电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 美国依视路的研究人员观察到大量振动噪声，限制了其Keyence VK-X250 3D激光扫描共聚焦显微镜。产生的振动噪声影响了其表面粗糙度的测量，从而导致结果不准确。为了解决这些问题，Essilor根据环境的严峻程度为其仪器找到了最佳解决方案：Herzan TS-140主动隔振台。通过将TS-140主动隔振台与Keyence VK-X250共焦显微镜集成在一起，可显着降低测量中由于振动而产生的噪声。 现在，客户已经能够更准确地测量各种表面粗糙度参数，例如算术平均高度（Ra）和均方根高度（Rq）。

设备：

Keyence VK-X250 3D 激光扫描共聚焦显微镜

最终用户：

Nathan Payne, Essilor USA

隔振系统：

TS-140主动隔振台

TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，六个自由度全方位隔振，即插即用系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜等隔振应用。

隔振性能：镀铬零件表面图像对比

左图：不含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 11.47

Rq (nm): 14.16

右图：包含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 8.93

Rq (nm): 11.52

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C是一个具有远程测量头的系统，可以方便地测量三个正交方向上的加速度、速度或位移。Herz VA-2C可分别读取每个轴的读数，此外，多路输出允许在示波器上同时显示所有三个轴。后一个特征对于识别振动模式非常有用—频率、方向和振幅都可以从显示器中推断出来。该系统采用了最高质量标准的精密电子元件和机械元件，可无故障使用多年。

Table stable VA-2C技术参数：

控制单元

• 频率范围：2-1000Hz
• 测量范围：加速度 10^-5– 5 m/s²
• 速度  10^-7- 5x10^-2m/s
• 位移 1nm - 0.5mm
• 精确度：±5%；控制单元必须使用相应的测量头!
• 电源要求：100-240 VAC ±10%, 50-60Hz, 8VA
• 尺寸：215×230×75mm
• 重量：4kg

测量头

• 尺寸：54×54×49mm
• 重量：490g

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C频率响应曲线：

电子显微镜振动监测仪-低频加速度传感器-三轴压电加速度传感器 VA-2C最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台TS-140/LP是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动防振台适用于原子力显微镜（AFM）、光学显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防振系统。

桌上型主动防振台 TS-140工作原理：

桌上型主动防振台 TS-140 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

技术参数：

• 型号：TS-140/LP  ※可选：TS-140/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

主动防震台 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300减振台 负重可提高40kg）

隔振效果-主动防震台：

主动防震台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列主动防震台 。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

无论用于原子力显微镜还是光学显微镜 桌上型主动防振台TS-140都是一个不错的选择，同时我们推荐客户购买隔音箱，以除去空气中的声音干扰，如图：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台-防震台TS140最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series 简述：

在21世纪的纳米技术 (如代表信息相关技术的先进半导体，声明科学相关技术，如基因治疗，原子或分子处理，如MEMS和新材料生成等工程技术)，振动，噪音，电磁场，热量，湿度，干扰等等将是测量环境的制约因素。在纳米技术中，为取得可靠的结果，难以使用气浮台隔振的低频范围，需要主动隔振。

桌面式主动防振台-Herz TS Series先进主动隔振系统将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础，将有助于促进当前技术和测量，创新和发展未知技术。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 宽范围内可在所有六个自由度上提供出色的主动隔振性能。

工作原理：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能对比（TS-150/LP）：

- 振动加速度对比

右侧数据显示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

蓝线: 地面振动加速度

红线:  TS-150/LP表面安装板加速度

- 振动传递率

右侧数据显示地面到TS-150/LP表面安装板的振动传递率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直轴: 传递率，单位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

该数据表明主动隔振系统在1 Hz -100 Hz 低频范围内具有优异的隔振性能。

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series技术参数：

结合隔音箱，创造最佳测量环境：

对于原子或分子研究，如扫描电子显微镜， TS系列主动隔振系统至关重要。此外，不仅要考虑振动，还应考虑声学抑制。我们所生产的AEk 隔音箱适用于超高分辨率应用，如SPM。将 AEk和TS系列整合可提供最佳的测量环境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系统采用多层可变密度隔声材料层，可有效隔离宽频带噪声。

TS 应用示例：

桌面式主动隔振光学平台-桌面式主动防振台-Herz TS Series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI系列减震台-为 超快电子显微镜 成像提供振动解决方案，有效隔离地面。

背景

Zewail Group操作 Quanta FEG 650系列。该系列连接一个定制光学装置，以实现超快电子显微镜成像。由于将激光打入电镜室需保证几微米内的位置稳定性，电镜内部空气减震未启用。若空气隔振无法发挥作用，环境中出现的振动水平足以降低成像性能。为此，需要一种高性能隔振系统，保持高程度的位置稳定性。主动减震台

搭载设备：FEI Quanta 650 FEG SEM，含集成定制光学系统

最终用户：加州理工学院

减震系统：AVI-400主动减震台

减震台介绍

3、安装方式

• 易于整合。
• 无需特殊工具或培训。
• 安装仅需1小时。
• 不增加碳足迹或系统高度。
• 安装后几乎隐形。（见下图）

4、振动测量

5、测量结果

碳纳米管的电镜成像对比（左：未隔振，右：AVI-400主动隔振）

广州市固润光电科技有限公司专注减震台、隔音箱和消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动减震台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的主动减震效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！咨询电话：020-85666701

AVI系列减震台-超快电子显微镜-成像解决方案最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

防振台-主动减震台-隔震台AVI-600S是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

为各类光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台。

工作原理：

AVI-600S主动减震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动减震台-隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600S/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量:  23kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI 600S 隔震台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列防振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

防振台-主动减震台-隔震台-主动隔振台AVI-600S最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。