产品描述：

LFS低频稳定器是Herz AVI系列产品的最新性能升级，大幅提升了减振系统的低频减振性能，为全球数以万计的研究人员提供技术支持。低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台LFS-3使AVI系列平台能够隔离低于0.5Hz的振动 (X,Y和Z)，为AFM，SEM和TEM用户提供理想解决方案，以实现最大的空间分辨率，满足不同的研究需求。

工作原理：

LFS系统利用传感器的互补前馈布置，特别着重于隔离较低带宽的振动。低频主动减振台-低频除振台LFS-3配置了高灵敏度传感器，可测量沿两个水平轴的低频振动。传感器收集的环境信息将输入到AVI平台控制器中，然后向压电致动器发送信号，以消除低频振动。

LFS系统除了实现亚赫兹振动隔离之外，还能消除温度波动对传感器测量性能的影响，从而保持了较高稳定性和一致性。每个LFS系统都具有稳定性功能，可以在较长测量周期内保持LFS系统的可靠性能。

技术参数：

• 型号：LFS-3
• 主动减振频率：低至0.5Hz
• 隔离方向：X，Y和Z
• 兼容性：AVI-200, AVI-400和AVI-600LP系列
• 尺寸(WxDxH)：10″x 9.6″x 4.2″

减振效果：

LFS系统增强了AVI系列的低频减振性能，使平台减振频率延伸至0.5 Hz。以下是AVI系列和AVI系列平台搭配LFS系统的标准性能对比图。

性能详情：

-增强0.5 - 100 Hz的振动隔离

-2 Hz处振动衰减90%

-5 Hz及以上振动衰减99%

-减振效果高达50 dB

低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台 LFS-3最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

HERZ主动振动控制平台采用独特的技术，可在宽频率范围内进行隔振，为基础研究、应用研究、生产等所用精密仪器等提供优异的隔振性能，创造稳定测量环境。平台包含压电传感器，执行器和控制电子装置，可以动态响应环境中的振动，从而在所有六个自由度上实现亚赫兹振动隔离（始于0.5 Hz）。HERZ主动隔振系统主要分为以下两个系列：

1、AVI系列：AVI-200,AVI-400,AVI-600

2、TS系列：TS-140,TS-140+40,TS-150,TS-300,TS-C30

被动式隔振台，例如气浮台，主要通过机械装置限制振动，常使用气动弹簧系统实现。

HERZ减振台-主动隔振台的使用建议 为了充分发挥HERZ隔振设备的性能，在使用过程中应注意以下几点：

1、主动振动控制

• 仪器应与隔离器的顶部牢固，齐平接触，以确保充分发挥性能。

2、AVI系列

• 应放置在平坦的安装表面上，以免在重载下变形。
• 应将其放置在水平安装表面上，以确保适当地调整负载。
• 隔振模块应以镜像方向彼此平行放置（即，模块上的D-sub电缆端口彼此面对或彼此背对）。
• 如果通过改变重量或重心来显着改变模块顶部的负载，则应检查模块上的负载调整情况。

3、TS系列

• 运输或移动负载之前，请将系统锁定。
• 调整调平脚，以确保系统与支撑表面齐平。

4、气浮式隔振系统

• 请勿使系统过度充气，否则会损坏空气悬架系统。逐渐给系统充气，以避免过度充气。
• 每周一次检查系统是否正常运行。
• 在移动隔振台或上面的设备之前，请先给台子放气。
• 使用基于空气的隔离系统时，请避免以下情况：阳光直射，臭氧环境，挥发性溶剂，油类以及负载过大或不平衡。
• 在系统上钻孔之前，请与厂家联系。以免有刺破空气悬架系统的危险。
• 安装后运输到新位置时，请联系厂家，以获取包装建议。

HERZ减振台-主动隔振台的使用建议最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台,以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-8060A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：60Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：800x600x89 mm
• 外部尺寸：840x640x89 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 具有水平隔离机制，可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振台-除振试验台-减震桌-桌上除振台 3DT-8060A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

HOA系列被动隔振台-除振台-光学隔振平台是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：HOA   ※可选HOS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz
• 调平方式：自动调平(包含3个调平传感器）
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6.25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※可选黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：135-2,577 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：蜂窝板，石板和铸铁板

隔音效果：

HOA系列 被动隔振台-除振台-光学隔振平台 可有效降低垂直方向上的振动情况，控制外力冲击导致的振动位移现象：

被动隔振台-除振台-光学隔振平台 Herz HOA系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。