产品描述：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-6050A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：70Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：600x500x87 mm
• 外部尺寸：640x540x87 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A具有水平隔离机制，与DT系列相比可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

HERZ主动振动控制平台采用独特的技术，可在宽频率范围内进行隔振，为基础研究、应用研究、生产等所用精密仪器等提供优异的隔振性能，创造稳定测量环境。平台包含压电传感器，执行器和控制电子装置，可以动态响应环境中的振动，从而在所有六个自由度上实现亚赫兹振动隔离（始于0.5 Hz）。HERZ主动隔振系统主要分为以下两个系列：

1、AVI系列：AVI-200,AVI-400,AVI-600

2、TS系列：TS-140,TS-140+40,TS-150,TS-300,TS-C30

被动式隔振台，例如气浮台，主要通过机械装置限制振动，常使用气动弹簧系统实现。

HERZ减振台-主动隔振台的使用建议 为了充分发挥HERZ隔振设备的性能，在使用过程中应注意以下几点：

1、主动振动控制

• 仪器应与隔离器的顶部牢固，齐平接触，以确保充分发挥性能。

2、AVI系列

• 应放置在平坦的安装表面上，以免在重载下变形。
• 应将其放置在水平安装表面上，以确保适当地调整负载。
• 隔振模块应以镜像方向彼此平行放置（即，模块上的D-sub电缆端口彼此面对或彼此背对）。
• 如果通过改变重量或重心来显着改变模块顶部的负载，则应检查模块上的负载调整情况。

3、TS系列

• 运输或移动负载之前，请将系统锁定。
• 调整调平脚，以确保系统与支撑表面齐平。

4、气浮式隔振系统

• 请勿使系统过度充气，否则会损坏空气悬架系统。逐渐给系统充气，以避免过度充气。
• 每周一次检查系统是否正常运行。
• 在移动隔振台或上面的设备之前，请先给台子放气。
• 使用基于空气的隔离系统时，请避免以下情况：阳光直射，臭氧环境，挥发性溶剂，油类以及负载过大或不平衡。
• 在系统上钻孔之前，请与厂家联系。以免有刺破空气悬架系统的危险。
• 安装后运输到新位置时，请联系厂家，以获取包装建议。

HERZ减振台-主动隔振台的使用建议最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series 简述：

在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的先进半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。

桌面式主动防振台-Herz TS Series先进主动隔振系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。

工作原理：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能对比（TS-150/LP）：

- 振动加速度对比

右侧数据显示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

蓝线: 地面振动加速度

红线:  TS-150/LP表面安装板加速度

- 振动传递率

右侧数据显示地面到TS-150/LP表面安装板的振动传递率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直轴: 传递率，单位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

该数据表明主动隔振系统在1 Hz -100 Hz 低频范围内具有优异的隔振性能。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series技术参数：

结合隔音箱，创造最佳测量环境：

对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供最佳的测量环境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声。

TS 应用示例：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Nano DT系列 气浮台-桌面式气浮台-桌上型气浮光学平台  是日本HERZ公司研发的一款精密空气隔振台，采用了超高性能三维空气弹簧以及高阻尼处理技术，具有高硬度和高刚度的特点，系统完成集成，使用简单，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以满足客户的环境测量需求。

气浮台-桌面式气浮台-桌上型气浮光学平台 Herz DT-5548A工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：DT-5548A  ※可选：3DT-5548A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz(仅3D型号)
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：30Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体 (仅3DT型号)
• 内部尺寸：550x480x62 mm
• 外部尺寸：580x510x62 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(3DT型号可对面板和框架进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

   升级选项：

• 3DT系列 气浮台 是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

隔振效果：

1、DT系列桌面式气浮台搭载PTI时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

2、3DT系列气浮台具有水平隔离机制，可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮台-桌面式气浮台-桌上型气浮光学平台 Herz DT-5548A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。