主动隔振技术 随着超精密加工、精密测试等技术的发展，对环境的敏感程度也越来越高，被动隔振已经远远不能满足现在的要求。例如在精密光学领域，扫描隧道显微镜（STM）利用隧道效应及隧道电流原理而工作，STM在工作时，探针针尖与测试样品的距离很近（小于1nm），由于隧道效应，在探针与测试样品表面之间就会产生隧道电流并保持不变，隧道电流与隧道距离成指数关系，若表面有微小起伏，也将使得穿透电流发生成千上万倍的变化。这种携带原子结构的信息经过计算机的处理即可显示出一幅三维图像，其分辨率可达到0.01nm，放大倍数可达几亿倍。要达到这些效果，超精密类仪器必须搭配性能优秀的隔振装置。

主动隔振技术 工作原理

单自由度振动系统是最简单的振动系统，我们通过分析该系统来解释主动隔振原理。如图 1 所示，有阻尼单自由度隔振系统受外力F做一定规律的运动，主动隔振通过传感器（按所测机械量分有位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、应变传感器、扭振传感器、扭矩传感器，按机电变换原理分电动式、压电式、电涡流式、电感式、电容式、电阻式）检测到该系统的运动信息，该信息经过内置信号处理器的处理，反馈到执行电机中，执行电机产生一个与外力F大小相同，相位相反的力F₀，使得该系统的合外力为零，该系统处于平衡状态。当然，实际情况振动是以波的方式传播，根据波的叠加原理，振动波也可通过主动隔振系统被抵消。

实际的系统具有多个自由度，刚性系统都具有六个自由度，分别是x轴、y轴、z轴以及绕x轴、y轴、z轴的转动。所以主动隔振系统在每个自由度具备相应的传感器及执行电机。

主动隔振技术 系统响应

主动隔振，根据波的叠加原理，振动波被抵消，实际上不可能绝对做到这点，因为存在一定的响应时间，所以波没有完全被抵消，事实上还会存在一定的振动，但是由于振动被大幅度的降低，已经可以使得需要隔振的设备发挥其最大的性能。

相关产品

Table Stable 作为主动隔振领域的领导者，低功率压电技术与瑞士品质完美契合，铸就了AVI系列与TS系列产品。广州市固润光电科技有限公司作为Table Stable 在中国的代理商，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。

TS系列在水平轴隔振效果如图 2图 3所示：

在垂直方向隔振效果如图 4所示：

主动隔振技术最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

产品描述:

主动减震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列隔震台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动减震台AVI-400M使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动减震台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动减震台技术参数：

• 型号：AVI-400M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 20kg
• 负载能力:800 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常18W
• 校正力：水平最大8N，垂直最大16N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1.7 µm/N，水平约3.4 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI-400M主动减震台 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动减震台隔振效果：

性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列防振台。当使用AVI系列防振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台  h-TDI 系列 是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列精密隔振光学平台改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。系列是日本HERZ公司研发精密隔振光学平台的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

Herz 光学平台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用光学平台-精密减振台-电镜防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：h-TDI   ※可选h-TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：气源分开供气
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：197-3,400 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：根据需求可选高阻尼蜂窝板，石板和铸铁板

减振效果-Herz 光学平台：

h-TDI系列 电镜防振台可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况，搭配高阻尼框架，可将外力冲击导致的位移最小化。

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台 h-TDI最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

有样机可以试用！

主动式隔振台-防振台-减震台TS-C30 是 TS 系列最新和最实惠的创新产品，可为运行紧凑型纳米级显微镜提供强大的主动隔振性能。

主要特点:

1、主动式隔振台-防振台-减震台TS-C30是紧凑型动态隔振系统，可隔离所有六种平移和旋转振动模式。

2、与大型昂贵的被动系统相比，这款动态隔振系统价格适中，可在较小体积内实现良好隔振。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑振动，还可以隔离系统本身的振动源。这意味着，例如，尽管通过操作员的手施加力，但由系统隔振的精密显微镜仍将保持静止。该系统的固有刚度比1 Hz共振被动隔离器大25倍，具有出色的方向和位置稳定性。

3、主动式隔振台 的特征在于虚拟缺乏任何低频共振，这种共振困扰所有被动隔振系统。该系统设计即使低至2-3 Hz频率以下也能提供优异的隔振性能，许多建筑物由于围绕垂直轴振荡而显示出较大的水平振幅。隔振开始于1.2Hz左右，超过10Hz以上迅速增加至少40dB。

4、主动式隔振台所有控制电路都内置在设备中。功耗小于2.5 W。该设备具有通用输入并且可连接到100至240 VAC的任何交流电源。该设计经过优化，可实现精密仪器的最佳隔振，例如扫描探针显微镜（AFM,STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器实现最佳性能。经证实，该系统还可成功用于支持敏感实验，例如膜片钳、显微注射或LB膜上测量所用的液体槽。

主动式隔振台产品亮点:

• 采用高阻尼空气弹簧
• 隔振性能突出
• 高刚度和高硬度
• 使用简单
• 性价比高

主动式隔振台技术参数:

• 频率：1.2- 300 Hz
• 负载范围: 0 - 40 kg
• 尺寸: 300 x 300 x 70 mm ( L x W x H )  11.8 x 11.8 x 2.75"
• 隔振性能: 1.2 Hz - 300 Hz动态隔振, 更高频率主要被动隔振
• 传递率: ~10 Hz以上传递率 < 0.01 (-40 dB)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 27 μm/N
• 最大负载 (中心负载): 40 kg/88.18 lbs
• 重量: 9.2 kg/20.3 lbs

电气:  

• 安全等级: 1
• 功耗: 最大 2.50 W
• 输入电压: 100–240 VAC, 50–60 Hz
• 显示屏信号:用于示波器上显示的多路复用信号显示了包含和不含隔振的振动水平– 仅用于诊断目的。

面板：

• 尺寸：300mm X 300mm
• 材料：厚实铝板

主动式隔振台Ts-c30隔振效果:

主动式隔振台性能图中突出显示的传递率曲线与TS-C30在宽频率范围内隔振的能力有关。传递率图是对任何给定实验室环境下性能的保守估计 ，并且适用所有六种振动平移和旋转模式(所有六个自由度).

主动式隔振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式隔振台-防振台-减震台TS-C30最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台 与 被动防振台 差异细节如下：

一、什么是 主动减震台 与 被动防振台 ？

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动， 如果这对振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用 隔振台-防震台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

隔振台主要分为两种类型：

1、利用材料特性的被动式

2、主动式电控

1、什么是被动式隔振台

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

使用螺旋弹簧的隔振台也是被动式。

2、什么是主动式隔振台

主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。

主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

二、被动式隔振台与主动式隔振台的区别

两者的区别在于隔振方法。前者是由于材料特性（例如空气弹簧）而使用抗损失性（粘滞性，空气阻力等）的控件，而后者是前者控件的一部分，但使用专用振动（或振动）。该相位由控制系统进行电子调节（反相），该系统命令执行器获取由检测传感器获得的传感器信息。

主动减震台 与 被动防振台 差异 技术分享最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

防振台-主动减震台-隔震台AVI-600S是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

为各类光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台。

工作原理：

AVI-600S主动减震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动减震台-隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600S/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量:  23kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI 600S 隔震台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列防振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

防振台-主动减震台-隔震台-主动隔振台AVI-600S最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series 简述：

在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的先进半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。

桌面式主动防振台-Herz TS Series先进主动隔振系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。

工作原理：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能对比（TS-150/LP）：

- 振动加速度对比

右侧数据显示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

蓝线: 地面振动加速度

红线:  TS-150/LP表面安装板加速度

- 振动传递率

右侧数据显示地面到TS-150/LP表面安装板的振动传递率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直轴: 传递率，单位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

该数据表明主动隔振系统在1 Hz -100 Hz 低频范围内具有优异的隔振性能。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series技术参数：

结合隔音箱，创造最佳测量环境：

对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供最佳的测量环境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声。

TS 应用示例：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台TS-140/LP是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动防振台适用于原子力显微镜（AFM）、光学显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防振系统。

桌上型主动防振台 TS-140工作原理：

桌上型主动防振台 TS-140 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

技术参数：

• 型号：TS-140/LP  ※可选：TS-140/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

主动防震台 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300减振台 负重可提高40kg）

隔振效果-主动防震台：

主动防震台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列主动防震台 。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

无论用于原子力显微镜还是光学显微镜 桌上型主动防振台TS-140都是一个不错的选择，同时我们推荐客户购买隔音箱，以除去空气中的声音干扰，如图：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台-防震台TS140最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。