TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 美国依视路的研究人员观察到大量振动噪声，限制了其Keyence VK-X250 3D激光扫描共聚焦显微镜。产生的振动噪声影响了其表面粗糙度的测量，从而导致结果不准确。为了解决这些问题，Essilor根据环境的严峻程度为其仪器找到了最佳解决方案：Herzan TS-140主动隔振台。通过将TS-140主动隔振台与Keyence VK-X250共焦显微镜集成在一起，可显着降低测量中由于振动而产生的噪声。 现在，客户已经能够更准确地测量各种表面粗糙度参数，例如算术平均高度（Ra）和均方根高度（Rq）。

设备：

Keyence VK-X250 3D 激光扫描共聚焦显微镜

最终用户：

Nathan Payne, Essilor USA

隔振系统：

TS-140主动隔振台

TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，六个自由度全方位隔振，即插即用系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜等隔振应用。

隔振性能：镀铬零件表面图像对比

左图：不含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 11.47

Rq (nm): 14.16

右图：包含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 8.93

Rq (nm): 11.52

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

隔音箱制造商-HERZAN 产品与时俱进，适应现代研究的需求,美国知名 隔音箱 制造商 HERZAN 升级隔音箱增强隔音性能,Herzan团队根据研究人员的反馈进行更改，能够进一步提高产品性能，可访问性和可靠性。最新的产品展示了Herzan热销产品的最新升级，包括AVI系列主动振动控制平台，AEK 隔音箱 和SEM 隔音箱。

一、堆叠两个AVI平台可降低75dB

AVI系列目前可提供业界领先的低频振动控制，但Table Stable的研发团队证明堆叠主动隔振系统具有极大优势，下图显示了被动，主动和双堆叠主动隔振系统之间在振动控制性能方面的巨大差异。

添加可以改善任何AVI平台的低频隔离性能的LFS系统后，可以看到标准或双堆叠主动隔振系统性能得到进一步改善。

被动vs主动vs双堆叠主动

被动:禁用AVI-200主动隔振

主动:启用AVI-200主动隔振

双堆叠主动:AVI-200放置在现有AVI-200和顶板之上;两者均启用主动隔振

二、升级电缆夹可防止声音进入Herzan 隔音箱

Herzan 隔音箱 的设计旨在最大程度地为研究人员提供便利，同时最大程度地减少传入的噪音和气流。由于多年来支持的项目众多，因此引入该升级来支持这三个设计目标。

最新的升级改进了客户将电缆从隔音箱中移出的方式，现在可以根据每种仪器的电缆直径和数量进行定制。这种新方法可确保研究人员将仪器安全地安装在Herzan隔音箱内，而不会受到气流或本地噪声的干扰。

多种电缆端口插入件可供选择，优化 隔音箱 ，方便研究应用。

三、在Herzan SEM 隔音箱 中保持SEM温度稳定性-隔音箱

该图可视化了散热系统如何集成到Herzan SEM隔音箱和周围实验室环境中

随着电子显微镜的发展，对声学噪声的敏感性变得越来越普遍，通常需要隔音箱隔离周围实验室的噪声。将电子显微镜封闭在隔音箱中时，管理内部温度对防止热漂移有害影响的至关重要。

Herzan的动态散热解决方案旨在最大程度地提高隔音箱的散热量，同时最大程度地减少隔音箱内部循环的空气和进入隔音箱的噪音。

Herzan隔音箱

隔音箱制造商-HERZAN-升级隔音箱增强隔音性能最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C是一个具有远程测量头的系统，可以方便地测量三个正交方向上的加速度、速度或位移。Herz VA-2C可分别读取每个轴的读数，此外，多路输出允许在示波器上同时显示所有三个轴。后一个特征对于识别振动模式非常有用—频率、方向和振幅都可以从显示器中推断出来。该系统采用了最高质量标准的精密电子元件和机械元件，可无故障使用多年。

Table stable VA-2C技术参数：

控制单元

• 频率范围：2-1000Hz
• 测量范围：加速度 10^-5– 5 m/s²
• 速度  10^-7- 5x10^-2m/s
• 位移 1nm - 0.5mm
• 精确度：±5%；控制单元必须使用相应的测量头!
• 电源要求：100-240 VAC ±10%, 50-60Hz, 8VA
• 尺寸：215×230×75mm
• 重量：4kg

测量头

• 尺寸：54×54×49mm
• 重量：490g

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C频率响应曲线：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable激励源-主动减振台激励源 (与正弦波发生器配对)可以将激励信号施加到任何HERZ 减振系统TS/AVI 系列，从而将平台转换为多方向振动器(X，Y和Z),避免外部振动。激励方向可以使用激励源正面的模式切换功能进行选择，但在平台需要用作主动减振平台时也可以禁用。

Table stable激励源-主动减振台激励源 技术参数：

• 型号：TMB/AMB
• 频率范围：2-100Hz
• 输入信号：正弦波，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp
• 尺寸(LxBxH)：170x103x43mm
• 重量：420g
• 应用环境：室内
• 保护等级：IP 20
• 温度范围：5°C - 40°C
• 相对湿度：10–90% (5–30°C)
• 配件：D-Sub 15 m/f电缆，使用说明书

使用说明-Table stable激励源-主动减振台激励源 ：

激励源允许将激励信号施加到TS/AVI隔振系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。通过对隔振系统进行调制，从而避免了外部振动。

利用配套电缆将激励源连接至隔振系统，无需独立的电源。用作振动器时，通常需要正弦波。这必须通过外部信号发生器提供。将信号连接至激励源输入插口，TMB最大幅度8Vpp,AMB最大幅度20Vpp。

打开隔振系统并启用隔振，同时打开激励盒开关。可以通过模式开关选择不同的激励方向：

V表示垂直方向的激励，H1，H2表示水平方向的激励，如下图所示。

请注意，在扫描激励频率时，速度将在2-100Hz范围内保持大致恒定。超过此频率，根据负载，可能会出现一些谐振。 出于控制目的，应使用外部加速度计。

Table stable激励源-主动减振台激励源 TMB/AMB最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

LFS低频稳定器是Herz AVI系列产品的最新性能升级，大幅提升了减振系统的低频减振性能，为全球数以万计的研究人员提供技术支持。低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台LFS-3使AVI系列平台能够隔离低于0.5Hz的振动 (X,Y和Z)，为AFM，SEM和TEM用户提供理想解决方案，以实现最大的空间分辨率，满足不同的研究需求。

工作原理：

LFS系统利用传感器的互补前馈布置，特别着重于隔离较低带宽的振动。低频主动减振台-低频除振台LFS-3配置了高灵敏度传感器，可测量沿两个水平轴的低频振动。传感器收集的环境信息将输入到AVI平台控制器中，然后向压电致动器发送信号，以消除低频振动。

LFS系统除了实现亚赫兹振动隔离之外，还能消除温度波动对传感器测量性能的影响，从而保持了较高稳定性和一致性。每个LFS系统都具有稳定性功能，可以在较长测量周期内保持LFS系统的可靠性能。

技术参数：

• 型号：LFS-3
• 主动减振频率：低至0.5Hz
• 隔离方向：X，Y和Z
• 兼容性：AVI-200, AVI-400和AVI-600LP系列
• 尺寸(WxDxH)：10″x 9.6″x 4.2″

减振效果：

LFS系统增强了AVI系列的低频减振性能，使平台减振频率延伸至0.5 Hz。以下是AVI系列和AVI系列平台搭配LFS系统的标准性能对比图。

性能详情：

-增强0.5 - 100 Hz的振动隔离

-2 Hz处振动衰减90%

-5 Hz及以上振动衰减99%

-减振效果高达50 dB

低频稳定器-低频主动减振台-低频除振台 LFS-3最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI系列减震台-为 超快电子显微镜 成像提供振动解决方案，有效隔离地面。

背景

Zewail Group操作 Quanta FEG 650系列。该系列连接一个定制光学装置，以实现超快电子显微镜成像。由于将激光打入电镜室需保证几微米内的位置稳定性，电镜内部空气减震未启用。若空气隔振无法发挥作用，环境中出现的振动水平足以降低成像性能。为此，需要一种高性能隔振系统，保持高程度的位置稳定性。主动减震台

搭载设备：FEI Quanta 650 FEG SEM，含集成定制光学系统

最终用户：加州理工学院

减震系统：AVI-400主动减震台

减震台介绍

3、安装方式

• 易于整合。
• 无需特殊工具或培训。
• 安装仅需1小时。
• 不增加碳足迹或系统高度。
• 安装后几乎隐形。（见下图）

4、振动测量

5、测量结果

碳纳米管的电镜成像对比（左：未隔振，右：AVI-400主动隔振）

广州市固润光电科技有限公司专注减震台、隔音箱和消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动减震台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的主动减震效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！咨询电话：020-85666701

AVI系列减震台-超快电子显微镜-成像解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series 简述：

在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的先进半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。

桌面式主动防振台-Herz TS Series先进主动隔振系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。

工作原理：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能对比（TS-150/LP）：

- 振动加速度对比

右侧数据显示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

蓝线: 地面振动加速度

红线:  TS-150/LP表面安装板加速度

- 振动传递率

右侧数据显示地面到TS-150/LP表面安装板的振动传递率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直轴: 传递率，单位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

该数据表明主动隔振系统在1 Hz -100 Hz 低频范围内具有优异的隔振性能。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series技术参数：

结合隔音箱，创造最佳测量环境：

对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供最佳的测量环境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声。

TS 应用示例：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

一、空气弹簧隔振台

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M, 被动式空气弹簧式隔振台-气浮隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。

Herz 这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。 第一个缺点是它是一种柔性支撑，很容易受到风压，电线的牵拉及其自身运动（设备行为）的影响。 其次，由于它是柔性支撑件，因此在工作期间进行操作或接触时会产生接近固有频率的自由振动。 第三，当存在运输系统设备时，“阻尼时间”和“相互位置精度”存在主要障碍。 第四，被动防震台仅隔离从安装地板传播的振动。

二、Herz  空气弹簧隔振台 的固有频率

螺旋弹簧，板簧，波纹管式空气弹簧，膜片式空气弹簧，减振橡胶，减振垫等防振效果通常由所谓的固有频率f0与来自外部的频率f之比（频率比λ= f / f0）确定。HERZ 被动隔振台中固有频率的存在十分重要，就像人体器官中的心脏。当在周期T内自然角频率ω0（=2πf0）变化2πrad时，隔振系统的垂直方向特征值可用以下简化公式表示。根号中的符号，m表示弹簧系统上的重量，k表示弹簧常数。要增加固有频率，请增加k。要降低固有频率，请在k恒定时增加m（使用虚拟砝码等）。当然，固有频率也根据辅助气罐（阻尼室）的容积和孔的形状而变化。

水平方向特征值可以由以下简化公式表示。 G是重力加速度（= 980 cm / s2），L是在水平方向上调节自由度的摆的长度。 如需更改固有频率，请调整L的长度来确认。

日本和海外的防振公司根据所使用的结构和材料，在水平H方向上使用“钟摆原理”或类似的结构，例如单摆，倒立摆或双摆的自由度。

三、Herz  被动式 空气弹簧隔振台 的隔振效果/振动传递率Tr（传递率）

当振动以100％传递时，被动式空气弹簧隔振台的振动传递率为Tr ＝ 100％。如果通过增加到100％或更多来传递振动，则意味着它处于共振区域。共振区域的最大值成为共振点。

简单的计算忽略了定义阻尼元件的某些损耗阻力，使得该共振点变为无穷大，但实际上由于所使用的材料和结构而存在阻尼元件，因此它表示为与一定的共振放大倍数对应的有限值。

（振动传递率Tr> 100％）为了使隔振台发挥作用，必须使Tr <100％。表示防振效果的振动传递率Tr可以通过以下的简化公式来表示。如果Tr为100％以下，则开始图像稳定化，即，开始形成图像稳定区域。但是，Tr值为99％的隔振台与Tr值为1％的隔振台不能相同。

代之以频率比λ（= f / f0），如果隔振台的固有频率f0和外部干扰振动f具有相同的频率，则Tr在计算中将变为无限大，并且会出现最大共振现象。 首先，f的大小必须为√2乘以f0，以使振动传递率Tr = 100％，且隔振台无振动或共振。 将该区域称为包括共振点的共振区域。 隔振台获得振动隔离效果的点是频率比λ（＝ f / f0）为1以上，即f＞√2·f0倍。 当f0恒定时，其频率值越高，减振效果越大。 另外，当f的干扰频率恒定时，固有频率越低，减振效果越高。

Herz被动防震台

Herz-空气弹簧隔振台-隔振技术 简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。