电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

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SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 产品描述：

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 是一款模块化设计、价格适中、体积小巧的探针系统，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足实验室测量的需求。它配置完整，简单易操作，安装可经由客户完成，操作可在一小时内完成。Lab Assistant 探针台可以配置为直流或高频/微波测试配置，包括一系列精密配件，通常只在更大更昂贵的探针系统中使用。与之相比，一般情况下，这种功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和功能选项---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。此外，该探针台有50mm、100mm、150mm或200mm卡盘和支架可供选择，并可配备许多与PS4L系列探针台中所使用的相同的热卡盘、光学元件和操纵器。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 配置包括：

• 硬铝基座，带有橡胶隔振脚
• 晶圆平台粗调和细调，可更换级选项-封装部件或热部件
• 精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm), Y (25 mm) & Z (>20 mm)
• 粗略（360°）和精细（10°）θ调整
• 卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统
• 铝与不锈钢镀盘，附有可拆卸的前锲
• 精密测微计驱动压盘Z上升（13mm）
• 显微镜柱，附有同轴和线性显微镜X，Y移动100 mm x 100mm
• 7:1变焦(100x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm
• 两个DC MA-8005 操纵器，带磁性底座，面板和同轴探针臂（标准，For LA-xx DC）
• 两个DC MA-8000操纵器，带磁性底座和HF西/东探测臂（标准，For LA-xx HF）

技术参数（型号：LA-100 DC/HF）：

• 尺寸：420 mm X 540 mm X 535 mm
• 重量：32 kg
• 电源：AC 110/220V AC 50-60 Hz，20A
• 真空：23 Hg 或 -0.8 bar
• 基座：带橡胶隔振脚的实心铝刚性基座
• 卡盘X-Y轴移动：用于粗调的可调磁性滑轨（>100 mm）
• 微调-25 mm（X，Y）
• 整个支架可通过磁性基座轻松拆卸
• 卡盘Z移动：行程：20 mm
• θ移动：360°粗调，10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，高频等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 操纵器固定-磁性(标准)，真空(可选真空歧管)
• 压盘位移：测微计驱动调节压盘Z
• 显微镜安装：刚性铝柱（标准）或吊杆
• 显微镜移动：手动移动同轴和线性精密显微镜-100mm（X）和100mm（Y）

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 可选配件：

CCTV系统（摄像机、监视器和适配器）、操纵器、探针臂、探针、电缆、光学隔振台，暗箱等

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 产品描述：

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，平台,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了完美的解决方案。

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台技术参数（型号：PS4L M-12）：

• 产品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）
• 卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm
• θ移动：可转角度：360°粗调，>10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 平面性:5μm
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)
• 压盘位移：可选择固定和线性调节（线性调节范围：40mm粗调，200um微调）
• 显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜
• 显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 是一款用于高负载精密科研设备的优秀隔振系统， 模块化、易于安装的设计,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍适用于大量的仪器,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 400series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

产品特点:

• 主控频率  1Hz - 200Hz
• 被动防振频率   >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 通过LED显示屏控制

产品应用:

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• 光谱测量
• 高精度测量
• 其他高精密仪器

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 产品优势:  

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

 技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

隔振范围：超过10Hz 的传输< 0.017(-35 dB)

模块尺寸： W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

模块重量：40 KG / 88 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约1.7 μm / N

水平方向：约3.4 μm / N

系统噪声：少于50nG/√Hz

耗电量：18 W(典型配置

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

可选型号：

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

HOA系列被动隔振台-除振台-光学隔振平台是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：HOA   ※可选HOS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz
• 调平方式：自动调平(包含3个调平传感器）
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6.25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※可选黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：135-2,577 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：蜂窝板，石板和铸铁板

隔音效果：

HOA系列 被动隔振台-除振台-光学隔振平台 可有效降低垂直方向上的振动情况，控制外力冲击导致的振动位移现象：

被动隔振台-除振台-光学隔振平台 Herz HOA系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

NanoVault产品描述：

隔声箱NanoVault是HERZAN专为超敏感仪器和应用而设计的一款桌面式隔音箱，原子力显微镜隔音箱采用11层多层可变密度隔音材料，可确保宽频率噪声隔离。这款原子力显微镜隔音箱外形设计紧凑，可以轻松放置在任何台面上，尺寸适中可满足有限的可用空间，成本效益高，可以提供优异的宽带隔音性能。此外，还为用户提供环境，可用性和可访问性功能升级选项，满足各种研究需求。

工作原理：

声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。原子力显微镜隔音箱-隔声箱-隔声系统NanoVault对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成的原子力显微镜隔音箱-隔声箱-隔声系统NanoVault，Herzan隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

技术参数：

• 内部尺寸(W x D x H): 17.3 x 19.7 x 34.5 in/439 x 500 x 876 mm
• 外部尺寸 (W x D x H): 20.1 x 24.1 x 36.1 in/510 x 612 x 917 mm

升级选项：

• 隔振台集成(主动或被动)
• 性能升级
• NanoDamp框架
• EMI电磁屏蔽
• 附加或定制电缆夹
• 定制尺寸和颜色

隔音效果-屏蔽罩：

NanoVault隔声系统 内部覆盖有多层可变密度材料，原子力显微镜隔音箱-隔声箱-隔声系统NanoVault可在宽频谱范围内实现最高的隔音性能。

-100 Hz降噪50dB

-500 Hz降噪29dB

-1,000 Hz降噪35dB

-1,500 Hz降噪42dB

-2,000 Hz降噪50dB

原子力显微镜隔音箱NanoVault体积小，内部空间受限，我们建议客户考虑TS-150主动减震台和TS-C30桌面主动减振台。

原子力显微镜隔音箱-隔声箱-隔声系统NanoVault最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台产品描述：

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 基于SemiProbe的专利探针系统(PS4L)自适应结构设计制造，提供了无与伦比的灵活性和强大功能。目前，越来越多的应用要求能够从模具或晶片的两面进行探测。SemiProbe的DSP解决方案可满足以下需求：

• 探针从两侧
• 探针从顶部，检测输出从底部
• 探针从底部，检测输出从顶部的双侧测试需求。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 与传统的探针系统不同，该系统所有的基础模块——基座、卡盘支架、卡盘、显微镜支架、显微镜移动、光学元件、操纵器等都是可更换升级的。这使得DSP能为许多不同应用提供完美的解决方案。独特的模块化设计使客户能够获得精确满足其要求的定制系统。更重要的是，随着环境或测试条件的变化，PS4L探针系统可以很容易地进行现场升级，以满足新的需求。与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本。

双面探针系统（DSP）的发展：

双面探针系统（DSP）最初是用于两个应用：失效分析和离散设备。失效分析（FA）的应用涉及到发射显微镜，它需要接触晶圆的顶部或活动面，同时使用增强型或红外相机从另一侧成像。晶圆片安装时通常背面朝上朝向发射相机，而上部朝下。这简化了查找故障位置和确定故障根本原因的过程。包括SemiProbe在内的一些公司都有这种应用的解决方案。根据发射显微镜的类型和制造商，探测的一面可以是顶面或底面。

第二种类型的DSP系统用于探测分立大功率器件，包括晶闸管、二极管、整流器、电压抑制器、功率晶体管和/或IGBT。由于测试这些设备所用的功率，通过偏置卡盘进行普通背面接触是无法获得准确的结果的。通过单独接触DUT（被测设备）的背面，可获得准确的结果。此外，由于这些测试中所使用的功率，通常需要多个探头。

随着半导体行业不断努力在降低成本的同时提高设备的性能，新技术正在成为产品设计和生产的主流，这些新技术需要DSP解决方案——MEMS、光电子、硅通孔等等。另一个新兴的DSP应用涉及在晶圆上方或下方安装太阳模拟器头，以刺激另一面偏压的装置。在设计工作和表征方面，SemiProbe已开创了一些创新的DSP解决方案来探测这些设备。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台技术参数：

• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 空气:最小流量100psi
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：手动或编程控制
• 行程:205*205mm
• 卡盘Z轴轨道：手动或编程控制
• 行程：最高可达20mm
• θ移动：手动（＞30°）或编程控制（±4°）
• 显微镜移动：手动或编程控制
• 行程：50x50mm-200x200mm
• 卡盘载体：75mm，100mm，150mm，200mm
• 部分晶圆片
• 芯片托盘
• 压盘材料：铝与镀镍钢
• 光学元件：

1. 显微镜：大多数为立体变焦，100x放大倍数
2. 底部：数码变焦镜
3. 相机：两个光学元件都有CCTV相机，通过视频开关连接到显示器上

可选配件：

包括隔振台、暗箱、探针卡、操纵器、探测臂和基座、探针，光学部件，CCTV 系统、其他晶圆片载体等

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动除震台 AVI-200S是紧凑型模块化的主动除震台，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的防震性能。AVI-200S主动除震台轻巧型模块，承重单模块200Kg，适用于承重部分结构紧凑，安装方便。

产品描述：

主动除震台-除震台-电子天平防震台-轮廓仪防震台-主动隔振系统是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。 AVI-200S通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

 AVI-200S适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

 AVI-200S主动除震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列-隔振台-电镜减震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。主动除震台-除震台-电子天平防震台-轮廓仪防震台-主动隔振系统 利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动除震台技术参数：

• 型号：AVI-200S/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 8 kg
• 负载能力:400 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常9W
• 校正力：水平最大4N，垂直最大8N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约3.5µm/N，水平约7µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

   升级选项：

• AVI-200S主动除震台-隔振台-电镜减震台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

在电子显微镜增加除震台，消除震动的同时，测试精度也收到交直流磁场干扰，我们也建议了解我们的主动消磁设备SC26.

主动除震台-隔振台-电镜减震台 AVI-200S最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable |防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL为各类精密仪器主动减振台-防振台-隔振台，光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台！

产品描述：

AVI系列主动隔震台-防震台-减震台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动隔震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600XL/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量: 34kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

  升级选项：

• Table stable|主动隔震台-防震台-减震台AVI-600XL可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔zhen系统和包含AVI系列隔震台。当使用AVI系列减震台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable 防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。