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主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M

浏览次数:1160 分类:Herz/Herzan/Spicer 主动减振台 主动隔振台AVI系列

品牌:Herz,型号:AVI-200M

主动防振台Herz AVI-200M是一款紧凑型模块化的主动防振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动防振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列 | 主动防振台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程.  AVI-200M  |适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪,轮廓仪,电子天平,超快激光系统,时频系统,大型半导体设备,激光设备!

产品描述:

主动防振台-减振台-隔震台AVI-200M是六个空间方向自由隔振(1Hz – 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振),通过增加选件可以将低频扩展至0.5hZ,单模块承重200kg,配置多个模块时承重为200*Nkg,为客户精密测试加工提供良好的振动环境,广泛引用于原子力显微镜,超景深显微镜,电子显微镜,微纳加工等等。

主动防振台-减振台-隔震台-AVI系列是一款紧凑型模块化的主动防振台,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。

主动防振台Avi-200M适用于各类大型电子显微镜AEM,SEM,ATM,TEM,干扰仪,轮廓仪,电子天平,超快激光系统时频系统,大型半导体设备,激光设备!

主动防振台-减振台-隔震台-AVI系列AVI-200M

工作原理:

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响,最有效的解决方案则是使用主动防振台(减振台),以便营造最适合该设备的条件。

主动式防振台使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生最佳的振动隔离状态。主动防振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动防振台采用先进的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。AVI系列主动防振台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。

 

主动防振台AVI-200M产品特点:

  • 六个空间方向自由防振(0.5Hz – 200Hz主动防振, >200Hz被动防振)
  • 5-20ms响应时间
  • 低频防振性能优异,安装和使用简单
  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 无低频共振、无空气要求

主动防振台AVI-200M应用范围:

  • STM
  • AFM
  • 干涉仪
  • 摩擦学
  • 轮廓仪
  • 高精度计量

 

主动防振台AVI-200M技术参数:

  • 型号:AVI-200M/LP
  • 系统配置:独立隔振装置 & 控制装置
  • 主动隔振范围:大致为1.0 Hz – 200 Hz
  • 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
  • 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
  • LEDs 指示输出阶段的过载情况。
  • 单元尺寸(每个):130 x 636 x 112.5 Hmm,
  • 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
  • 隔振单元重量: 10kg
  • 负载能力:400 kg (同等/低重心)
  • 输入电压: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
  • 功耗:通常9W
  • 校正力:水平最大4N,垂直最大8N
  • 系统噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
  • 静态柔度:垂直约3.5µm/N,水平约7µm/N
  • 温度范围:5℃ – 40℃
  • 相对湿度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)・10 – 60 % (30 – 40 ℃)
  • 室内/室外使用:仅用于室内

   升级选项:

AVI-200M 主动防振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

主动防振台AVI-200M隔振效果:

AVI-200M 性能对比图:AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像: 不含主动式防振台和包含AVI系列主动防振台。当使用AVI系列主动减振台搭载AFM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

防震台-主动减震台-隔震台AVI系列隔振效果图

如果客户需要卓越的测试环境,我们的主动防振台AVI-200M还不能满足要求时,我们也强烈建议客户了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如图:

隔声箱-隔音箱-实验室隔音箱AEK-2002

 

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