，可以有效降低机械振动对定制计量平台的影响，从而增加了稳定性，有利于继续进行开西米尔力研究。

应用范围：卡西米尔力研究

设备：定制卡西米尔力计量平台，配备MEM传感器

最终用户：波斯顿大学，Alexander Stange

隔振系统：TS-140主动隔振台

TS-140主动隔振台是一款即插即用系统，采用研究级压电传感技术，能够实现六个自由度全方位隔振，还具备LCD实时显示（振动水平，重量分布等）。TS-140/LP主动隔振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！

TS140-主动隔振台-用于卡西米力研究最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动，而这些振动将可能对电干涉仪等精密仪器设备造成不利影响，导致测量数据不精确等。 隔振台，又称减振台或减震台，即是消除这些振动最有效的解决方案，是科学研究当中常用的一种光学平台，用于搭载各类高精度显微镜，干涉仪，轮廓仪，摩擦学，高精度计量等精密仪器设备，以消除影响测量的破坏性低频振动噪声，以便营造最适合该精密设备的实验环境条件。

隔振台主要分为两种类型：

1、电控的主动隔振台

2、利用材料特性的被动隔振台

1、什么是主动隔振台

主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。

主动减振台-隔振台-防震台的主动隔振频率为 0.7Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

HERZ的AVI系列主动隔振台：

HERZ的TS系列主动隔振台：

2、什么是被动隔振台

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

使用螺旋弹簧的隔振台也是被动式。Herz被动隔振台采用高阻尼处理技术和超高性能空气弹簧，完全集成且使用简单，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

 HERZ的DT系列被动隔振台：

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介 主动隔振台与被动隔振台的区别

两者的区别在于隔振方法。被动隔振台是由于材料特性（例如空气弹簧）而使用抗损失性（粘滞性，空气阻力等）的控件，而主动隔振台是被动隔振台控件的一部分，但使用专用振动（或振动）。该相位由控制系统进行电子调节（反相），该系统命令执行器获取由检测传感器获得的传感器信息。

当寺庙的钟声在外面回荡并发出响亮的声音时，请注意在钟声的内部中心附近会“减弱为小声音”的事实，请注意声音会在例如高速公路上逐渐减弱。外墙的开发很活跃。主动减振基座的想法可能是基于可以以相同方式消除振动的想法而开始发展的。除了首先想到的是一个非常有趣的领域。两者之间的最大区别在于，前者具有自然频率，而后者则没有。

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM，EM隔音箱是Herzan最新款电子显微镜隔音箱，采用模块化面板设计，可确保最大程度地防止泵，冷却器和其他扬声实验室设备产生的破坏性噪声。每个EM隔音箱都可以根据电子显微镜的特定要求和研究需求进行定制，包括隔音箱大小和功能，以确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求，确保研究人员从显微镜中获得最佳结果。

工作原理:

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

升级选项：

• 隔振台集成(AVI系列)
• 主动EMI消除系统集成(Spicer系统)
• 隔声性能升级
• 温度稳定性
• 定制尺寸和颜色
• 定制访问点和门

技术参数：

内部尺寸(W x D x H): 48 x 56 x 80 in/1,219 x 1,422 x 2,032 mm

外部尺寸 (W x D x H): 52 x 60 x 83.5 in/1,321 x 1,524 x 2,121 mm

隔音效果：

EM隔音箱内部覆盖有多层可变密度材料，可在宽频率范围上提供持续可靠的隔音性能。

-100 Hz降噪33dB

-500 Hz降噪37dB

-1,000 Hz降噪36dB

-1,500 Hz降噪36dB

-2,000 Hz降噪39dB

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM通过与AVI系列主动减振台和SC系列主动消磁器配合，一体消除外部因为振动声音磁场对测试产生的影响。

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable激励源-主动减振台激励源 (与正弦波发生器配对)可以将激励信号施加到任何HERZ 减振系统TS/AVI 系列，从而将平台转换为多方向振动器(X，Y和Z),避免外部振动。激励方向可以使用激励源正面的模式切换功能进行选择，但在平台需要用作主动减振平台时也可以禁用。

Table stable激励源-主动减振台激励源 技术参数：

• 型号：TMB/AMB
• 频率范围：2-100Hz
• 输入信号：正弦波，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp
• 尺寸(LxBxH)：170x103x43mm
• 重量：420g
• 应用环境：室内
• 保护等级：IP 20
• 温度范围：5°C - 40°C
• 相对湿度：10–90% (5–30°C)
• 配件：D-Sub 15 m/f电缆，使用说明书

使用说明-Table stable激励源-主动减振台激励源 ：

激励源允许将激励信号施加到TS/AVI隔振系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。通过对隔振系统进行调制，从而避免了外部振动。

利用配套电缆将激励源连接至隔振系统，无需独立的电源。用作振动器时，通常需要正弦波。这必须通过外部信号发生器提供。将信号连接至激励源输入插口，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp。

打开隔振系统并启用隔振，同时打开激励盒开关。可以通过模式开关选择不同的激励方向：

V表示垂直方向的激励，H1，H2表示水平方向的激励，如下图所示。

请注意，在扫描激励频率时，速度将在2-100Hz范围内保持大致恒定。超过此频率，根据负载，可能会出现一些谐振。 出于控制目的，应使用外部加速度计。

Table stable激励源-主动减振台激励源 TMB/AMB最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱 为了获得准确的图像，电子束、样品和探测器之间必须具有很高的连贯性，这使得仪器容易受到环境振动的影响。电子显微镜是相对大型的仪器，通常内置有被动振动隔离机制。但是，虽然它们对高频振动相对不敏感，SEM仍然极易受到低频振动的影响，尤其是建筑物的振动。SEM厂商制定了仪器正常运行的最大可接受电磁干扰，振动和声音噪声标准。在安装前，SEM厂商通常需要对振动测量设备进行现场勘测，如果现场不符合规范，则客户需要签署豁免书，表明仪器可能无法达到最佳性能。因此，将SEM放置在建筑物较高楼层或地震振动级别明显的区域时，通常需要辅助隔振系统。在这种情况下，建议使用主动防振台。

显微镜对EMI也很敏感，这是由于成像技术利用了电磁力电子。所以在安装SEM时，应注意不要将SEM放在靠近大量EMI来源的地方，例如电梯，移动车辆或HVAC机械。如果存在过多的EMI时，用户则需要在SEM周围构建一个大型EMI屏蔽层或安装EMI消除系统。

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱

电子显微镜正在推动纳米级技术的发展。SEM将样本图像放大一百万X倍以上来观察极小的特征尺寸，这就要求极其精确的数据质量和绝对的环境稳定性。

二十多年来，Herzan一直专注于研究环境稳定性，其产品涵盖了电子显微镜适用的所有形式的环境隔振系统，为无数应用（尤其是电子显微镜）提供声学，振动和EMI隔离解决方案。Herzan希望与全球研究人员合作，促进数据采集发展。

1、解决方案：AVI系列 （问题：振动噪音）

AVI系列是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。AVI系列能够提供一致且可靠的亚赫兹振动隔离性能，是在环境中遭遇低频振动噪声的所有电子显微镜的理想解决方案。

2、解决方案：模块化/面板式隔音箱 （问题：声学噪音）

Herzan精心阐述了每个电子显微镜隔音箱的设计，以代表每种应用的具体需求。结合每种实验室环境特有的可访问性和形状适应性，Herzan的模块化和面板式隔音箱为用户提供物超所值的最佳解决方案。

3、解决方案：Spicer系统 （问题：EMI噪音）

Spicer磁场消除系统可为高分辨率电子显微镜提供经济高效，免维护的环境磁场屏蔽。 Spicer系统为交流和直流电场提供了卓越的消除效果，可在较宽的频率范围内显着降低EMI。

4、其他解决方案：

• 现场调查分析设备
• 电子显微镜起重设备
• AVI系列的低频隔振升级（LFS系统）
• 假底平台

SEM图像对比图：

电子显微镜简述：

1、发展历史

第一台扫描电子显微镜（SEM）于1935年起源于Max Knoll。该设计在接下来的几年中由Manfred von Ardenne进一步开发。尽管有这些早期的贡献，查尔斯·奥特利教授还是公认为扫描电子显微镜之父。在1950年代和1960年代，剑桥大学的Oatley教授开发并完善了这项技术，使其成为可商业化的仪器。

SEM在色谱柱的顶部装有电子枪，该电子枪以热电子方式产生电子束。当该光束沿色谱柱向下传播时，线圈将作为透镜进行调节，这些透镜会聚焦光束并使光束在真空室中的样品上形成光栅。当电子束扫描样品时，二次电子从样品中发射出来。腔室内的探测器收集这些电子以产生样品图像。

与光学显微镜不同，SEM不受可见光衍射极限的限制。这使研究人员能够以数十万倍的倍率成像。该技术还保持了极好的景深，使用户可以清楚地分辨出样品的表面特征。

除了主要优点外，扫描电子显微镜还被证明是一种通用平台，可增加简单成像以外的功能。 可以用场发射枪（FEG）替代或补充热电子枪，这样可以大幅提高SEM的空间分辨率。 SEM可以配备聚焦离子束（FIB）功能，从而进行离子束研磨和沉积。能量色散X射线光谱仪（EDS或EDX）允许用户使用电子束撞击样品时产生的X射线分析样品的化学成分。通过在腔室添加探针，用户可以分析样品的导电率。SEM平台也可以装配用于光刻和微加工应用。

2、典型应用

• 数据存储
• 能源研究
• 故障分析
• 法医取证
• 材料科学
• 医疗器械
• 采矿与地质学
• 药物研究
• 半导体研究

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

LFS低频稳定器是Herz AVI系列产品的最新性能升级，大幅提升了减振系统的低频减振性能，为全球数以万计的研究人员提供技术支持。低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台LFS-3使AVI系列平台能够隔离低于0.5Hz的振动 (X,Y和Z)，为AFM，SEM和TEM用户提供理想解决方案，以实现最大的空间分辨率，满足不同的研究需求。

工作原理：

LFS系统利用传感器的互补前馈布置，特别着重于隔离较低带宽的振动。低频主动减振台-低频除振台LFS-3配置了高灵敏度传感器，可测量沿两个水平轴的低频振动。传感器收集的环境信息将输入到AVI平台控制器中，然后向压电致动器发送信号，以消除低频振动。

LFS系统除了实现亚赫兹振动隔离之外，还能消除温度波动对传感器测量性能的影响，从而保持了较高稳定性和一致性。每个LFS系统都具有稳定性功能，可以在较长测量周期内保持LFS系统的可靠性能。

技术参数：

• 型号：LFS-3
• 主动减振频率：低至0.5Hz
• 隔离方向：X，Y和Z
• 兼容性：AVI-200, AVI-400和AVI-600LP系列
• 尺寸(WxDxH)：10″x 9.6″x 4.2″

减振效果：

LFS系统增强了AVI系列的低频减振性能，使平台减振频率延伸至0.5 Hz。以下是AVI系列和AVI系列平台搭配LFS系统的标准性能对比图。

性能详情：

-增强0.5 - 100 Hz的振动隔离

-2 Hz处振动衰减90%

-5 Hz及以上振动衰减99%

-减振效果高达50 dB

低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台 LFS-3最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。