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电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱

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电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱 -消磁器

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱 为了获得准确的图像,电子束、样品和探测器之间必须具有很高的连贯性,这使得仪器容易受到环境振动的影响。电子显微镜是相对大型的仪器,通常内置有被动振动隔离机制。但是,虽然它们对高频振动相对不敏感,SEM仍然极易受到低频振动的影响,尤其是建筑物的振动。SEM厂商制定了仪器正常运行的最大可接受电磁干扰,振动和声音噪声标准。在安装前,SEM厂商通常需要对振动测量设备进行现场勘测,如果现场不符合规范,则客户需要签署豁免书,表明仪器可能无法达到最佳性能。因此,将SEM放置在建筑物较高楼层或地震振动级别明显的区域时,通常需要辅助隔振系统。在这种情况下,建议使用主动防振台。

 

显微镜对EMI也很敏感,这是由于成像技术利用了电磁力电子。所以在安装SEM时,应注意不要将SEM放在靠近大量EMI来源的地方,例如电梯,移动车辆或HVAC机械。如果存在过多的EMI时,用户则需要在SEM周围构建一个大型EMI屏蔽层或安装EMI消除系统。

电子显微镜

 

 

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电子显微镜正在推动纳米级技术的发展。SEM将样本图像放大一百万X倍以上来观察极小的特征尺寸,这就要求极其精确的数据质量和绝对的环境稳定性。

 

二十多年来,Herzan一直专注于研究环境稳定性,其产品涵盖了电子显微镜适用的所有形式的环境隔振系统,为无数应用(尤其是电子显微镜)提供声学,振动和EMI隔离解决方案。Herzan希望与全球研究人员合作,促进数据采集发展。

 

1、解决方案:AVI系列 (问题:振动噪音)

AVI系列是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。AVI系列能够提供一致且可靠的亚赫兹振动隔离性能,是在环境中遭遇低频振动噪声的所有电子显微镜的理想解决方案。

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2、解决方案:模块化/面板式隔音箱 (问题:声学噪音)

Herzan精心阐述了每个电子显微镜隔音箱的设计,以代表每种应用的具体需求。结合每种实验室环境特有的可访问性和形状适应性,Herzan的模块化和面板式隔音箱为用户提供物超所值的最佳解决方案。

消音箱-消声箱-Herzan Crypt

 

3、解决方案:Spicer系统 (问题:EMI噪音)

Spicer磁场消除系统可为高分辨率电子显微镜提供经济高效,免维护的环境磁场屏蔽。 Spicer系统为交流和直流电场提供了卓越的消除效果,可在较宽的频率范围内显着降低EMI。

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4、其他解决方案:

  • 现场调查分析设备
  • 电子显微镜起重设备
  • AVI系列的低频隔振升级(LFS系统)
  • 假底平台

 

SEM图像对比图:

电子显微镜-环境控制解决方案-主动防振台-隔音箱 SEM减振前后效果图

 

电子显微镜简述:

1、发展历史

第一台扫描电子显微镜(SEM)于1935年起源于Max Knoll。该设计在接下来的几年中由Manfred von Ardenne进一步开发。尽管有这些早期的贡献,查尔斯·奥特利教授还是公认为扫描电子显微镜之父。在1950年代和1960年代,剑桥大学的Oatley教授开发并完善了这项技术,使其成为可商业化的仪器。

 

SEM在色谱柱的顶部装有电子枪,该电子枪以热电子方式产生电子束。当该光束沿色谱柱向下传播时,线圈将作为透镜进行调节,这些透镜会聚焦光束并使光束在真空室中的样品上形成光栅。当电子束扫描样品时,二次电子从样品中发射出来。腔室内的探测器收集这些电子以产生样品图像。

 

与光学显微镜不同,SEM不受可见光衍射极限的限制。这使研究人员能够以数十万倍的倍率成像。该技术还保持了极好的景深,使用户可以清楚地分辨出样品的表面特征。

 

除了主要优点外,扫描电子显微镜还被证明是一种通用平台,可增加简单成像以外的功能。 可以用场发射枪(FEG)替代或补充热电子枪,这样可以大幅提高SEM的空间分辨率。 SEM可以配备聚焦离子束(FIB)功能,从而进行离子束研磨和沉积。能量色散X射线光谱仪(EDS或EDX)允许用户使用电子束撞击样品时产生的X射线分析样品的化学成分。通过在腔室添加探针,用户可以分析样品的导电率。SEM平台也可以装配用于光刻和微加工应用。

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2、典型应用

  • 数据存储
  • 能源研究
  • 故障分析
  • 法医取证
  • 材料科学
  • 医疗器械
  • 采矿与地质学
  • 药物研究
  • 半导体研究

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