SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 产品描述：

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，平台,卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求，为客户提供了完美的解决方案。

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台技术参数（型号：PS4L M-12）：

• 产品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盘X-Y轴轨道：行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）
• 卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm
• θ移动：可转角度：360°粗调，>10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
• 平面性:5μm
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 360度机械手放置
• 机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)
• 压盘位移：可选择固定和线性调节（线性调节范围：40mm粗调，200um微调）
• 显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜
• 显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台可选配件：

包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

美国HERZAN公司研发的一款现场勘测工具推出的WaveCatcher，我们适合 作为 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪,环境振动分析仪，配备了强大的软件功能和硬件选项，可在几秒钟内获取复杂而全面的环境数据（振动，声学和EMI噪声），以满足现场服务工程师，研发人员，OEM研发工程师等的测量需求。

工作原理：

场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher可与各种振动，声学和EMI传感器兼容，满足多种应用的要求。以下提供了一些可用传感器选项：单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器.WaveCatcher现场勘测工具经过升级和完善，可以以紧凑，用户友好的方式提供全面的环境数据。最新版本软件带来了重要的变化和提升：

1.改进到1/3倍频程，

2.校准提高，

3.错误记录功能，

4.外加用户体验改进。

使用3.6版本时，系统将提示 低频振动分析仪 WaveCatcher用户按照建议的时间表校准传感器和WaveCatcher硬件，以确保所收集数据的最大准确性。所有的Herzan校准程序都使用NIST-Traceable硬件和记录完整的测试程序，以确保校准结果的一致性，可靠性和准确性。

技术参数：

• 振动传感器1规格：
• 型号：VA-3
• 灵敏度(Volts/EU) ：10,000
• 频率范围：2–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：速度 (m/s)
• 测量范围：10-7–10-3 m/s
• ICP传感器：无

• 振动传感器2规格：
• 型号：393B31
• 灵敏度(Volts/EU) ：10 = MFG
• 频率范围：0–300 Hz
• 轴数：1
• 测量单位：加速度 (g’s)
• 测量范围：0.5g pk
• ICP传感器：有

• 声学传感器规格：
• 型号：130E20
• 灵敏度(Volts/EU) ：40 = MFG
• 频率范围：20–20,000 Hz
• 轴数：N/A
• 测量单位：全向(帕斯卡)
• 测量范围：N/A
• ICP传感器：有

• EMI传感器规格：
• 型号：MAG649
• 灵敏度(Volts/EU) ：3
• 频率范围：0–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：AC或DC磁场(G:高斯)
• 测量范围：+- 100 µT
• ICP传感器：无

• 可选型号：
• WaveCatcher-B:不含传感器，仅含WaveCatcher基本硬件
• WaveCatcher-V:包含三轴振动传感器
• WaveCatcher-A:包含声学麦克风
• WaveCatcher-E:包含三轴EMI传感器
• WaveCatcher-VA:包含三轴振动传感器和声学麦克风
• WaveCatcher-VE:包含三轴振动传感器和三轴EMI传感器
• WaveCatcher-AE:包含声学麦克风和三轴EMI传感器
• WaveCather-VAE:包含三轴振动传感器，声学麦克风和三轴EMI传感器

升级选项：

• 硬件（便携手提箱，模数转换器，配备分析软件的笔记本电脑）
• 传感器（单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器)
• 远程数据访问和操作
• 自动报告生成
• 隔离系统测量可视化
• 数据记录

测量效果-环境振动分析仪 WaveCatcher：

我们在为客户提供主动减振台时，客户往往需要提供有无主动减振台振动数据作为验收的依据。我们的TS-C30主动减振台,TS-150主动隔振台，TS-140主动防振台,TS-300主动减震台在验收时，固润光电都会提供 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪WaveCatcher测试数据给客户参考。

低频振动分析仪-场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable |防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL为各类精密仪器主动减振台-防振台-隔振台，光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台！

产品描述：

AVI系列主动隔震台-防震台-减震台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动隔震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600XL/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量: 34kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

  升级选项：

• Table stable|主动隔震台-防震台-减震台AVI-600XL可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔zhen系统和包含AVI系列隔震台。当使用AVI系列减震台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable 防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

HOA系列被动隔振台-除振台-光学隔振平台是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：HOA   ※可选HOS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz
• 调平方式：自动调平(包含3个调平传感器）
• 供气方式：需要外部气源
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡）
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6.25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※可选黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：135-2,577 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：蜂窝板，石板和铸铁板

隔音效果：

HOA系列 被动隔振台-除振台-光学隔振平台 可有效降低垂直方向上的振动情况，控制外力冲击导致的振动位移现象：

被动隔振台-除振台-光学隔振平台 Herz HOA系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M 是六个空间方向自由隔振(1Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)，通过增加选件可以将低频扩展至0.5hZ,单模块承重200kg,配置多个模块时承重为200*Nkg,为客户精密测试加工提供良好的振动环境，广泛引用于原子力显微镜，超景深显微镜，电子显微镜，微纳加工等等。

主动防振台-减振台-隔震台-AVI系列 是一款紧凑型模块化的主动防振台，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

主动防振台Avi系列适用于各类大型电子显微镜AEM,SEM,ATM,TEM,干扰仪,轮廓仪,电子天平,超快激光系统时频系统,大型半导体设备,激光设备！

主动消振台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用主动防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

主动式防振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动防振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列主动防振台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M 技术参数：

• 减振台型号：AVI-200M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):130 x 636 x 112.5 Hmm,
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 10kg
• 负载能力:400 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常9W
• 校正力：水平最大4N，垂直最大8N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约3.5µm/N，水平约7µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

   升级选项：

AVI-200M主动防振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动防振台AVI-200M隔振效果：

AVI-200M性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含主动式防振台和包含AVI系列主动防振台。当使用AVI系列主动减振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

如果客户需要卓越的测试环境，我们的主动防振台AVI-200M还不能满足要求时,我们也强烈建议客户了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如图：

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

除了标准隔音箱外(例如AEK,Crypt,NanoVault,Silencer等)，Herzan还提供定制隔音箱和OEM设计。大型隔音箱-隔音箱-隔声箱-超大隔音设备 均采用HERZAN专利多层可变密度隔音材料，用户可根据具体要求定制隔音箱类型，尺寸，形状和功能等，还可以选择多个升级选项，例如隔振台集成，性能升级EMI电磁屏蔽，电缆管理和温度稳定性，确保每个机箱满足最终用户的特定研究需求。

工作原理:

声学噪声常以不同的方式影响仪器，具体取决于仪器的检测方法和精度水平。对于成像设备，它会导致图像模糊或边缘出现锯齿图案。对于定量仪器，它会降低测量精度。在极端情况下，噪声会完全阻碍测量。由于噪声水平全天波动，因此噪声也会降低测量的可重复性。采用隔音设备对于促进研究和科学发展就有十分重要的意义。

隔离仪器噪音基本上有两种方法：减少噪音或吸收噪音。降噪是声能的阻挡或转移。实现降噪的最佳方法是使用刚性，块状和高密度的材料。柔软或低密度的材料容易传播噪音，不适合转移噪音。吸收噪音需要不同的特性。实际上，较软的材料可以非常有效地吸收声音。具有高表面积的柔软材料（例如泡沫板）非常适合吸收和消除高频噪声。根据频率和能量水平，有些噪声更容易发生转移，而有些则更容易吸收，可以使用密度可变的材料来实现最大程度的降噪。

Herzan 隔声箱由不锈钢隔音箱外壳和支架由组成；隔音箱内层采用多层可变密度隔音材料。隔音箱通过密闭的金属箱体结构隔绝空气流动并起到支撑负重的作用，并通过多孔复合材料吸收从100Hz到2000Hz范围内的声波振动，防止空气流动和声音引起设备振动，从而保证光学实验中的精密仪器和器件在稳定的环境下运行。

技术参数:

• 根据客户要求定制。

升级选项：

• 定制隔音箱尺寸和形状因数
• 定制颜色和丝印logo应用
• 隔振系统集成和安装
• 可变安装和搁板
• 馈通和联动装置
• 手柄和硬件选择
• 安全性和人体工效学修改
• 环境解决方案

隔音效果-隔音箱:

以下为设备在不含和包含隔音箱的性能对比图，可以看出使用隔音设备可显著提高设备成像质量：

配合大型隔音箱-隔音箱-隔声箱-超大隔音设备-大型电镜隔音箱的主动减振台主要是AVI系列.

大型隔音箱-隔音箱-隔声箱-超大隔音设备-大型电镜隔音箱最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 产品描述：

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 是一款模块化设计、价格适中、体积小巧的探针系统，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足实验室测量的需求。它配置完整，简单易操作，安装可经由客户完成，操作可在一小时内完成。Lab Assistant 探针台可以配置为直流或高频/微波测试配置，包括一系列精密配件，通常只在更大更昂贵的探针系统中使用。与之相比，一般情况下，这种功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和功能选项---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。此外，该探针台有50mm、100mm、150mm或200mm卡盘和支架可供选择，并可配备许多与PS4L系列探针台中所使用的相同的热卡盘、光学元件和操纵器。

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 配置包括：

• 硬铝基座，带有橡胶隔振脚
• 晶圆平台粗调和细调，可更换级选项-封装部件或热部件
• 精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm), Y (25 mm) & Z (>20 mm)
• 粗略（360°）和精细（10°）θ调整
• 卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统
• 铝与不锈钢镀盘，附有可拆卸的前锲
• 精密测微计驱动压盘Z上升（13mm）
• 显微镜柱，附有同轴和线性显微镜X，Y移动100 mm x 100mm
• 7:1变焦(100x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm
• 两个DC MA-8005 操纵器，带磁性底座，面板和同轴探针臂（标准，For LA-xx DC）
• 两个DC MA-8000操纵器，带磁性底座和HF西/东探测臂（标准，For LA-xx HF）

技术参数（型号：LA-100 DC/HF）：

• 尺寸：420 mm X 540 mm X 535 mm
• 重量：32 kg
• 电源：AC 110/220V AC 50-60 Hz，20A
• 真空：23 Hg 或 -0.8 bar
• 基座：带橡胶隔振脚的实心铝刚性基座
• 卡盘X-Y轴移动：用于粗调的可调磁性滑轨（>100 mm）
• 微调-25 mm（X，Y）
• 整个支架可通过磁性基座轻松拆卸
• 卡盘Z移动：行程：20 mm
• θ移动：360°粗调，10°微调
• 卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，高频等
• 压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
• 操纵器固定-磁性(标准)，真空(可选真空歧管)
• 压盘位移：测微计驱动调节压盘Z
• 显微镜安装：刚性铝柱（标准）或吊杆
• 显微镜移动：手动移动同轴和线性精密显微镜-100mm（X）和100mm（Y）

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台 可选配件：

CCTV系统（摄像机、监视器和适配器）、操纵器、探针臂、探针、电缆、光学隔振台，暗箱等

SemiProbe高频探针台-手动探针台-半导体测试探针台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

一、空气弹簧隔振台

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M, 被动式空气弹簧式隔振台-气浮隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。

Herz 这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。 第一个缺点是它是一种柔性支撑，很容易受到风压，电线的牵拉及其自身运动（设备行为）的影响。 其次，由于它是柔性支撑件，因此在工作期间进行操作或接触时会产生接近固有频率的自由振动。 第三，当存在运输系统设备时，“阻尼时间”和“相互位置精度”存在主要障碍。 第四，被动防震台仅隔离从安装地板传播的振动。

二、Herz  空气弹簧隔振台 的固有频率

螺旋弹簧，板簧，波纹管式空气弹簧，膜片式空气弹簧，减振橡胶，减振垫等防振效果通常由所谓的固有频率f0与来自外部的频率f之比（频率比λ= f / f0）确定。HERZ 被动隔振台中固有频率的存在十分重要，就像人体器官中的心脏。当在周期T内自然角频率ω0（=2πf0）变化2πrad时，隔振系统的垂直方向特征值可用以下简化公式表示。根号中的符号，m表示弹簧系统上的重量，k表示弹簧常数。要增加固有频率，请增加k。要降低固有频率，请在k恒定时增加m（使用虚拟砝码等）。当然，固有频率也根据辅助气罐（阻尼室）的容积和孔的形状而变化。

水平方向特征值可以由以下简化公式表示。 G是重力加速度（= 980 cm / s2），L是在水平方向上调节自由度的摆的长度。 如需更改固有频率，请调整L的长度来确认。

日本和海外的防振公司根据所使用的结构和材料，在水平H方向上使用“钟摆原理”或类似的结构，例如单摆，倒立摆或双摆的自由度。

三、Herz  被动式 空气弹簧隔振台 的隔振效果/振动传递率Tr（传递率）

当振动以100％传递时，被动式空气弹簧隔振台的振动传递率为Tr ＝ 100％。如果通过增加到100％或更多来传递振动，则意味着它处于共振区域。共振区域的最大值成为共振点。

简单的计算忽略了定义阻尼元件的某些损耗阻力，使得该共振点变为无穷大，但实际上由于所使用的材料和结构而存在阻尼元件，因此它表示为与一定的共振放大倍数对应的有限值。

（振动传递率Tr> 100％）为了使隔振台发挥作用，必须使Tr <100％。表示防振效果的振动传递率Tr可以通过以下的简化公式来表示。如果Tr为100％以下，则开始图像稳定化，即，开始形成图像稳定区域。但是，Tr值为99％的隔振台与Tr值为1％的隔振台不能相同。

代之以频率比λ（= f / f0），如果隔振台的固有频率f0和外部干扰振动f具有相同的频率，则Tr在计算中将变为无限大，并且会出现最大共振现象。 首先，f的大小必须为√2乘以f0，以使振动传递率Tr = 100％，且隔振台无振动或共振。 将该区域称为包括共振点的共振区域。 隔振台获得振动隔离效果的点是频率比λ（＝ f / f0）为1以上，即f＞√2·f0倍。 当f0恒定时，其频率值越高，减振效果越大。 另外，当f的干扰频率恒定时，固有频率越低，减振效果越高。

Herz被动防震台

Herz-空气弹簧隔振台-隔振技术 简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台TS-140/LP是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动防振台适用于原子力显微镜（AFM）、光学显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防振系统。

桌上型主动防振台 TS-140工作原理：

桌上型主动防振台 TS-140 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

技术参数：

• 型号：TS-140/LP  ※可选：TS-140/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

主动防震台 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300减振台 负重可提高40kg）

隔振效果-主动防震台：

主动防震台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列主动防震台 。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

无论用于原子力显微镜还是光学显微镜 桌上型主动防振台TS-140都是一个不错的选择，同时我们推荐客户购买隔音箱，以除去空气中的声音干扰，如图：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台-防震台TS140最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。