扫描离子电导显微镜-离子电流测量-AVI主动隔振台-降低环境噪声 Baker 集团有三个仪器装置在使用AVI-200主动隔振系统。我们的研究主要集中在扫描探针显微镜，其中是一个充满电解质的纳米移液管，用于绘制给定样品的局部离子电流或获取给定表面上的电流电压特性。图1（左）是我们的成像技术实验装置，称为SICM（扫描离子电导显微镜），专为浸在电解质中的亚微米分辨率的软性和非导电材料成像而设计。在成像过程中，我们发现我们的图像分辨率受背景噪声的限制。噪声源包括来自地板或泵和其他机械装置的环境振动。图1（右）是定制的仪器装置，用于通过将纳米移液管紧密地靠近基板来表征电流 - 电压响应。基于该装置的研究表明，隔振是必要的，因为在接近表面时获得的电流-电压曲线，表示纳米移液管探头的振动不可忽略。

基于我们在机械噪音环境中的所有上述测量结果，我们请求Herzan提供解决方案，以便提高我们的仪器性能。通过采用Herzan主动隔振台，大大降低了环境噪声。

扫描离子电导显微镜-离子电流测量-AVI主动隔振台-降低环境噪声 应用：

• 使用纳米移液管的离子电流测量

仪器：

• 扫描离子电导显微镜（SICM）和定制的仪器装置（用于通过将纳米移液器靠近表面来表征电流 - 电压响应）

最终用户：

• Baker 集团、布鲁明顿印第安纳大学化学系

隔振系统：

• AVI-200S主动隔振平台

AVI-200S是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。轻巧型模块，承重单模块200Kg，适用于承重部分结构紧凑，安装方便。

隔振结果：

图2. 经AVI-200隔振系统隔振后，纳米孔膜的SICM图像具有更高的分辨率。与图2（b）相比，图2（a）背景噪声更高。图3显示了经AVI-200隔振改进后的电流 - 电压曲线对比。

图1.（a）无AVI-200隔振的SICM图像。（b）AVI-200隔振后的图像。

图2.（a）无AVI-200隔振的电流 - 电压曲线。（b）AVI-200隔振后拍摄的电流 - 电压曲线

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TS140-主动隔振台-用于卡西米力研究 波士顿大学的研究人员正在使用其定制计量平台进行开西米尔力研究，该平台由MEMs加速度计组成，该加速度计旨在用于对卡西米尔力进行敏感的室温测量。卡西米尔力是由于真空中的量子涨落而在金属表面之间以小于1um的间距出现的一个很小的pN标度力。 因为需要测量的力非常小，所以必须使加速度计的本底噪声尽可能低。由于该定制计量平台的机械噪声对研究产生了影响，研究人员正在寻找一种有效的方法来隔离该平台的噪声。为此，他们选择TS-140主动隔振台作为解决方案，以帮助消除定制计量平台的机械噪声。TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。当研究人员使用TS-140主动隔振台时，可以有效降低机械振动对定制计量平台的影响，从而增加了稳定性，有利于继续进行开西米尔力研究。

应用范围：卡西米尔力研究

设备：定制卡西米尔力计量平台，配备MEM传感器

最终用户：波斯顿大学，Alexander Stange

隔振系统：TS-140主动隔振台

TS-140主动隔振台是一款即插即用系统，采用研究级压电传感技术，能够实现六个自由度全方位隔振，还具备LCD实时显示（振动水平，重量分布等）。TS-140/LP主动隔振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！

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台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

TS-140+40/LP工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：50 -170kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

台式主动隔振平台-主动隔震平台-主动除振台-TS-140+40/LP/TP25 隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

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