电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案 中主动隔震台 AVI系列是主动隔震频率台实现最大的分辨率。

在所有的六个维度，AVI系列主动隔震台可以实现亚赫兹的主动隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8%。

主动隔震台主要由负载（电子显微镜或者AFM 等等）、音圈电机、控制器、加速度传感器和电源组成，其发展主要决定于音圈电机、控制器和隔震结构的发展。主动隔震台按形式可分为完全主动隔震台和主动/被动混合隔振。

一、AVI系列特性

• 可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率
• 超出200Hz可实现被动隔震
• 六个维度实现主动隔震
• 内部反馈循环
• 紧凑，模块化的设计
• 安装，使用简单，无需持续的维护

二、隔振技术介绍

AVI系列内部使用压电振动传感器，在AVI系统主动隔震台内部，至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的主动隔震数据。

另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后，将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。

三、隔震效果

振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土隔震台（Anti-Vibration Foundation）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform)、主动隔震台(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解决。

      F-1: 使用主动隔震之前的SEM图像

混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫层等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有大量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。

在主动隔震台中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧（汽缸）等方式的减震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动，所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品）的低频效果较好。下图是几种减震方式的效果比较。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。TS150/LP/TP25 桌面式主动隔震台已经稳定的销售近20年，反应速度快，扁平化设计重心低，模块化设计灵活搭配为客户提供更多的选择，减振效果好，频响曲线一日了然，满足客户的各种需求。新推出的一些其他厂家主动减震台，不能提供完整的数据，没有经过时间的考验，有的甚至效果很差，完全不能满足客户测试需求。我们可以提供Herz多种样机试用。

工作原理：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS150/LP/TP25 产品特点：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台  技术参数：

• 型号：TS 150/LP/TP25              ※可选：TS-150/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 产品描述：

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25  技术参数：

• 型号：TS-300/LP/TP25  ※可选 TS-300/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：60 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。