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主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series

浏览次数:2845 分类:主动减振台 主动隔振台AVI系列

品牌:Herz,型号:AVI-600

主动式减震台 |主动式减振台-主动减震光学平台 AVI-600series 为大型型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(最大承重可至9000磅).广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!

产品描述:

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(最大承重可至9000磅)。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台 AVI-600series

工作原理:

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术,适用于任何科研环境下,该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和竖直方向),主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

 

产品特点:

  • 主动隔振频率1Hz – 200Hz
  • 被动隔振频率>200Hz
  • 5-20ms的响应时间
  • 安装简单,容易使用
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 控制器带数字LED显示屏

产品应用:

  • SEM
  • TEM
  • UHV-SPM
  • 光刻
  • 隧道显微镜
  • Fabry-Perot干涉仪
  • 大型对振动敏感的仪器设备

 

性能优势:

  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 六个空间方向的自由隔振
  • 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
  • 低频隔振性能优秀
  • 无低频共振、无空气要求

 

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台 AVI-600series 用LFS低频稳定器

 

技术参数(负载能力:1200kg):

 

隔振实例:

 

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