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SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L

浏览次数:46 分类:手动探针台

品牌:SemiProbe ,型号:PS4L M-x

手动探针台是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,平台,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求。

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 产品描述:

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L 是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,平台,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求,为客户提供了完美的解决方案。

 

更重要的是,PS4L的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等,以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

 

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台 PS4L

 

 

产品特点:

  • 可灵活改变测试尺寸
  • 模块化设计,可更换关键部件
  • 系统可在客户现场升级
  • 可升级为半自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”
  • 结构简洁,方便操作

应用范围:

  • 光伏工业
  • 材料科学
  • 光电行业
  • 失效分析
  • 通信器件测试
  • 微机电技术
  • 半导体

 

 

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台技术参数(型号:PS4L M-12):

  • 产品尺寸:1200mm * 650mm * 900mm
  • 重量:110Kg
  • 输入电压:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盘X-Y轴轨道:行程:>300mm粗调,25mm微调(可定制)
  • 平面性:±7.5μm
  • 分辨率:5μm
  • 支架类型:快速对准(标配)、同轴/可编程(选配)
  • 卡盘Z轴轨道:行程:>20mm
  • θ移动:可转角度:360°粗调,>10°微调
  • 卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等
  • 平面性:5μm
  • 压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔
  • 360度机械手放置
  • 机械手固定:磁性(标准),真空(可选配真空歧管工具包)
  • 压盘位移:可选择固定和线性调节(线性调节范围:40mm粗调,200um微调)
  • 显微镜:立体变焦、变焦或复式显微镜
  • 显微镜安装/移动:可选吊杆、立柱或桥架安装;可手动或通过程控移动

 

SemiProbe手动探针台-直流探针台-射频探针台可选配件:

包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。

 

 

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