产品描述：

HOA系列被动隔振台-除振台-光学隔振平台是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：HOA   ※可选HOS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz
• 调平方式：自动调平(包含3个调平传感器）
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6.25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※可选黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：135-2,577 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：蜂窝板，石板和铸铁板

隔音效果：

HOA系列 被动隔振台-除振台-光学隔振平台 可有效降低垂直方向上的振动情况，控制外力冲击导致的振动位移现象：

被动隔振台-除振台-光学隔振平台 Herz HOA系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

一、空气弹簧隔振台

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M, 被动式空气弹簧式隔振台-气浮隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。

Herz 这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。 第一个缺点是它是一种柔性支撑，很容易受到风压，电线的牵拉及其自身运动（设备行为）的影响。 其次，由于它是柔性支撑件，因此在工作期间进行操作或接触时会产生接近固有频率的自由振动。 第三，当存在运输系统设备时，“阻尼时间”和“相互位置精度”存在主要障碍。 第四，被动防震台仅隔离从安装地板传播的振动。

二、Herz  空气弹簧隔振台 的固有频率

螺旋弹簧，板簧，波纹管式空气弹簧，膜片式空气弹簧，减振橡胶，减振垫等防振效果通常由所谓的固有频率f0与来自外部的频率f之比（频率比λ= f / f0）确定。HERZ 被动隔振台中固有频率的存在十分重要，就像人体器官中的心脏。当在周期T内自然角频率ω0（=2πf0）变化2πrad时，隔振系统的垂直方向特征值可用以下简化公式表示。根号中的符号，m表示弹簧系统上的重量，k表示弹簧常数。要增加固有频率，请增加k。要降低固有频率，请在k恒定时增加m（使用虚拟砝码等）。当然，固有频率也根据辅助气罐（阻尼室）的容积和孔的形状而变化。

水平方向特征值可以由以下简化公式表示。 G是重力加速度（= 980 cm / s2），L是在水平方向上调节自由度的摆的长度。 如需更改固有频率，请调整L的长度来确认。

日本和海外的防振公司根据所使用的结构和材料，在水平H方向上使用“钟摆原理”或类似的结构，例如单摆，倒立摆或双摆的自由度。

三、Herz  被动式 空气弹簧隔振台 的隔振效果/振动传递率Tr（传递率）

当振动以100％传递时，被动式空气弹簧隔振台的振动传递率为Tr ＝ 100％。如果通过增加到100％或更多来传递振动，则意味着它处于共振区域。共振区域的最大值成为共振点。

简单的计算忽略了定义阻尼元件的某些损耗阻力，使得该共振点变为无穷大，但实际上由于所使用的材料和结构而存在阻尼元件，因此它表示为与一定的共振放大倍数对应的有限值。

（振动传递率Tr> 100％）为了使隔振台发挥作用，必须使Tr <100％。表示防振效果的振动传递率Tr可以通过以下的简化公式来表示。如果Tr为100％以下，则开始图像稳定化，即，开始形成图像稳定区域。但是，Tr值为99％的隔振台与Tr值为1％的隔振台不能相同。

代之以频率比λ（= f / f0），如果隔振台的固有频率f0和外部干扰振动f具有相同的频率，则Tr在计算中将变为无限大，并且会出现最大共振现象。 首先，f的大小必须为√2乘以f0，以使振动传递率Tr = 100％，且隔振台无振动或共振。 将该区域称为包括共振点的共振区域。 隔振台获得振动隔离效果的点是频率比λ（＝ f / f0）为1以上，即f＞√2·f0倍。 当f0恒定时，其频率值越高，减振效果越大。 另外，当f的干扰频率恒定时，固有频率越低，减振效果越高。

Herz被动防震台

Herz-空气弹簧隔振台-隔振技术 简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台,以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-8060A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：60Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：800x600x89 mm
• 外部尺寸：840x640x89 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 具有水平隔离机制，可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 3DT-8060A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台 与 被动防振台 差异细节如下：

一、什么是 主动减震台 与 被动防振台 ？

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动， 如果这对振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用 隔振台-防震台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

隔振台主要分为两种类型：

1、利用材料特性的被动式

2、主动式电控

1、什么是被动式隔振台

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

使用螺旋弹簧的隔振台也是被动式。

2、什么是主动式隔振台

主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。

主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

二、被动式隔振台与主动式隔振台的区别

两者的区别在于隔振方法。前者是由于材料特性（例如空气弹簧）而使用抗损失性（粘滞性，空气阻力等）的控件，而后者是前者控件的一部分，但使用专用振动（或振动）。该相位由控制系统进行电子调节（反相），该系统命令执行器获取由检测传感器获得的传感器信息。

主动减震台 与 被动防振台 差异 技术分享最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台  h-TDI 系列 是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列精密隔振光学平台改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。系列是日本HERZ公司研发精密隔振光学平台的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

Herz 光学平台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用光学平台-精密减振台-电镜防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：h-TDI   ※可选h-TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：气源分开供气
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：197-3,400 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：根据需求可选高阻尼蜂窝板，石板和铸铁板

减振效果-Herz 光学平台：

h-TDI系列 电镜防振台可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况，搭配高阻尼框架，可将外力冲击导致的位移最小化。

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台 h-TDI最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 TDI系列是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列采用SHG空气弹簧减振技术，采用HERZ研发的精密空气弹簧和轻量高刚性蜂窝板，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔震台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔震台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：TDI   ※可选TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：140-2,763 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

减振效果-气浮防震台：

TDI系列气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况。

气浮防震台-气浮减震平台-隔震台 TDI最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-6050A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：70Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：600x500x87 mm
• 外部尺寸：640x540x87 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A具有水平隔离机制，与DT系列相比可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 产品描述：

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台  ATM系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 技术参数：

• 型号：ATM-1010L  ※可选：ATM-1010LA(B)
• 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm
• 安装板尺寸：1000W×1000Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：300kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：200kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。