Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26，针对晶圆厂内磁场改变时会使电子束产生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主动式消磁系统能针对外部磁场动态变化提供稳定的反向磁场以提升拍摄的影像品质,SC26是被优化的第四代消磁系统，用于抵消在300mm晶圆厂中机器人晶圆传输的高频场，通常在9kHz。SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统，对测量场进行数字化处理，但不属于反馈回路,SC26主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个200 kHz AC场感测探头及三轴向低电感场消除线圈组成，并安装在晶圆厂内以产生反向磁场并改善外部磁场问题。在控制器内有三个电源放大器，主要是驱动电流通过磁场线圈并产生相对的磁场以改善仪器周围的磁场干扰，可以消除DC到9 kHz以上的磁场。感测探头量测改善后的磁场强度，并即时反馈回控制系统以调整回路增益值。

SC26具有两个200 kHz AC磁场传感器（蓝色）的输入，可混合使用以优化电子束工具的性能。这样能抵消低至10 Hz的磁场。通过为每个输入通道添加一个“ Sensor SC24 / DC + AC”和一个传感器组合器，消除范围可扩展到DC。

300mm晶圆厂里的晶圆运输工具，会产生9kHz的磁场，限制了电子束工具的性能，并成为半导体技术发展的障碍。 SC26是一个宽频带系统，可以消除磁场，从AC至9kHz以上。为了获得宽频带，SC26消磁系统采用了低电感场对消安装在电子束工具外壳中的电缆。

SC26不能像SC24系统那样在“房间”安装中与较大的电缆一起使用，因为SC24系统的工作频率更低。

Spicer主动消磁器-电镜消磁器-电镜电磁屏蔽系统 SC26产品特点：

•  改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场规格的要求
• 从DC到> 9 kHz的实时宽带消除
• 适应10μs之内的磁场幅度和频率变化
• 触摸屏智能用户界面，具有自动设定和直流复位功能
• 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla或 Gauss)
• 双感测探头设置可以在电子枪内产生一个虚拟感应器
• 内置测试场发生器
• 以太网和USB端口用于远程操作和监视

技术参数：

磁场传感器：