Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 是一款用于高负载精密科研设备的优秀隔振系统， 模块化、易于安装的设计,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍适用于大量的仪器,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 400series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

产品特点:

• 主控频率  1Hz - 200Hz
• 被动防振频率   >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 通过LED显示屏控制

产品应用:

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• 光谱测量
• 高精度测量
• 其他高精密仪器

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 产品优势:  

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

 技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

隔振范围：超过10Hz 的传输< 0.017(-35 dB)

模块尺寸： W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

模块重量：40 KG / 88 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约1.7 μm / N

水平方向：约3.4 μm / N

系统噪声：少于50nG/√Hz

耗电量：18 W(典型配置

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

可选型号：

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI200主动式隔振台-AVI200主动隔振台-主动隔振台 是一款紧凑型主动隔振系统，对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择。AVI-200主动隔振台这款设备允许在一定的大小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量，通过增加选件可以将低频扩展至0.5hZ,单模块承重200kg,配置多个模块时承重为200*Nkg,为客户精密测试加工提供良好的振动环境，广泛引用于原子力显微镜，超景深显微镜，电子显微镜，微纳加工等等。

产品特点:

• 主动隔振台主动隔振频率 1Hz -200Hz
• 主动隔振台被动隔振频率 >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计
• 多种顶板支持各种研究及应用

产品应用:

• STM
• AFM
• 摩擦学
• Spinstand
• 干涉测量
• 轮廓测量
• 其他高精密仪器

产品优势:

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

传输率:超过10Hz< -35 dB

模块尺寸:W 5.1” x D 23.6” x H 4.3” (AVI-200 M)

模块重量:20 KG / 4.4 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向:约 1.75 μm / N

水平方向:约3.5 μm / N

系统噪声:低于 50nG/√Hz

耗电量:通常情况下为9 W

输入电压:90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控:通过在示波器上显示 一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级。

可选型号：

AVI200主动式隔振台-AVI200主动隔振台-主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 产品描述：

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台  ATM系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 技术参数：

• 型号：ATM-1010L  ※可选：ATM-1010LA(B)
• 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm
• 安装板尺寸：1000W×1000Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：300kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：200kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-6050A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：70Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：600x500x87 mm
• 外部尺寸：640x540x87 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A具有水平隔离机制，与DT系列相比可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台产品描述：

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 基于SemiProbe的专利探针系统(PS4L)自适应结构设计制造，提供了无与伦比的灵活性和强大功能。目前，越来越多的应用要求能够从模具或晶片的两面进行探测。SemiProbe的DSP解决方案可满足以下需求：

• 探针从两侧
• 探针从顶部，检测输出从底部
• 探针从底部，检测输出从顶部的双侧测试需求。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台 与传统的探针系统不同，该系统所有的基础模块——基座、卡盘支架、卡盘、显微镜支架、显微镜移动、光学元件、操纵器等都是可更换升级的。这使得DSP能为许多不同应用提供完美的解决方案。独特的模块化设计使客户能够获得精确满足其要求的定制系统。更重要的是，随着环境或测试条件的变化，PS4L探针系统可以很容易地进行现场升级，以满足新的需求。与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本。

双面探针系统（DSP）的发展：

双面探针系统（DSP）最初是用于两个应用：失效分析和离散设备。失效分析（FA）的应用涉及到发射显微镜，它需要接触晶圆的顶部或活动面，同时使用增强型或红外相机从另一侧成像。晶圆片安装时通常背面朝上朝向发射相机，而上部朝下。这简化了查找故障位置和确定故障根本原因的过程。包括SemiProbe在内的一些公司都有这种应用的解决方案。根据发射显微镜的类型和制造商，探测的一面可以是顶面或底面。

第二种类型的DSP系统用于探测分立大功率器件，包括晶闸管、二极管、整流器、电压抑制器、功率晶体管和/或IGBT。由于测试这些设备所用的功率，通过偏置卡盘进行普通背面接触是无法获得准确的结果的。通过单独接触DUT（被测设备）的背面，可获得准确的结果。此外，由于这些测试中所使用的功率，通常需要多个探头。

随着半导体行业不断努力在降低成本的同时提高设备的性能，新技术正在成为产品设计和生产的主流，这些新技术需要DSP解决方案——MEMS、光电子、硅通孔等等。另一个新兴的DSP应用涉及在晶圆上方或下方安装太阳模拟器头，以刺激另一面偏压的装置。在设计工作和表征方面，SemiProbe已开创了一些创新的DSP解决方案来探测这些设备。

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台技术参数：

• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 空气:最小流量100psi
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：手动或编程控制
• 行程:205*205mm
• 卡盘Z轴轨道：手动或编程控制
• 行程：最高可达20mm
• θ移动：手动（＞30°）或编程控制（±4°）
• 显微镜移动：手动或编程控制
• 行程：50x50mm-200x200mm
• 卡盘载体：75mm，100mm，150mm，200mm
• 部分晶圆片
• 芯片托盘
• 压盘材料：铝与镀镍钢
• 光学元件：

1. 显微镜：大多数为立体变焦，100x放大倍数
2. 底部：数码变焦镜
3. 相机：两个光学元件都有CCTV相机，通过视频开关连接到显示器上

可选配件：

包括隔振台、暗箱、探针卡、操纵器、探测臂和基座、探针，光学部件，CCTV 系统、其他晶圆片载体等

Semiprobe双面探针台-双面量测探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM，EM隔音箱是Herzan最新款电子显微镜隔音箱，采用模块化面板设计，可确保最大程度地防止泵，冷却器和其他扬声实验室设备产生的破坏性噪声。每个EM隔音箱都可以根据电子显微镜的特定要求和研究需求进行定制，包括隔音箱大小和功能，以确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求，确保研究人员从显微镜中获得最佳结果。

工作原理:

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

升级选项：

• 隔振台集成(AVI系列)
• 主动EMI消除系统集成(Spicer系统)
• 隔声性能升级
• 温度稳定性
• 定制尺寸和颜色
• 定制访问点和门

技术参数：

内部尺寸(W x D x H): 48 x 56 x 80 in/1,219 x 1,422 x 2,032 mm

外部尺寸 (W x D x H): 52 x 60 x 83.5 in/1,321 x 1,524 x 2,121 mm

隔音效果：

EM隔音箱内部覆盖有多层可变密度材料，可在宽频率范围上提供持续可靠的隔音性能。

-100 Hz降噪33dB

-500 Hz降噪37dB

-1,000 Hz降噪36dB

-1,500 Hz降噪36dB

-2,000 Hz降噪39dB

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM通过与AVI系列主动减振台和SC系列主动消磁器配合，一体消除外部因为振动声音磁场对测试产生的影响。

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案 中主动隔震台 AVI系列是主动隔震频率台实现最大的分辨率。

在所有的六个维度，AVI系列主动隔震台可以实现亚赫兹的主动隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8%。

主动隔震台主要由负载（电子显微镜或者AFM 等等）、音圈电机、控制器、加速度传感器和电源组成，其发展主要决定于音圈电机、控制器和隔震结构的发展。主动隔震台按形式可分为完全主动隔震台和主动/被动混合隔振。

一、AVI系列特性

• 可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率
• 超出200Hz可实现被动隔震
• 六个维度实现主动隔震
• 内部反馈循环
• 紧凑，模块化的设计
• 安装，使用简单，无需持续的维护

二、隔振技术介绍

AVI系列内部使用压电振动传感器，在AVI系统主动隔震台内部，至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的主动隔震数据。

另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后，将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。

三、隔震效果

振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土隔震台（Anti-Vibration Foundation）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform)、主动隔震台(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解决。

      F-1: 使用主动隔震之前的SEM图像

混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫层等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有大量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。

在主动隔震台中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧（汽缸）等方式的减震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动，所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品）的低频效果较好。下图是几种减震方式的效果比较。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。