主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 产品描述：

电子显微镜必须操作在符合自身对周围环境的交直流磁场规范的场地.当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲.主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升电子显微镜的影像品质.SC24主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题.在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善电镜周围的磁场干扰.

感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。消磁系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。

减磁因子：

减磁因子是周遭磁场对削减磁场的一个比率。

下图为减磁因子对频率的比率图。

SC24是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。

消磁方法是产生一个宽频类比的反向回馈。内部微电脑控制系统产生反向磁场，并藉由数位信号处理量测磁场强度。

产品特点：

• 改善外部磁场干扰以达到电子显微镜对磁场规格的要求
• 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内
• 智能式的触控面板具备自动参数设定及直流磁场重置功能
• 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla or Gauss units)
• 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器
• 使用交流感测探头针对 50/60Hz交流电源产生的磁场干扰或:
• 使用直流感测探头针对电车产生的直流干扰或 50/60Hz的交流磁场干扰
• 控制器具有磁场产生测试功能
• 具备乙太网路及USB连接埠选项以提供远端操作及监控

主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24 技术参数：

主动式消磁器-主动消磁系统-消磁器-SC24最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Spicer消磁器-直流消磁器-交流消磁器 SC22，现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降，而SC22主动消磁系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度。SC22是第四代磁场消除系统，其设计主要是改善外部磁场干扰以提高高解析度的电子显微镜或电子束量测设备的效能。SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒。AC线路场（50/60 Hz）减少50 x。SC22是继先前SC12的加强版，而SC22在全世界的安装数量已超过1000台。需要特别留意的是在电子束量测设备安装中的机械振动、声学噪声和接地回路会产生类似于磁场的成像干扰。SC22无法改善受这些其他干扰源影响的图像，因为它们不是磁场。

典型扫描电镜室安装：

产品特性：

• 提供稳定磁场环境，保护电子束技术方面的机台不受影响
• 针对环境全时段监控及主动消除交流电磁场
• 低消耗高性能系统
• 智能用户界面自动设定系统
• 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流电场干扰
• 包含 全3轴（X，Y，Z）系统
• 最大能消除 高达60 mG（6.0μT）的pk-pk范围
• 针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒以内
• 具备USB连接埠选项提供监控

技术参数：

Spicer消磁器-直流消磁器-交流消磁器 SC22最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱 为了获得准确的图像，电子束、样品和探测器之间必须具有很高的连贯性，这使得仪器容易受到环境振动的影响。电子显微镜是相对大型的仪器，通常内置有被动振动隔离机制。但是，虽然它们对高频振动相对不敏感，SEM仍然极易受到低频振动的影响，尤其是建筑物的振动。SEM厂商制定了仪器正常运行的最大可接受电磁干扰，振动和声音噪声标准。在安装前，SEM厂商通常需要对振动测量设备进行现场勘测，如果现场不符合规范，则客户需要签署豁免书，表明仪器可能无法达到最佳性能。因此，将SEM放置在建筑物较高楼层或地震振动级别明显的区域时，通常需要辅助隔振系统。在这种情况下，建议使用主动防振台。

显微镜对EMI也很敏感，这是由于成像技术利用了电磁力电子。所以在安装SEM时，应注意不要将SEM放在靠近大量EMI来源的地方，例如电梯，移动车辆或HVAC机械。如果存在过多的EMI时，用户则需要在SEM周围构建一个大型EMI屏蔽层或安装EMI消除系统。

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱

电子显微镜正在推动纳米级技术的发展。SEM将样本图像放大一百万X倍以上来观察极小的特征尺寸，这就要求极其精确的数据质量和绝对的环境稳定性。

二十多年来，Herzan一直专注于研究环境稳定性，其产品涵盖了电子显微镜适用的所有形式的环境隔振系统，为无数应用（尤其是电子显微镜）提供声学，振动和EMI隔离解决方案。Herzan希望与全球研究人员合作，促进数据采集发展。

1、解决方案：AVI系列 （问题：振动噪音）

AVI系列是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。AVI系列能够提供一致且可靠的亚赫兹振动隔离性能，是在环境中遭遇低频振动噪声的所有电子显微镜的理想解决方案。

2、解决方案：模块化/面板式隔音箱 （问题：声学噪音）

Herzan精心阐述了每个电子显微镜隔音箱的设计，以代表每种应用的具体需求。结合每种实验室环境特有的可访问性和形状适应性，Herzan的模块化和面板式隔音箱为用户提供物超所值的最佳解决方案。

3、解决方案：Spicer系统 （问题：EMI噪音）

Spicer磁场消除系统可为高分辨率电子显微镜提供经济高效，免维护的环境磁场屏蔽。 Spicer系统为交流和直流电场提供了卓越的消除效果，可在较宽的频率范围内显着降低EMI。

4、其他解决方案：

• 现场调查分析设备
• 电子显微镜起重设备
• AVI系列的低频隔振升级（LFS系统）
• 假底平台

SEM图像对比图：

电子显微镜简述：

1、发展历史

第一台扫描电子显微镜（SEM）于1935年起源于Max Knoll。该设计在接下来的几年中由Manfred von Ardenne进一步开发。尽管有这些早期的贡献，查尔斯·奥特利教授还是公认为扫描电子显微镜之父。在1950年代和1960年代，剑桥大学的Oatley教授开发并完善了这项技术，使其成为可商业化的仪器。

SEM在色谱柱的顶部装有电子枪，该电子枪以热电子方式产生电子束。当该光束沿色谱柱向下传播时，线圈将作为透镜进行调节，这些透镜会聚焦光束并使光束在真空室中的样品上形成光栅。当电子束扫描样品时，二次电子从样品中发射出来。腔室内的探测器收集这些电子以产生样品图像。

与光学显微镜不同，SEM不受可见光衍射极限的限制。这使研究人员能够以数十万倍的倍率成像。该技术还保持了极好的景深，使用户可以清楚地分辨出样品的表面特征。

除了主要优点外，扫描电子显微镜还被证明是一种通用平台，可增加简单成像以外的功能。 可以用场发射枪（FEG）替代或补充热电子枪，这样可以大幅提高SEM的空间分辨率。 SEM可以配备聚焦离子束（FIB）功能，从而进行离子束研磨和沉积。能量色散X射线光谱仪（EDS或EDX）允许用户使用电子束撞击样品时产生的X射线分析样品的化学成分。通过在腔室添加探针，用户可以分析样品的导电率。SEM平台也可以装配用于光刻和微加工应用。

2、典型应用

• 数据存储
• 能源研究
• 故障分析
• 法医取证
• 材料科学
• 医疗器械
• 采矿与地质学
• 药物研究
• 半导体研究

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26，针对晶圆厂内磁场改变时会使电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主动式消磁系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升拍摄的影像品质,SC26是被优化的第四代消磁系统，用于抵消在300mm晶圆厂中机器人晶圆传输的高频场，通常在9kHz。SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统，对测量场进行数字化处理，但不属于反馈回路,SC26主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个200 kHz AC场感测探头及三轴向低电感场消除线圈组成，并安装在晶圆厂内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善仪器周围的磁场干扰，可以消除DC到9 kHz以上的磁场。感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。

SC26具有两个200 kHz AC磁场传感器（蓝色）的输入，可混合使用以优化电子束工具的性能。这样能抵消低至10 Hz的磁场。通过为每个输入通道添加一个“ Sensor SC24 / DC + AC”和一个传感器组合器，消除范围可扩展到DC。

300mm晶圆厂里的晶圆运输工具，会产生9kHz的磁场，限制了电子束工具的性能，并成为半导体技术发展的障碍。 SC26是一个宽频带系统，可以消除磁场，从AC至9kHz以上。为了获得宽频带，SC26消磁系统采用了低电感场对消安装在电子束工具外壳中的电缆。

SC26不能像SC24系统那样在“房间”安装中与较大的电缆一起使用，因为SC24系统的工作频率更低。

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26产品特点：

•  改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场规格的要求
• 从DC到> 9 kHz的实时宽带消除
• 适应10μs之内的磁场幅度和频率变化
• 触摸屏智能用户界面，具有自动设定和直流复位功能
• 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla或 Gauss)
• 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器
• 内置测试场发生器
• 以太网和USB端口用于远程操作和监视

技术参数：

磁场传感器：

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。