电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动隔振技术 随着超精密加工、精密测试等技术的发展，对环境的敏感程度也越来越高，被动隔振已经远远不能满足现在的要求。例如在精密光学领域，扫描隧道显微镜（STM）利用隧道效应及隧道电流原理而工作，STM在工作时，探针针尖与测试样品的距离很近（小于1nm），由于隧道效应，在探针与测试样品表面之间就会产生隧道电流并保持不变，隧道电流与隧道距离成指数关系，若表面有微小起伏，也将使得穿透电流发生成千上万倍的变化。这种携带原子结构的信息经过计算机的处理即可显示出一幅三维图像，其分辨率可达到0.01nm，放大倍数可达几亿倍。要达到这些效果，超精密类仪器必须搭配性能优秀的隔振装置。

主动隔振技术 工作原理

单自由度振动系统是最简单的振动系统，我们通过分析该系统来解释主动隔振原理。如图 1 所示，有阻尼单自由度隔振系统受外力F做一定规律的运动，主动隔振通过传感器（按所测机械量分有位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、应变传感器、扭振传感器、扭矩传感器，按机电变换原理分电动式、压电式、电涡流式、电感式、电容式、电阻式）检测到该系统的运动信息，该信息经过内置信号处理器的处理，反馈到执行电机中，执行电机产生一个与外力F大小相同，相位相反的力F₀，使得该系统的合外力为零，该系统处于平衡状态。当然，实际情况振动是以波的方式传播，根据波的叠加原理，振动波也可通过主动隔振系统被抵消。

实际的系统具有多个自由度，刚性系统都具有六个自由度，分别是x轴、y轴、z轴以及绕x轴、y轴、z轴的转动。所以主动隔振系统在每个自由度具备相应的传感器及执行电机。

主动隔振技术 系统响应

主动隔振，根据波的叠加原理，振动波被抵消，实际上不可能绝对做到这点，因为存在一定的响应时间，所以波没有完全被抵消，事实上还会存在一定的振动，但是由于振动被大幅度的降低，已经可以使得需要隔振的设备发挥其最大的性能。

相关产品

Table Stable 作为主动隔振领域的领导者，低功率压电技术与瑞士品质完美契合，铸就了AVI系列与TS系列产品。广州市固润光电科技有限公司作为Table Stable 在中国的代理商，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。

TS系列在水平轴隔振效果如图 2图 3所示：

在垂直方向隔振效果如图 4所示：

主动隔振技术最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响 直接关系到实验的结果。超稳腔 在科学实验与实际应用工程中都有着重要的作用，比如可以应用于稳频激光器、标准光学频率的测量、引力波检测和基础物理常数测试。

随着物理精密测量及传感技术的研究和发展，人们对于激光器输出频率的稳定性及激光器系统作为传感器的抗干扰性都有了更高的要求。尤其是在原子分子光谱、原子频标等精密测量领域，压窄激光器的线宽及提高系统的稳定性是提高测量精度的关键。通常，根据实验需求构建闭环反馈环路，以原子跃迁线或光学谐振腔作为频率参考，通过密封、恒温等措施减小室温起伏、随机的无规则扰动等环境因素对激光器输出频率的干扰，可极大提高激光器输出频率的稳定性。但在实际应用的过程中，环境中的扰动是随机出现的，无法针对其特征频率进行抑制，因此优化激光器系统本身的频率响应特性，增强系统在整个带宽范围内的频率稳定性就变得十分重要。另外，除了从全局优化激光器的动态特性外，还需要对处在实际环境中的激光器系统进行针对性地校正和优化，因此，有必要对激光器的声音响应特性进行研究。

激光利用置放于光学谐振腔内的激活介质产生激光振荡，如果腔的机械长度]或者腔镜片之间的介质的折射率M发生变化就会引起频率的变化，所以造成谐振腔几何长度和折射率改变的因素很多，主要有以下几点。

1、温度影响

温度变化的影响与任何物体的线性尺寸和温度都有关系。激光管所用的玻璃、金属支架的尺寸都随温度的变化而变化(一般满足热涨冷缩的原理)，故引起频率的漂移。

在激光器的工作过程中，散热的原因导致温度漂移使得激光器阈值电流漂移增加，输出功率下降，发射波长偏移，引起模式变化，各种缺陷特性凸显。主要表现在温度偏移对激光波长漂移的影响，温度偏移对出光效率的影响，温度偏移对腔体型变的影响，温度漂移对电流的影响

2、机械影响

外界的机械振动，如建筑物的震动、车辆的通行和声响等都会引起腔的支架振动，

使谐振腔的光学长度发生变化，从而导致振荡频率的漂移。为了克服机械振动的影响，稳频激光器必须准备良好的防震措施。

3、磁场的影响

激光器谐振腔间隔器多采用殷钢材料，但殷钢的磁致伸缩性质可能引起腔长的变化，所以必须考虑地磁场效应和激光器周围电子仪器的杂散磁场对高稳定激光器或由磁场效应稳频的激光器的影响。除此之外，大气变化等造成空气折射率变化激光器内的气压、放电电流的变化，还有自发辐射造成的无规则噪声等内部因素也会影响频率的稳定性。

通过以上分析可知，最直接的稳频办法是恒温、防震、密封隔声和消磁等，但是这些措施只可使频率稳定度达10-7量级，要提高到10-8量级以上[4]，必须使用伺服系统对激光器进行自动控制稳频， 即主动稳频的方法。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响

从图1频率变化与腔长变化的关系可知，超稳腔频率稳定性与腔长稳定性有关，而影响腔长稳定性的主要因素有振动、噪音以及温度。其中振动与噪音主要是使超稳腔发生形变导致产生相对位移，或者是影响激光和参考腔轴线的夹角，从而间接导致参考腔长度发生变化，温度主要是由于热胀冷缩导致腔长发生变化。

超稳腔-超稳激光-稳频激光器-光学频率梳-使用中振动和噪音的影响 解决方法

解决振动噪音对腔长稳定性影响主要从两个方面入手，一方面是合理设计参考腔的形状以及支撑结构，使得参考腔本身对振动不敏感；另外一方面可以选择使用隔振台与隔音箱，隔振性能优秀的隔振台与隔音箱可以大幅度减少振动对参考腔长度的影响。

具体方案

1、隔振台 ：

瑞士Table Stable公司与日本HERZ的主动隔振台，其减振隔振性能处于行业领先地位，主动隔振台主要有TS系列和AVI系列，广州市固润光电科技有限公司作为在中国的代理商，在减振领域拥有着丰富的经验，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。图2为TS系列与AVI系列主动隔振台示意图。图3为客户的实际应用。

2、隔音箱（温度稳定系统，磁场被动屏蔽系统）：

在激光器的工作过程中，散热的原因导致温度漂移使得激光器阈值电流漂移增加，输出功率下降，发射波长偏移，引起模式变化，各种缺陷特性凸显。主要表现在温度偏移对激光波长漂移的影响，温度偏移对出光效率的影响，温度偏移对腔体型变的影响，温度漂移对电流的影响

广州市固润光电科技有限公司代理美国Herzan公司的隔音箱同样有着优秀的隔音性能，主要有EM、NanoVault、Crypt、AEK-2002、Silencer、AEK-2011等型号，此外还支持定制，可以满足客户的各种要求，包括定制尺寸、定温控温、开孔、EMI屏蔽等功能，以优异的性能消除环境中的各种影响。Herzan隔音箱提供

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扫描离子电导显微镜-离子电流测量-AVI主动隔振台-降低环境噪声 Baker 集团有三个仪器装置在使用AVI-200主动隔振系统。我们的研究主要集中在扫描探针显微镜，其中是一个充满电解质的纳米移液管，用于绘制给定样品的局部离子电流或获取给定表面上的电流电压特性。图1（左）是我们的成像技术实验装置，称为SICM（扫描离子电导显微镜），专为浸在电解质中的亚微米分辨率的软性和非导电材料成像而设计。在成像过程中，我们发现我们的图像分辨率受背景噪声的限制。噪声源包括来自地板或泵和其他机械装置的环境振动。图1（右）是定制的仪器装置，用于通过将纳米移液管紧密地靠近基板来表征电流 - 电压响应。基于该装置的研究表明，隔振是必要的，因为在接近表面时获得的电流-电压曲线，表示纳米移液管探头的振动不可忽略。

基于我们在机械噪音环境中的所有上述测量结果，我们请求Herzan提供解决方案，以便提高我们的仪器性能。通过采用Herzan主动隔振台，大大降低了环境噪声。

扫描离子电导显微镜-离子电流测量-AVI主动隔振台-降低环境噪声 应用：

• 使用纳米移液管的离子电流测量

仪器：

• 扫描离子电导显微镜（SICM）和定制的仪器装置（用于通过将纳米移液器靠近表面来表征电流 - 电压响应）

最终用户：

• Baker 集团、布鲁明顿印第安纳大学化学系

隔振系统：

• AVI-200S主动隔振平台

AVI-200S是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。轻巧型模块，承重单模块200Kg，适用于承重部分结构紧凑，安装方便。

隔振结果：

图2. 经AVI-200隔振系统隔振后，纳米孔膜的SICM图像具有更高的分辨率。与图2（b）相比，图2（a）背景噪声更高。图3显示了经AVI-200隔振改进后的电流 - 电压曲线对比。

图1.（a）无AVI-200隔振的SICM图像。（b）AVI-200隔振后的图像。

图2.（a）无AVI-200隔振的电流 - 电压曲线。（b）AVI-200隔振后拍摄的电流 - 电压曲线

扫描离子电导显微镜-离子电流测量-AVI主动隔振台-降低环境噪声最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 是一款紧凑型有源隔振台，对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择。AVI-600 WORKSTATION隔振台允许在一定的大小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量(最高9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作台也是支持纳米技术的最佳解决方案。

产品特点：

• 主动隔振频率：1Hz - 200Hz
• 被动防振频率>200Hz
• 5-20 毫秒的响应时间
• 安装简单，容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计

产品应用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道显微镜
• 大型的对震动敏感的仪器

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION产品优势：

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

传输率：超过 10Hz 的传输< -35 dB

模块尺寸：W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模块重量： 60 KG / 132 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约 12 μm / N

水平方向：约 6 μm / N

系统噪声：少于 50nG/√Hz

耗电量：27 W(典型配置)

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 可选型号：

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 是一款用于高负载精密科研设备的优秀隔振系统， 模块化、易于安装的设计,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍适用于大量的仪器,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 400series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

产品特点:

• 主控频率  1Hz - 200Hz
• 被动防振频率   >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 通过LED显示屏控制

产品应用:

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• 光谱测量
• 高精度测量
• 其他高精密仪器

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 产品优势:  

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

 技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

隔振范围：超过10Hz 的传输< 0.017(-35 dB)

模块尺寸： W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

模块重量：40 KG / 88 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约1.7 μm / N

水平方向：约3.4 μm / N

系统噪声：少于50nG/√Hz

耗电量：18 W(典型配置

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

可选型号：

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台TS-140/LP是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动防振台适用于原子力显微镜（AFM）、光学显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防振系统。

桌上型主动防振台 TS-140工作原理：

桌上型主动防振台 TS-140 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

技术参数：

• 型号：TS-140/LP  ※可选：TS-140/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

主动防震台 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300减振台 负重可提高40kg）

隔振效果-主动防震台：

主动防震台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列主动防震台 。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

无论用于原子力显微镜还是光学显微镜 桌上型主动防振台TS-140都是一个不错的选择，同时我们推荐客户购买隔音箱，以除去空气中的声音干扰，如图：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台-防震台TS140最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

美国HERZAN公司研发的一款现场勘测工具推出的WaveCatcher，我们适合 作为 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪,环境振动分析仪，配备了强大的软件功能和硬件选项，可在几秒钟内获取复杂而全面的环境数据（振动，声学和EMI噪声），以满足现场服务工程师，研发人员，OEM研发工程师等的测量需求。

工作原理：

场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher可与各种振动，声学和EMI传感器兼容，满足多种应用的要求。以下提供了一些可用传感器选项：单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器.WaveCatcher现场勘测工具经过升级和完善，可以以紧凑，用户友好的方式提供全面的环境数据。最新版本软件带来了重要的变化和提升：

1.改进到1/3倍频程，

2.校准提高，

3.错误记录功能，

4.外加用户体验改进。

使用3.6版本时，系统将提示 低频振动分析仪 WaveCatcher用户按照建议的时间表校准传感器和WaveCatcher硬件，以确保所收集数据的最大准确性。所有的Herzan校准程序都使用NIST-Traceable硬件和记录完整的测试程序，以确保校准结果的一致性，可靠性和准确性。

技术参数：

• 振动传感器1规格：
• 型号：VA-3
• 灵敏度(Volts/EU) ：10,000
• 频率范围：2–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：速度 (m/s)
• 测量范围：10-7–10-3 m/s
• ICP传感器：无

• 振动传感器2规格：
• 型号：393B31
• 灵敏度(Volts/EU) ：10 = MFG
• 频率范围：0–300 Hz
• 轴数：1
• 测量单位：加速度 (g’s)
• 测量范围：0.5g pk
• ICP传感器：有

• 声学传感器规格：
• 型号：130E20
• 灵敏度(Volts/EU) ：40 = MFG
• 频率范围：20–20,000 Hz
• 轴数：N/A
• 测量单位：全向(帕斯卡)
• 测量范围：N/A
• ICP传感器：有

• EMI传感器规格：
• 型号：MAG649
• 灵敏度(Volts/EU) ：3
• 频率范围：0–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：AC或DC磁场(G:高斯)
• 测量范围：+- 100 µT
• ICP传感器：无

• 可选型号：
• WaveCatcher-B:不含传感器，仅含WaveCatcher基本硬件
• WaveCatcher-V:包含三轴振动传感器
• WaveCatcher-A:包含声学麦克风
• WaveCatcher-E:包含三轴EMI传感器
• WaveCatcher-VA:包含三轴振动传感器和声学麦克风
• WaveCatcher-VE:包含三轴振动传感器和三轴EMI传感器
• WaveCatcher-AE:包含声学麦克风和三轴EMI传感器
• WaveCather-VAE:包含三轴振动传感器，声学麦克风和三轴EMI传感器

升级选项：

• 硬件（便携手提箱，模数转换器，配备分析软件的笔记本电脑）
• 传感器（单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器)
• 远程数据访问和操作
• 自动报告生成
• 隔离系统测量可视化
• 数据记录

测量效果-环境振动分析仪 WaveCatcher：

我们在为客户提供主动减振台时，客户往往需要提供有无主动减振台振动数据作为验收的依据。我们的TS-C30主动减振台,TS-150主动隔振台，TS-140主动防振台,TS-300主动减震台在验收时，固润光电都会提供 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪WaveCatcher测试数据给客户参考。

低频振动分析仪-场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Tablestable-主动隔振技术-主动式减振台 为了弥补被动式空气弹簧隔振系统的缺点，创建了主动式微振动控制系统-主动式隔振台。从安装地板表面传递的振动，到设备本身产生的振动，电缆拉线，操作接触，风压等影响较大因素都成为了隔振和阻尼的对象。以微米为单位检测弹簧系统波动的高灵敏度传感器可用于通过执行器立即校正该信息，这有利于追求“衰减时间”和“相互位置精度”。减振支架系统类似于没有自然频率的刚性（刚性）支架，从而大大提高了可操作性。唯一的缺点是，诸如高灵敏度传感器和执行器之类的组件自然要比被动空气弹簧隔振平台贵很多。

执行器包括液压型，电磁型，气动型，压电型（压电）和线性型。与被动型空气弹簧型隔振表的显着区别在于，可以忽略固有频率和共振区域，并且可以获得被动型无法获得的极低频率的隔振区域。即使考虑衰减时间和对位置精度的追求，我们也可以获得足够的效果和价值。如果主动类型的价格下降到与当前被动类型相同的价格，则所有被动类型都将切换为主动类型。最初，主动型开发任务是消除“固有频率和共振区域”，这是被动型的弱点，因此它通常从小于100 Hz（某些系统控制到1000 Hz）的超低频段开始。通过进行主动（动态）控制，并使混合动力（除了控制范围之外）成为被动并相互补充，可以降低总成本。在这种情况下，互补的被动部件是所有弹性体，例如空气弹簧，螺旋弹簧和防振橡胶。这不仅是为了被动地隔离除控制频率以外的振动，根据防震目的（例如使用方法）选择用于将辅助质量的惯性力用于施加反作用力的方法和使用固定表面和结构之间的反作用力的方法。

分贝（dB）显示为“电平值”

分贝还用于振动传递和隔音。 如果您不理解分贝，就无法理解显示抗振和隔音效果的数据。 在国际单位制SI中，它表示“大于或小于标准”。 当标准振动加速度为a0且实际振动加速度（有效值）为a时，可以通过以下公式计算。 10乘以20的功率是分贝（dB）值和电平值。

通过使用上述关系表达式，证明当振动加速度A为1 Gal时，振动加速度水平La为60 dB。

日本的标准振动加速度a0为10^-5m / S²。 如果振动加速度的有效值a为1Gal（= 10^-2m / S²），则将为60dB，如下所示。

“代表隔振台性能的dB值”和“由固有频率的差异引起的dB值变化”

由于dB值是用于比较参考值和参考值的数值，因此符号会根据参考值的设置位置而变化。 通常，当参考振动加速度和参考声压为0 dB时，它是一个比较值，但是在评估隔振台的性能时，既有振动阻尼又有振动放大，因此振动将不产生共振的中性电平设置为0 dB（Tr = 100％状态），并通过将共振区域设置为+ dB值并将振动抑制区域设置为-dB值来评估Tr曲线。 被动隔振台的dB值根据固有频率f0的不同而变化。

被动式空气弹簧隔振台与主动式隔振台的Tr振动传递率数据比较

被动式空气弹簧隔振台的设计使固有频率f0尽可能低，以增强与安装地板的隔振效果。因为只有从安装地板传播的振动才是隔离振动的目标。降低固有频率具有提高隔振能力的优点，但也具有缺点：隔振系统是软性支撑，更容易受到空气弹簧和所安装的设备支撑的工作台稳定性的影响。也就是说，自然频率是一把“双刃剑”。在实际的Tr曲线中，如下图所示，基于有限共振放大倍数(即损失系数的影响)形成了出色的共振区域。其次，主动隔振台大幅缩小了被动式的负面共振区域，并从极低的频率形成隔振区域。

衰减时间比较

由于被动式具有固有频率和共振区域，因此，当施加激励时，会看到固有周期性（固有频率）和阻尼（阻尼时间的总和）。

主动式由于控制方法和增益调节，在图像稳定的初始频率下，加速度水平可能会略微超过0水平。 其特征在于，在施加激励时会显示瞬时阻尼。

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