TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 产品描述：

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25  技术参数：

• 型号：TS-300/LP/TP25  ※可选 TS-300/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：60 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25 隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS300主动减振系统-Tablestable主动隔振台-桌面式减振台TS-300/LP/TP25最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS系列隔振台-3D纳米制造应用 德克萨斯大学达拉斯分校的纳米生物实验室发现，其光学平台未能充分隔离纳米制造微量移液器系统（包含灵敏的压电传感器和控制机制）的振动噪声，限制了他们的研究。为此，他们选择TS-150桌面式主动隔振台作为纳米制造微量移液器系统的隔振解决方案，以帮助消除低频振动噪声，以便于他们能够继续进行精密的实验研究。TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，采用研究级压电传感技术，可在六个自由度上实现全方位隔振，能够提供行业领先的隔振性能(低至1Hz)，用于抵消工作环境对显微镜等高灵敏度精密设备产生的不必要振动，从而提高精密设备的工作性能。当他们使用TS-150桌面式主动隔振台对纳米制造微量移液器系统进行隔振时，可以有效降低振动对仪器的影响，从而增加了稳定性。

设备：纳米制造微量移液器系统，包含灵敏的压电传感器和控制机制

最终用户：德克萨斯大学达拉斯分校机械工程系纳米生物实验室小组

隔振系统：TS-150主动隔振台

隔振效果：下图是使用标准微移管仪器和使用TS-150隔振的微移管仪器沉积纳米线的图像。当使用TS-150隔振台时，可以有效降低振动对仪器的影响，从而增加了稳定性。

（左: TS-150主动隔振，右: 未隔振）

TS-150隔振台简介：

TS -150主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向）。系统采用即插即用设计，使用简便，配备LCD实时显示和自动调平功能，能够提供行业领先的隔振性能(低至1Hz)，用于抵消工作环境对显微镜等高灵敏度精密设备产生的不必要振动，从而提高精密设备的工作性能。TS-150主动隔振台的典型应用范围包括原子力显微镜、干涉测量、轮廓测量、3D轮廓仪、表面轮廓仪、纳米光子学 、干涉仪以及超高速光通信等应用。

产品亮点：

六个自由度全方位隔振

研究级压电传感技术

即插即用系统

LCD实时显示（振动水平，重量分布等）

主动隔振性能突出

集成简便

专注科研，无需安装和维护

TS系列隔振台-3D纳米制造应用最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Tablestable-主动隔振技术-主动式减振台 为了弥补被动式空气弹簧隔振系统的缺点，创建了主动式微振动控制系统-主动式隔振台。从安装地板表面传递的振动，到设备本身产生的振动，电缆拉线，操作接触，风压等影响较大因素都成为了隔振和阻尼的对象。以微米为单位检测弹簧系统波动的高灵敏度传感器可用于通过执行器立即校正该信息，这有利于追求“衰减时间”和“相互位置精度”。减振支架系统类似于没有自然频率的刚性（刚性）支架，从而大大提高了可操作性。唯一的缺点是，诸如高灵敏度传感器和执行器之类的组件自然要比被动空气弹簧隔振平台贵很多。

执行器包括液压型，电磁型，气动型，压电型（压电）和线性型。与被动型空气弹簧型隔振表的显着区别在于，可以忽略固有频率和共振区域，并且可以获得被动型无法获得的极低频率的隔振区域。即使考虑衰减时间和对位置精度的追求，我们也可以获得足够的效果和价值。如果主动类型的价格下降到与当前被动类型相同的价格，则所有被动类型都将切换为主动类型。最初，主动型开发任务是消除“固有频率和共振区域”，这是被动型的弱点，因此它通常从小于100 Hz（某些系统控制到1000 Hz）的超低频段开始。通过进行主动（动态）控制，并使混合动力（除了控制范围之外）成为被动并相互补充，可以降低总成本。在这种情况下，互补的被动部件是所有弹性体，例如空气弹簧，螺旋弹簧和防振橡胶。这不仅是为了被动地隔离除控制频率以外的振动，根据防震目的（例如使用方法）选择用于将辅助质量的惯性力用于施加反作用力的方法和使用固定表面和结构之间的反作用力的方法。

分贝（dB）显示为“电平值”

分贝还用于振动传递和隔音。 如果您不理解分贝，就无法理解显示抗振和隔音效果的数据。 在国际单位制SI中，它表示“大于或小于标准”。 当标准振动加速度为a0且实际振动加速度（有效值）为a时，可以通过以下公式计算。 10乘以20的功率是分贝（dB）值和电平值。

通过使用上述关系表达式，证明当振动加速度A为1 Gal时，振动加速度水平La为60 dB。

日本的标准振动加速度a0为10^-5m / S²。 如果振动加速度的有效值a为1Gal（= 10^-2m / S²），则将为60dB，如下所示。

“代表隔振台性能的dB值”和“由固有频率的差异引起的dB值变化”

由于dB值是用于比较参考值和参考值的数值，因此符号会根据参考值的设置位置而变化。 通常，当参考振动加速度和参考声压为0 dB时，它是一个比较值，但是在评估隔振台的性能时，既有振动阻尼又有振动放大，因此振动将不产生共振的中性电平设置为0 dB（Tr = 100％状态），并通过将共振区域设置为+ dB值并将振动抑制区域设置为-dB值来评估Tr曲线。 被动隔振台的dB值根据固有频率f0的不同而变化。

被动式空气弹簧隔振台与主动式隔振台的Tr振动传递率数据比较

被动式空气弹簧隔振台的设计使固有频率f0尽可能低，以增强与安装地板的隔振效果。因为只有从安装地板传播的振动才是隔离振动的目标。降低固有频率具有提高隔振能力的优点，但也具有缺点：隔振系统是软性支撑，更容易受到空气弹簧和所安装的设备支撑的工作台稳定性的影响。也就是说，自然频率是一把“双刃剑”。在实际的Tr曲线中，如下图所示，基于有限共振放大倍数(即损失系数的影响)形成了出色的共振区域。其次，主动隔振台大幅缩小了被动式的负面共振区域，并从极低的频率形成隔振区域。

衰减时间比较

由于被动式具有固有频率和共振区域，因此，当施加激励时，会看到固有周期性（固有频率）和阻尼（阻尼时间的总和）。

主动式由于控制方法和增益调节，在图像稳定的初始频率下，加速度水平可能会略微超过0水平。 其特征在于，在施加激励时会显示瞬时阻尼。

Tablestable-主动隔振技术-主动式减振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动，而这些振动将可能对电干涉仪等精密仪器设备造成不利影响，导致测量数据不精确等。 隔振台，又称减振台或减震台，即是消除这些振动最有效的解决方案，是科学研究当中常用的一种光学平台，用于搭载各类高精度显微镜，干涉仪，轮廓仪，摩擦学，高精度计量等精密仪器设备，以消除影响测量的破坏性低频振动噪声，以便营造最适合该精密设备的实验环境条件。

隔振台主要分为两种类型：

1、电控的主动隔振台

2、利用材料特性的被动隔振台

1、什么是主动隔振台

主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。

主动减振台-隔振台-防震台的主动隔振频率为 0.7Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

HERZ的AVI系列主动隔振台：

HERZ的TS系列主动隔振台：

2、什么是被动隔振台

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

使用螺旋弹簧的隔振台也是被动式。Herz被动隔振台采用高阻尼处理技术和超高性能空气弹簧，完全集成且使用简单，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

 HERZ的DT系列被动隔振台：

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介 主动隔振台与被动隔振台的区别

两者的区别在于隔振方法。被动隔振台是由于材料特性（例如空气弹簧）而使用抗损失性（粘滞性，空气阻力等）的控件，而主动隔振台是被动隔振台控件的一部分，但使用专用振动（或振动）。该相位由控制系统进行电子调节（反相），该系统命令执行器获取由检测传感器获得的传感器信息。

当寺庙的钟声在外面回荡并发出响亮的声音时，请注意在钟声的内部中心附近会“减弱为小声音”的事实，请注意声音会在例如高速公路上逐渐减弱。外墙的开发很活跃。主动减振基座的想法可能是基于可以以相同方式消除振动的想法而开始发展的。除了首先想到的是一个非常有趣的领域。两者之间的最大区别在于，前者具有自然频率，而后者则没有。

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案 中主动隔震台 AVI系列是主动隔震频率台实现最大的分辨率。

在所有的六个维度，AVI系列主动隔震台可以实现亚赫兹的主动隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8%。

主动隔震台主要由负载（电子显微镜或者AFM 等等）、音圈电机、控制器、加速度传感器和电源组成，其发展主要决定于音圈电机、控制器和隔震结构的发展。主动隔震台按形式可分为完全主动隔震台和主动/被动混合隔振。

一、AVI系列特性

• 可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率
• 超出200Hz可实现被动隔震
• 六个维度实现主动隔震
• 内部反馈循环
• 紧凑，模块化的设计
• 安装，使用简单，无需持续的维护

二、隔振技术介绍

AVI系列内部使用压电振动传感器，在AVI系统主动隔震台内部，至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的主动隔震数据。

另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后，将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。

三、隔震效果

振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土隔震台（Anti-Vibration Foundation）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform)、主动隔震台(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解决。

      F-1: 使用主动隔震之前的SEM图像

混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫层等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有大量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。

在主动隔震台中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧（汽缸）等方式的减震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动，所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品）的低频效果较好。下图是几种减震方式的效果比较。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

产品描述:

主动减震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列隔震台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动减震台AVI-400M使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动减震台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动减震台技术参数：

• 型号：AVI-400M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 20kg
• 负载能力:800 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常18W
• 校正力：水平最大8N，垂直最大16N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1.7 µm/N，水平约3.4 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI-400M主动减震台 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动减震台隔振效果：

性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列防振台。当使用AVI系列防振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable |防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL为各类精密仪器主动减振台-防振台-隔振台，光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台！

产品描述：

AVI系列主动隔震台-防震台-减震台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动隔震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600XL/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量: 34kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

  升级选项：

• Table stable|主动隔震台-防震台-减震台AVI-600XL可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔zhen系统和包含AVI系列隔震台。当使用AVI系列减震台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable 防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。