主动隔振技术 随着超精密加工、精密测试等技术的发展，对环境的敏感程度也越来越高，被动隔振已经远远不能满足现在的要求。例如在精密光学领域，扫描隧道显微镜（STM）利用隧道效应及隧道电流原理而工作，STM在工作时，探针针尖与测试样品的距离很近（小于1nm），由于隧道效应，在探针与测试样品表面之间就会产生隧道电流并保持不变，隧道电流与隧道距离成指数关系，若表面有微小起伏，也将使得穿透电流发生成千上万倍的变化。这种携带原子结构的信息经过计算机的处理即可显示出一幅三维图像，其分辨率可达到0.01nm，放大倍数可达几亿倍。要达到这些效果，超精密类仪器必须搭配性能优秀的隔振装置。

主动隔振技术 工作原理

单自由度振动系统是最简单的振动系统，我们通过分析该系统来解释主动隔振原理。如图 1 所示，有阻尼单自由度隔振系统受外力F做一定规律的运动，主动隔振通过传感器（按所测机械量分有位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、应变传感器、扭振传感器、扭矩传感器，按机电变换原理分电动式、压电式、电涡流式、电感式、电容式、电阻式）检测到该系统的运动信息，该信息经过内置信号处理器的处理，反馈到执行电机中，执行电机产生一个与外力F大小相同，相位相反的力F₀，使得该系统的合外力为零，该系统处于平衡状态。当然，实际情况振动是以波的方式传播，根据波的叠加原理，振动波也可通过主动隔振系统被抵消。

实际的系统具有多个自由度，刚性系统都具有六个自由度，分别是x轴、y轴、z轴以及绕x轴、y轴、z轴的转动。所以主动隔振系统在每个自由度具备相应的传感器及执行电机。

主动隔振技术 系统响应

主动隔振，根据波的叠加原理，振动波被抵消，实际上不可能绝对做到这点，因为存在一定的响应时间，所以波没有完全被抵消，事实上还会存在一定的振动，但是由于振动被大幅度的降低，已经可以使得需要隔振的设备发挥其最大的性能。

相关产品

Table Stable 作为主动隔振领域的领导者，低功率压电技术与瑞士品质完美契合，铸就了AVI系列与TS系列产品。广州市固润光电科技有限公司作为Table Stable 在中国的代理商，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。

TS系列在水平轴隔振效果如图 2图 3所示：

在垂直方向隔振效果如图 4所示：

主动隔振技术最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响 直接关系到实验的结果。超稳腔 在科学实验与实际应用工程中都有着重要的作用，比如可以应用于稳频激光器、标准光学频率的测量、引力波检测和基础物理常数测试。

随着物理精密测量及传感技术的研究和发展，人们对于激光器输出频率的稳定性及激光器系统作为传感器的抗干扰性都有了更高的要求。尤其是在原子分子光谱、原子频标等精密测量领域，压窄激光器的线宽及提高系统的稳定性是提高测量精度的关键。通常，根据实验需求构建闭环反馈环路，以原子跃迁线或光学谐振腔作为频率参考，通过密封、恒温等措施减小室温起伏、随机的无规则扰动等环境因素对激光器输出频率的干扰，可极大提高激光器输出频率的稳定性。但在实际应用的过程中，环境中的扰动是随机出现的，无法针对其特征频率进行抑制，因此优化激光器系统本身的频率响应特性，增强系统在整个带宽范围内的频率稳定性就变得十分重要。另外，除了从全局优化激光器的动态特性外，还需要对处在实际环境中的激光器系统进行针对性地校正和优化，因此，有必要对激光器的声音响应特性进行研究。

激光利用置放于光学谐振腔内的激活介质产生激光振荡，如果腔的机械长度]或者腔镜片之间的介质的折射率M发生变化就会引起频率的变化，所以造成谐振腔几何长度和折射率改变的因素很多，主要有以下几点。

1、温度影响

温度变化的影响与任何物体的线性尺寸和温度都有关系。激光管所用的玻璃、金属支架的尺寸都随温度的变化而变化(一般满足热涨冷缩的原理)，故引起频率的漂移。

在激光器的工作过程中，散热的原因导致温度漂移使得激光器阈值电流漂移增加，输出功率下降，发射波长偏移，引起模式变化，各种缺陷特性凸显。主要表现在温度偏移对激光波长漂移的影响，温度偏移对出光效率的影响，温度偏移对腔体型变的影响，温度漂移对电流的影响

2、机械影响

外界的机械振动，如建筑物的震动、车辆的通行和声响等都会引起腔的支架振动，

使谐振腔的光学长度发生变化，从而导致振荡频率的漂移。为了克服机械振动的影响，稳频激光器必须准备良好的防震措施。

3、磁场的影响

激光器谐振腔间隔器多采用殷钢材料，但殷钢的磁致伸缩性质可能引起腔长的变化，所以必须考虑地磁场效应和激光器周围电子仪器的杂散磁场对高稳定激光器或由磁场效应稳频的激光器的影响。除此之外，大气变化等造成空气折射率变化激光器内的气压、放电电流的变化，还有自发辐射造成的无规则噪声等内部因素也会影响频率的稳定性。

通过以上分析可知，最直接的稳频办法是恒温、防震、密封隔声和消磁等，但是这些措施只可使频率稳定度达10-7量级，要提高到10-8量级以上[4]，必须使用伺服系统对激光器进行自动控制稳频， 即主动稳频的方法。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响

从图1频率变化与腔长变化的关系可知，超稳腔频率稳定性与腔长稳定性有关，而影响腔长稳定性的主要因素有振动、噪音以及温度。其中振动与噪音主要是使超稳腔发生形变导致产生相对位移，或者是影响激光和参考腔轴线的夹角，从而间接导致参考腔长度发生变化，温度主要是由于热胀冷缩导致腔长发生变化。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响 解决方法

解决振动噪音对腔长稳定性影响主要从两个方面入手，一方面是合理设计参考腔的形状以及支撑结构，使得参考腔本身对振动不敏感；另外一方面可以选择使用隔振台与隔音箱，隔振性能优秀的隔振台与隔音箱可以大幅度减少振动对参考腔长度的影响。

具体方案

1、隔振台 ：

瑞士Table Stable公司与日本HERZ的主动隔振台，其减振隔振性能处于行业领先地位，主动隔振台主要有TS系列和AVI系列，广州市固润光电科技有限公司作为在中国的代理商，在减振领域拥有着丰富的经验，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。图2为TS系列与AVI系列主动隔振台示意图。图3为客户的实际应用。

2、隔音箱（温度稳定系统，磁场被动屏蔽系统）：

在激光器的工作过程中，散热的原因导致温度漂移使得激光器阈值电流漂移增加，输出功率下降，发射波长偏移，引起模式变化，各种缺陷特性凸显。主要表现在温度偏移对激光波长漂移的影响，温度偏移对出光效率的影响，温度偏移对腔体型变的影响，温度漂移对电流的影响

广州市固润光电科技有限公司代理美国Herzan公司的隔音箱同样有着优秀的隔音性能，主要有EM、NanoVault、Crypt、AEK-2002、Silencer、AEK-2011等型号，此外还支持定制，可以满足客户的各种要求，包括定制尺寸、定温控温、开孔、EMI屏蔽等功能，以优异的性能消除环境中的各种影响。Herzan隔音箱提供

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-振动、噪音和磁场的影响最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

SC22和SC24可以轻松配置，以满足现场的独特要求，利用传感器阵列和其他辅助设备，确保为所支持的仪器提供基于其环境的优化解决方案。SC-22仅用于消除交流磁场，而SC24用于消除交流和直流磁场。这两种系统都可防止由以下原因引起的磁场波动：

• 地铁
• 配电设备
• 电梯
• 移动车辆

Spicer消磁系统拓宽了电子显微镜的可用安装位置，允许将其放置在存在不同高磁场的位置。因此，它们可以放置在以前由于磁场干扰而无法安装的地点。其相关应用包括：

• 扫描电子显微镜
• 透射电子显微镜
• 核磁共振成像机器
• 俄歇电子能谱仪
• 及其他对磁场敏感的仪器

Spicer消磁系统的产品优势：

• 经济有效的消磁系统
• 全三轴(X, Y, Z)系统
• 50/60 Hz时磁场降低＞50 x
• 使用DC传感器时直流磁场降低＞400x
• 带宽2.5 Hz-5 kHz（带AC传感器）;
• DC到5kHz（带DC传感器）
• 可适应100 μs范围内的磁场变化

Herzan隔音箱-Spicer主动消磁系统-扫描电子显微镜环境改善解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS140-主动隔振台-用于卡西米力研究 波士顿大学的研究人员正在使用其定制计量平台进行开西米尔力研究，该平台由MEMs加速度计组成，该加速度计旨在用于对卡西米尔力进行敏感的室温测量。卡西米尔力是由于真空中的量子涨落而在金属表面之间以小于1um的间距出现的一个很小的pN标度力。 因为需要测量的力非常小，所以必须使加速度计的本底噪声尽可能低。由于该定制计量平台的机械噪声对研究产生了影响，研究人员正在寻找一种有效的方法来隔离该平台的噪声。为此，他们选择TS-140主动隔振台作为解决方案，以帮助消除定制计量平台的机械噪声。TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。当研究人员使用TS-140主动隔振台时，可以有效降低机械振动对定制计量平台的影响，从而增加了稳定性，有利于继续进行开西米尔力研究。

应用范围：卡西米尔力研究

设备：定制卡西米尔力计量平台，配备MEM传感器

最终用户：波斯顿大学，Alexander Stange

隔振系统：TS-140主动隔振台

TS-140主动隔振台是一款即插即用系统，采用研究级压电传感技术，能够实现六个自由度全方位隔振，还具备LCD实时显示（振动水平，重量分布等）。TS-140/LP主动隔振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！

TS140-主动隔振台-用于卡西米力研究最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

在充满不确定性和社会束缚的时代里，科学研究很难取得进展。由于每个人都需要团结协作进行远程工作，因此对设施，人员和供应商资源的访问可能会受到限制。Herzan 很幸运能够与一些最具创新力的团体合作，在疫情期间继续为研究人员及其研究提供支持，项目涉及 振动分析仪 Wavecatcher-隔音箱-隔声箱等，以使整个社会受益。Herzan 为此制定了专门计划来调整支持和服务以满足客户的需求。

一、HERZAN面向研究人员的服务计划

1.远程现场调查报告- 振动分析仪 Wavecatcher

2.远程安装支持

二、远程现场调查报告

1、为什么研究人员需要现场调查

为什么许多研究人员迫不及待地想要进行现场调查？因为这对于保证准确的结果仍然很重要。

尽管一些研究人员暂时可以推迟数据测量，但许多关键业务和基本服务并未降低运行速度（在某些情况下会加速运行），从而为研究设备带来了更大的噪音。

2、什么是远程现场调查？

远程现场调查提供与实地现场调查相同水平的环境信息，同时节约费用（节省50％的费用）并保持社交距离。

研究人员可以租用任何 振动分析仪- WaveCatcher 现场调查工具来直接获取振动，声学和/或EMI测量数据。 Herzan的工程团队将可以验证所得数据，并在收到数据后对其进行分析/报告。

3、配置WaveCatcher 所需的信息

振动分析仪

有兴趣安排远程现场调查或租用振动分析仪-WaveCatcher的研究人员，应向Herzan的工程团队提供以下信息：

• 被测量的噪声类型：振动，声学和/或EMI
• 被测频率范围
• 仪器/应用环境规范
• 所需的测量类型：FFT或正在进行的数据记录

4、远程安装支持

研究人员无需再延迟显微镜最终安装工作，因为现在可以虚拟安装Herzan的环境解决方案。

Herzan的工程师团队为AVI系列，Spicer系统和SEM隔音箱创建了一个远程安装支持程序。 该程序提供可视资源（例如3D模型，工程图等）和视频会议支持，以确保客户可以成功解决实验室中的噪音，同时确保正确安装了环境解决方案。

5、3D建模提供完整的可见性

Herzan的工程团队在为产品设计3D模型和图纸方面经验丰富。 此外，Herzan团队还广泛使用各种仪器设备来专门优化安装程序。

三、虚拟安装协助- Herzan

现代视频会议使远程安装变得无缝，使研究人员随时可以和Herzan的工程师对话，以确保安装成功。

在安装之前，研究人员可以联系Herzan的工程师，详细了解大致的安装计划，并且在安装过程中如有任何问题，都可以咨询工程师。

远程安装支持的成本将远低于传统安装服务，节省研究人员的资金，同时使他们有机会在此过程中改善研究设置。

振动分析仪-Herzan-助力 高精度微纳成像 研究最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM，EM隔音箱是Herzan最新款电子显微镜隔音箱，采用模块化面板设计，可确保最大程度地防止泵，冷却器和其他扬声实验室设备产生的破坏性噪声。每个EM隔音箱都可以根据电子显微镜的特定要求和研究需求进行定制，包括隔音箱大小和功能，以确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求，确保研究人员从显微镜中获得最佳结果。

工作原理:

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

升级选项：

• 隔振台集成(AVI系列)
• 主动EMI消除系统集成(Spicer系统)
• 隔声性能升级
• 温度稳定性
• 定制尺寸和颜色
• 定制访问点和门

技术参数：

内部尺寸(W x D x H): 48 x 56 x 80 in/1,219 x 1,422 x 2,032 mm

外部尺寸 (W x D x H): 52 x 60 x 83.5 in/1,321 x 1,524 x 2,121 mm

隔音效果：

EM隔音箱内部覆盖有多层可变密度材料，可在宽频率范围上提供持续可靠的隔音性能。

-100 Hz降噪33dB

-500 Hz降噪37dB

-1,000 Hz降噪36dB

-1,500 Hz降噪36dB

-2,000 Hz降噪39dB

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM通过与AVI系列主动减振台和SC系列主动消磁器配合，一体消除外部因为振动声音磁场对测试产生的影响。

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

隔音箱制造商-HERZAN 产品与时俱进，适应现代研究的需求,美国知名 隔音箱 制造商 HERZAN 升级隔音箱增强隔音性能,Herzan团队根据研究人员的反馈进行更改，能够进一步提高产品性能，可访问性和可靠性。最新的产品展示了Herzan热销产品的最新升级，包括AVI系列主动振动控制平台，AEK 隔音箱 和SEM 隔音箱。

一、堆叠两个AVI平台可降低75dB

AVI系列目前可提供业界领先的低频振动控制，但Table Stable的研发团队证明堆叠主动隔振系统具有极大优势，下图显示了被动，主动和双堆叠主动隔振系统之间在振动控制性能方面的巨大差异。

添加可以改善任何AVI平台的低频隔离性能的LFS系统后，可以看到标准或双堆叠主动隔振系统性能得到进一步改善。

被动vs主动vs双堆叠主动

被动:禁用AVI-200主动隔振

主动:启用AVI-200主动隔振

双堆叠主动:AVI-200放置在现有AVI-200和顶板之上;两者均启用主动隔振

二、升级电缆夹可防止声音进入Herzan 隔音箱

Herzan 隔音箱 的设计旨在最大程度地为研究人员提供便利，同时最大程度地减少传入的噪音和气流。由于多年来支持的项目众多，因此引入该升级来支持这三个设计目标。

最新的升级改进了客户将电缆从隔音箱中移出的方式，现在可以根据每种仪器的电缆直径和数量进行定制。这种新方法可确保研究人员将仪器安全地安装在Herzan隔音箱内，而不会受到气流或本地噪声的干扰。

多种电缆端口插入件可供选择，优化 隔音箱 ，方便研究应用。

三、在Herzan SEM 隔音箱 中保持SEM温度稳定性-隔音箱

该图可视化了散热系统如何集成到Herzan SEM隔音箱和周围实验室环境中

随着电子显微镜的发展，对声学噪声的敏感性变得越来越普遍，通常需要隔音箱隔离周围实验室的噪声。将电子显微镜封闭在隔音箱中时，管理内部温度对防止热漂移有害影响的至关重要。

Herzan的动态散热解决方案旨在最大程度地提高隔音箱的散热量，同时最大程度地减少隔音箱内部循环的空气和进入隔音箱的噪音。

Herzan隔音箱

隔音箱制造商-HERZAN-升级隔音箱增强隔音性能最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

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