在充满不确定性和社会束缚的时代里，科学研究很难取得进展。由于每个人都需要团结协作进行远程工作，因此对设施，人员和供应商资源的访问可能会受到限制。Herzan 很幸运能够与一些最具创新力的团体合作，在疫情期间继续为研究人员及其研究提供支持，项目涉及 振动分析仪 Wavecatcher-隔音箱-隔声箱等，以使整个社会受益。Herzan 为此制定了专门计划来调整支持和服务以满足客户的需求。

一、HERZAN面向研究人员的服务计划

1.远程现场调查报告- 振动分析仪 Wavecatcher

2.远程安装支持

二、远程现场调查报告

1、为什么研究人员需要现场调查

为什么许多研究人员迫不及待地想要进行现场调查？因为这对于保证准确的结果仍然很重要。

尽管一些研究人员暂时可以推迟数据测量，但许多关键业务和基本服务并未降低运行速度（在某些情况下会加速运行），从而为研究设备带来了更大的噪音。

2、什么是远程现场调查？

远程现场调查提供与实地现场调查相同水平的环境信息，同时节约费用（节省50％的费用）并保持社交距离。

研究人员可以租用任何 振动分析仪- WaveCatcher 现场调查工具来直接获取振动，声学和/或EMI测量数据。 Herzan的工程团队将可以验证所得数据，并在收到数据后对其进行分析/报告。

3、配置WaveCatcher 所需的信息

振动分析仪

有兴趣安排远程现场调查或租用振动分析仪-WaveCatcher的研究人员，应向Herzan的工程团队提供以下信息：

• 被测量的噪声类型：振动，声学和/或EMI
• 被测频率范围
• 仪器/应用环境规范
• 所需的测量类型：FFT或正在进行的数据记录

4、远程安装支持

研究人员无需再延迟显微镜最终安装工作，因为现在可以虚拟安装Herzan的环境解决方案。

Herzan的工程师团队为AVI系列，Spicer系统和SEM隔音箱创建了一个远程安装支持程序。 该程序提供可视资源（例如3D模型，工程图等）和视频会议支持，以确保客户可以成功解决实验室中的噪音，同时确保正确安装了环境解决方案。

5、3D建模提供完整的可见性

Herzan的工程团队在为产品设计3D模型和图纸方面经验丰富。 此外，Herzan团队还广泛使用各种仪器设备来专门优化安装程序。

三、虚拟安装协助- Herzan

现代视频会议使远程安装变得无缝，使研究人员随时可以和Herzan的工程师对话，以确保安装成功。

在安装之前，研究人员可以联系Herzan的工程师，详细了解大致的安装计划，并且在安装过程中如有任何问题，都可以咨询工程师。

远程安装支持的成本将远低于传统安装服务，节省研究人员的资金，同时使他们有机会在此过程中改善研究设置。

振动分析仪-Herzan-助力 高精度微纳成像 研究最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM，EM隔音箱是Herzan最新款电子显微镜隔音箱，采用模块化面板设计，可确保最大程度地防止泵，冷却器和其他扬声实验室设备产生的破坏性噪声。每个EM隔音箱都可以根据电子显微镜的特定要求和研究需求进行定制，包括隔音箱大小和功能，以确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求，确保研究人员从显微镜中获得最佳结果。

工作原理:

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

升级选项：

• 隔振台集成(AVI系列)
• 主动EMI消除系统集成(Spicer系统)
• 隔声性能升级
• 温度稳定性
• 定制尺寸和颜色
• 定制访问点和门

技术参数：

内部尺寸(W x D x H): 48 x 56 x 80 in/1,219 x 1,422 x 2,032 mm

外部尺寸 (W x D x H): 52 x 60 x 83.5 in/1,321 x 1,524 x 2,121 mm

隔音效果：

EM隔音箱内部覆盖有多层可变密度材料，可在宽频率范围上提供持续可靠的隔音性能。

-100 Hz降噪33dB

-500 Hz降噪37dB

-1,000 Hz降噪36dB

-1,500 Hz降噪36dB

-2,000 Hz降噪39dB

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱HerzanEM通过与AVI系列主动减振台和SC系列主动消磁器配合，一体消除外部因为振动声音磁场对测试产生的影响。

电镜隔音-电镜隔音箱-电子显微镜隔音箱 HerzanEM最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案 中主动隔震台 AVI系列是主动隔震频率台实现最大的分辨率。

在所有的六个维度，AVI系列主动隔震台可以实现亚赫兹的主动隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8%。

主动隔震台主要由负载（电子显微镜或者AFM 等等）、音圈电机、控制器、加速度传感器和电源组成，其发展主要决定于音圈电机、控制器和隔震结构的发展。主动隔震台按形式可分为完全主动隔震台和主动/被动混合隔振。

一、AVI系列特性

• 可实现从0.5~200Hz的主动隔震频率
• 超出200Hz可实现被动隔震
• 六个维度实现主动隔震
• 内部反馈循环
• 紧凑，模块化的设计
• 安装，使用简单，无需持续的维护

二、隔振技术介绍

AVI系列内部使用压电振动传感器，在AVI系统主动隔震台内部，至少具有八个压电振动传感器。分别探测六个维度的主动隔震数据。

另外，压电加速计可以将动力学振动能量转换为电子讯号，从而转换为控制电子信号，电子协调和处理从各种压电传感器测来的信号，并用算法进行处理。然后，将把电子信号发送到执行器。实现信号的反馈。

三、隔震效果

振动（Vibration），特别是20Hz 以下的低频振动对电子显微镜（简称电镜）的干扰影响很大。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标，则必须采取适当措施，否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土隔震台（Anti-Vibration Foundation）、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform)、主动隔震台(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解决。

      F-1: 使用主动隔震之前的SEM图像

混凝土减震台需要现场施工，且必须采取特殊方法（底部和周围有弹性软垫层等），一般的土建施工方法有可能反而增加低频（20Hz 以下）振动。施工中有大量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。混凝土减震台的质量越大减振性越好，经多次实测，小于10 吨的减震台在1～10Hz 低频段内有谐振，反而增大了振动。

在主动隔震台中，一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧（汽缸）等方式的减震器因为它们在20Hz 以下的低频段效果很差，甚至往往由于谐振反而加大了振动，所以不考虑采用。只有磁力减震器（国产专利产品）的低频效果较好。下图是几种减震方式的效果比较。

电镜主动隔振台-电子显微镜隔震解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

隔音箱制造商-HERZAN 产品与时俱进，适应现代研究的需求,美国知名 隔音箱 制造商 HERZAN 升级隔音箱增强隔音性能,Herzan团队根据研究人员的反馈进行更改，能够进一步提高产品性能，可访问性和可靠性。最新的产品展示了Herzan热销产品的最新升级，包括AVI系列主动振动控制平台，AEK 隔音箱 和SEM 隔音箱。

一、堆叠两个AVI平台可降低75dB

AVI系列目前可提供业界领先的低频振动控制，但Table Stable的研发团队证明堆叠主动隔振系统具有极大优势，下图显示了被动，主动和双堆叠主动隔振系统之间在振动控制性能方面的巨大差异。

添加可以改善任何AVI平台的低频隔离性能的LFS系统后，可以看到标准或双堆叠主动隔振系统性能得到进一步改善。

被动vs主动vs双堆叠主动

被动:禁用AVI-200主动隔振

主动:启用AVI-200主动隔振

双堆叠主动:AVI-200放置在现有AVI-200和顶板之上;两者均启用主动隔振

二、升级电缆夹可防止声音进入Herzan 隔音箱

Herzan 隔音箱 的设计旨在最大程度地为研究人员提供便利，同时最大程度地减少传入的噪音和气流。由于多年来支持的项目众多，因此引入该升级来支持这三个设计目标。

最新的升级改进了客户将电缆从隔音箱中移出的方式，现在可以根据每种仪器的电缆直径和数量进行定制。这种新方法可确保研究人员将仪器安全地安装在Herzan隔音箱内，而不会受到气流或本地噪声的干扰。

多种电缆端口插入件可供选择，优化 隔音箱 ，方便研究应用。

三、在Herzan SEM 隔音箱 中保持SEM温度稳定性-隔音箱

该图可视化了散热系统如何集成到Herzan SEM隔音箱和周围实验室环境中

随着电子显微镜的发展，对声学噪声的敏感性变得越来越普遍，通常需要隔音箱隔离周围实验室的噪声。将电子显微镜封闭在隔音箱中时，管理内部温度对防止热漂移有害影响的至关重要。

Herzan的动态散热解决方案旨在最大程度地提高隔音箱的散热量，同时最大程度地减少隔音箱内部循环的空气和进入隔音箱的噪音。

Herzan隔音箱

隔音箱制造商-HERZAN-升级隔音箱增强隔音性能最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C是一个具有远程测量头的系统，可以方便地测量三个正交方向上的加速度、速度或位移。Herz VA-2C可分别读取每个轴的读数，此外，多路输出允许在示波器上同时显示所有三个轴。后一个特征对于识别振动模式非常有用—频率、方向和振幅都可以从显示器中推断出来。该系统采用了最高质量标准的精密电子元件和机械元件，可无故障使用多年。

Table stable VA-2C技术参数：

控制单元

• 频率范围：2-1000Hz
• 测量范围：加速度 10^-5– 5 m/s²
• 速度  10^-7- 5x10^-2m/s
• 位移 1nm - 0.5mm
• 精确度：±5%；控制单元必须使用相应的测量头!
• 电源要求：100-240 VAC ±10%, 50-60Hz, 8VA
• 尺寸：215×230×75mm
• 重量：4kg

测量头

• 尺寸：54×54×49mm
• 重量：490g

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C频率响应曲线：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

产品描述:

主动减震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列隔震台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动减震台AVI-400M使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动减震台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动减震台技术参数：

• 型号：AVI-400M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 20kg
• 负载能力:800 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常18W
• 校正力：水平最大8N，垂直最大16N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1.7 µm/N，水平约3.4 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI-400M主动减震台 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动减震台隔振效果：

性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列防振台。当使用AVI系列防振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable激励源-主动减振台激励源 (与正弦波发生器配对)可以将激励信号施加到任何HERZ 减振系统TS/AVI 系列，从而将平台转换为多方向振动器(X，Y和Z),避免外部振动。激励方向可以使用激励源正面的模式切换功能进行选择，但在平台需要用作主动减振平台时也可以禁用。

Table stable激励源-主动减振台激励源 技术参数：

• 型号：TMB/AMB
• 频率范围：2-100Hz
• 输入信号：正弦波，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp
• 尺寸(LxBxH)：170x103x43mm
• 重量：420g
• 应用环境：室内
• 保护等级：IP 20
• 温度范围：5°C - 40°C
• 相对湿度：10–90% (5–30°C)
• 配件：D-Sub 15 m/f电缆，使用说明书

使用说明-Table stable激励源-主动减振台激励源 ：

激励源允许将激励信号施加到TS/AVI隔振系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。通过对隔振系统进行调制，从而避免了外部振动。

利用配套电缆将激励源连接至隔振系统，无需独立的电源。用作振动器时，通常需要正弦波。这必须通过外部信号发生器提供。将信号连接至激励源输入插口，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp。

打开隔振系统并启用隔振，同时打开激励盒开关。可以通过模式开关选择不同的激励方向：

V表示垂直方向的激励，H1，H2表示水平方向的激励，如下图所示。

请注意，在扫描激励频率时，速度将在2-100Hz范围内保持大致恒定。超过此频率，根据负载，可能会出现一些谐振。 出于控制目的，应使用外部加速度计。

Table stable激励源-主动减振台激励源 TMB/AMB最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

防振台-主动减震台-隔震台AVI-600S是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

为各类光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台。

工作原理：

AVI-600S主动减震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动减震台-隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600S/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量:  23kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI 600S 隔震台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列防振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

防振台-主动减震台-隔震台-主动隔振台AVI-600S最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

LFS低频稳定器是Herz AVI系列产品的最新性能升级，大幅提升了减振系统的低频减振性能，为全球数以万计的研究人员提供技术支持。低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台LFS-3使AVI系列平台能够隔离低于0.5Hz的振动 (X,Y和Z)，为AFM，SEM和TEM用户提供理想解决方案，以实现最大的空间分辨率，满足不同的研究需求。

工作原理：

LFS系统利用传感器的互补前馈布置，特别着重于隔离较低带宽的振动。低频主动减振台-低频除振台LFS-3配置了高灵敏度传感器，可测量沿两个水平轴的低频振动。传感器收集的环境信息将输入到AVI平台控制器中，然后向压电致动器发送信号，以消除低频振动。

LFS系统除了实现亚赫兹振动隔离之外，还能消除温度波动对传感器测量性能的影响，从而保持了较高稳定性和一致性。每个LFS系统都具有稳定性功能，可以在较长测量周期内保持LFS系统的可靠性能。

技术参数：

• 型号：LFS-3
• 主动减振频率：低至0.5Hz
• 隔离方向：X，Y和Z
• 兼容性：AVI-200, AVI-400和AVI-600LP系列
• 尺寸(WxDxH)：10″x 9.6″x 4.2″

减振效果：

LFS系统增强了AVI系列的低频减振性能，使平台减振频率延伸至0.5 Hz。以下是AVI系列和AVI系列平台搭配LFS系统的标准性能对比图。

性能详情：

-增强0.5 - 100 Hz的振动隔离

-2 Hz处振动衰减90%

-5 Hz及以上振动衰减99%

-减振效果高达50 dB

低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台 LFS-3最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI系列减震台-为 超快电子显微镜 成像提供振动解决方案，有效隔离地面。

背景

Zewail Group操作 Quanta FEG 650系列。该系列连接一个定制光学装置，以实现超快电子显微镜成像。由于将激光打入电镜室需保证几微米内的位置稳定性，电镜内部空气减震未启用。若空气隔振无法发挥作用，环境中出现的振动水平足以降低成像性能。为此，需要一种高性能隔振系统，保持高程度的位置稳定性。主动减震台

搭载设备：FEI Quanta 650 FEG SEM，含集成定制光学系统

最终用户：加州理工学院

减震系统：AVI-400主动减震台

减震台介绍

3、安装方式

• 易于整合。
• 无需特殊工具或培训。
• 安装仅需1小时。
• 不增加碳足迹或系统高度。
• 安装后几乎隐形。（见下图）

4、振动测量

5、测量结果

碳纳米管的电镜成像对比（左：未隔振，右：AVI-400主动隔振）

广州市固润光电科技有限公司专注减震台、隔音箱和消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动减震台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的主动减震效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！咨询电话：020-85666701

AVI系列减震台-超快电子显微镜-成像解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。