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主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列

浏览次数:66 分类:主动减振台 主动隔振台AVI系列

品牌:Herz,型号:AVI-200

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列 是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz,被动隔振频率>200Hz。广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、干涉仪、电子天平精密设备隔振。

产品描述:

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列 是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz – 200Hz,被动隔振频率>200Hz。

广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、干涉仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!

 

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列

 

工作原理:

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

 

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列采用先进的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。

 

 

 

产品特点:

  • 主动隔振频率5Hz – 200Hz
  • 被动隔振频率>200Hz                                                                     
  • 5-20ms的响应时间
  • 安装简单,容易使用
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用

产品应用:

  • STM
  • AFM
  • 干涉测量
  • 摩擦学   轮廓测量
  • 其他高精密仪器

 

性能优势:

  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 六个空间方向的自由隔振           
  • 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
  • 低频隔振性能优秀
  • 无低频共振、无空气要求

 

兼容性:                                                                                

AVI-200 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

 

技术参数(负载能力:高达400kg) :

 

隔振效果:

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列 测试效果图

 

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