主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 是一款紧凑型有源隔振台，对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择。AVI-600 WORKSTATION隔振台允许在一定的大小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量(最高9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作台也是支持纳米技术的最佳解决方案。

产品特点：

• 主动隔振频率：1Hz - 200Hz
• 被动防振频率>200Hz
• 5-20 毫秒的响应时间
• 安装简单，容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计

产品应用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道显微镜
• 大型的对震动敏感的仪器

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION产品优势：

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

传输率：超过 10Hz 的传输< -35 dB

模块尺寸：W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模块重量： 60 KG / 132 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约 12 μm / N

水平方向：约 6 μm / N

系统噪声：少于 50nG/√Hz

耗电量：27 W(典型配置)

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 可选型号：

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 是一款用于高负载精密科研设备的优秀隔振系统， 模块化、易于安装的设计,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍适用于大量的仪器,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 400series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

产品特点:

• 主控频率  1Hz - 200Hz
• 被动防振频率   >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 通过LED显示屏控制

产品应用:

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• 光谱测量
• 高精度测量
• 其他高精密仪器

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 产品优势:  

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

 技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

隔振范围：超过10Hz 的传输< 0.017(-35 dB)

模块尺寸： W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

模块重量：40 KG / 88 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约1.7 μm / N

水平方向：约3.4 μm / N

系统噪声：少于50nG/√Hz

耗电量：18 W(典型配置

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

可选型号：

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

HOA系列被动隔振台-除振台-光学隔振平台是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：HOA   ※可选HOS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz
• 调平方式：自动调平(包含3个调平传感器）
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6.25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※可选黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：135-2,577 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：蜂窝板，石板和铸铁板

隔音效果：

HOA系列 被动隔振台-除振台-光学隔振平台 可有效降低垂直方向上的振动情况，控制外力冲击导致的振动位移现象：

被动隔振台-除振台-光学隔振平台 Herz HOA系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A是HERZ开发的最新系列，改进了原始DT系统的空气弹簧系统提供的垂直隔离。该系列应用了高阻尼技术和超高性能三维空气弹簧，可提供360度水平隔离，并具有超硬的阻尼支脚，可为用户提供理想的隔振解决方案。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：3DT-6050A
• 隔振方式：HERZ高精度空气弹簧
• 共振频率(垂直)：1.5–3.0 Hz
• 共振频率 (水平)：1.0–2.0 Hz
• 供气方式：空气压缩机/供气系统
• 调平类型：自动调平(3个液位传感器)
• 负载能力：70Kg
• 系统支脚：超硬绝缘体
• 内部尺寸：600x500x87 mm
• 外部尺寸：640x540x87 mm
• 产品配件：3 m 管道 (用于连接气源), 使用说明
• 面板选项：(面板和框架可进行高阻尼处理)
• 钢材层压减振片
• 机械加工和黑色涂层处理
• 铁磁不锈钢
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-50mmXY
• 铁磁不锈钢，带安装孔 M6-25mmXY

隔振效果：

3DT系列 气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A具有水平隔离机制，与DT系列相比可以在三个维度上提供良好的隔振性能。

气浮隔振平台-气浮平台-气浮光学平台 3DT-6050A最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 产品描述：

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台  ATM系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 技术参数：

• 型号：ATM-1010L  ※可选：ATM-1010LA(B)
• 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm
• 安装板尺寸：1000W×1000Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：300kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：200kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Herz隔振台-气浮隔振台-隔振平台 ATM-88LA系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件.相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：ATM-86L  ※可选：ATM-86LA(B)
• 外形尺寸：800W×640D×709Hmm
• 安装板尺寸：800W×600Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：150kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：120kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

Herz隔振台-气浮隔振台-隔振平台 ATM-88LA最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。