1990年代后期，Herzan不再单纯作为Herz和Table Stable的代理商，2000年正式开始在国内制造隔音箱。Herzan与原子力显微镜行业的制造商合作，融合尖端的隔音性能和设计，不断优化用户体验，成为一个集工程，设计，生产，组装，服务和支持为一体的全面解决方案供应商。2002年，Herzan成为一家完全独立的美国独资公司，其产品线主要包括：

隔音箱：包括台式和工作站隔音箱，设计多样，采用多层可变密度阻尼材料，可确保研究仪器免受宽带噪声的影响，已经成为SPM和AFM用户的行业标准。

主动振动控制：包括模块化系统AVI系列和台式系统TS系列，可在六个自由度上提供亚赫兹主动振动隔离，是各种高精度设备和应用（AFM,SEM,SPM等）的理想解决方案。

被动振动控制：包括气浮式台式系统Onyx系列和工作站NanoDamp系列，可为用户提供优异的被动减振性能，性价比高。

EMI隔离解决方案：包括主动式Spicer系统和被动式法拉第笼，可根据客户要求定制，适用于受EMI噪声影响的任何仪器或应用。

现场勘测工具：WaveCatcher是一款移动调查工具，借助直观的软件应用，能够进行完整的现场调查分析，可为振动，声学和EMI测量分析提供快速有效的解决方案。

定制解决方案：Herzan可根据具体的应用程序和仪器配置，为客户定制环境解决方案。

客户服务与支持：Herzan还提供一系列优质服务，包括产品开发咨询，现场安装支持，维修和现场勘测服务等。

HERZAN-2021年冬季返场促销活动-振动分析仪-气浮台

HERZAN宣布冬季促销活动返场！该活动可为购买Herzan热销产品的研究人员节省大量成本，最高可达USD 2500，新老客户均可享受此优惠。全新限时促销活动！活动截止时间：2021.3.31。

1、购买WaveCatcher可节省USD2500

Herzan将继续为研究人员提供一些更具性价比的热销产品，以及WaveCatcher最新促销。Herzan新老客户均可参与，欲购从速，立享优惠！

折扣详情：

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2、特定Onyx气浮台可享10%优惠

Herzan一直致力于为研究人员提供一些创新定制产品的更大价值。现购买Onyx-6M / A Extend气浮台的研究人员即可获得10％的折扣。定制版Onyx-6M / A气浮台具有扩展尺寸（宽x深x高：16 x 19 x 2.2英寸）。 数量有限，赶紧行动！

折扣详情：

研究人员可通过购买以下Onyx系列产品获得10％的折扣：

• Onyx-6M Extended或Onyx-6A Extended（Onyx-6定制版本）
• 定制尺寸（宽x深x高）：16 x 19 x 2.2英寸

HERZAN-2021年冬季返场促销活动-振动分析仪-气浮台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 产品描述：

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台  ATM系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 技术参数：

• 型号：ATM-1010L  ※可选：ATM-1010LA(B)
• 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm
• 安装板尺寸：1000W×1000Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：300kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：200kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-6050A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：70Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：600x500x87 mm
• 外部尺寸：640x540x87 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A具有水平隔离机制，与DT系列相比可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM，EM隔音箱是Herzan最新款电子显微镜隔音箱，采用模块化面板设计，可确保最大程度地防止泵，冷却器和其他扬声实验室设备产生的破坏性噪声。每个EM隔音箱都可以根据电子显微镜的特定要求和研究需求进行定制，包括隔音箱大小和功能，以确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求，确保研究人员从显微镜中获得最佳结果。

工作原理:

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

升级选项：

• 隔振台集成(AVI系列)
• 主动EMI消除系统集成(Spicer系统)
• 隔声性能升级
• 温度稳定性
• 定制尺寸和颜色
• 定制访问点和门

技术参数：

内部尺寸(W x D x H): 48 x 56 x 80 in/1,219 x 1,422 x 2,032 mm

外部尺寸 (W x D x H): 52 x 60 x 83.5 in/1,321 x 1,524 x 2,121 mm

隔音效果：

EM隔音箱内部覆盖有多层可变密度材料，可在宽频率范围上提供持续可靠的隔音性能。

-100 Hz降噪33dB

-500 Hz降噪37dB

-1,000 Hz降噪36dB

-1,500 Hz降噪36dB

-2,000 Hz降噪39dB

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM通过与AVI系列主动减振台和SC系列主动消磁器配合，一体消除外部因为振动声音磁场对测试产生的影响。

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable激励源-主动减振台激励源 (与正弦波发生器配对)可以将激励信号施加到任何HERZ 减振系统TS/AVI 系列，从而将平台转换为多方向振动器(X，Y和Z),避免外部振动。激励方向可以使用激励源正面的模式切换功能进行选择，但在平台需要用作主动减振平台时也可以禁用。

Table stable激励源-主动减振台激励源 技术参数：

• 型号：TMB/AMB
• 频率范围：2-100Hz
• 输入信号：正弦波，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp
• 尺寸(LxBxH)：170x103x43mm
• 重量：420g
• 应用环境：室内
• 保护等级：IP 20
• 温度范围：5°C - 40°C
• 相对湿度：10–90% (5–30°C)
• 配件：D-Sub 15 m/f电缆，使用说明书

使用说明-Table stable激励源-主动减振台激励源 ：

激励源允许将激励信号施加到TS/AVI隔振系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。通过对隔振系统进行调制，从而避免了外部振动。

利用配套电缆将激励源连接至隔振系统，无需独立的电源。用作振动器时，通常需要正弦波。这必须通过外部信号发生器提供。将信号连接至激励源输入插口，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp。

打开隔振系统并启用隔振，同时打开激励盒开关。可以通过模式开关选择不同的激励方向：

V表示垂直方向的激励，H1，H2表示水平方向的激励，如下图所示。

请注意，在扫描激励频率时，速度将在2-100Hz范围内保持大致恒定。超过此频率，根据负载，可能会出现一些谐振。 出于控制目的，应使用外部加速度计。

Table stable激励源-主动减振台激励源 TMB/AMB最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 TDI系列是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列采用SHG空气弹簧减振技术，采用HERZ研发的精密空气弹簧和轻量高刚性蜂窝板，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔震台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔震台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：TDI   ※可选TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：140-2,763 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

减振效果-气浮防震台：

TDI系列气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况。

气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 TDI最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台  h-TDI 系列 是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列精密隔振光学平台改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。系列是日本HERZ公司研发精密隔振光学平台的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

Herz 光学平台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用光学平台-精密减振台-电镜防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：h-TDI   ※可选h-TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：气源分开供气
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：197-3,400 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：根据需求可选高阻尼蜂窝板，石板和铸铁板

减振效果-Herz 光学平台：

h-TDI系列 电镜防振台可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况，搭配高阻尼框架，可将外力冲击导致的位移最小化。

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台 h-TDI最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。