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SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台

浏览次数:45 分类:半自动探针台

品牌:SemiProbe ,型号:PS4L SA-x

半自动探针台采用可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台产品描述:

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等,以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

 

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台

 

 

PILOT控制软件:

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台

SemiProb的半自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作,软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life(PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上,客户可增添控制模块来增加额外的功能和附件。其一般的功能比如2点校准,功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

 

产品特点:

  • 可灵活改变测试尺寸
  • 半自动测试,节省测试时间
  • 可升级为全自动探针系统
  • 模块化设计,可以更换关键部件
  • 结构简洁,方便操作

应用范围:

  • 光伏工业
  • 材料科学
  • 光电行业
  • 失效分析
  • 通信器件测试
  • 微机电技术

 

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 技术参数(型号:PS4L SA-4):

  • 产品尺寸:900 mm x 650 mm x 750 mm
  • 重量:80Kg
  • 输入电压:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盘X-Y轴轨道:NEMA 17步进电机,光学线性编码器
  • 行程:105*105mm
  •  速度:50mm/s(最大)
  • 平面性:±6μm
  • 分辨率:0.1μm
  • 重复性:±0.5μm
  • 精度:±3um
  • 卡盘Z轴轨道:行程:15mm
  • 分辨率:0.5μm
  •  重复性:±1.5μm
  • θ移动:行程:±4°(可定制)
  •   分辨率:0.0008°
  • 卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等
  • 压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔
  • 360度机械手放置
  • 压盘位移:可选择固定和线性调节
  •  线性调节范围:40mm粗调,200um微调

 

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台 可选配件:

包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。

SemiProbe半自动探针台-半自动晶圆探针台-光电探针台

 

标签:探针台

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