Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台
浏览次数:5611 分类:Semiprobe/J&M 光电测试 全自动探针台
全自动探针台SemiProbe采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L可随着测试环境和测试条件的改变进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。
Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 产品描述:
Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等,以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。
Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 PILOT控制软件:
SemiProbe的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作,软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上,客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准,功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。
产品特点:
- 同一系统可满足多种应用需求—— DC,高频率,OPTO,MEMS 以及更多
- 有三种操作模式可选:全自动(不间断工作)、半自动和手动
- 可处理不同尺寸的晶圆
- 可测试芯片、晶圆
- 可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物
- 灵活的 PILOT 控制软件- 自动晶圆和芯片对准,Z 高度探测和分析,晶圆形貌,界面和更多。
- 可提供多种配件-热夹盘,光学部件,CCTV 系统,条形码阅读器,OCR,操纵器,探针卡和更多。
- 模块化结构设计,具有无与伦比的灵活性
- 系统可升级:6”升级为8”,8”升级为12”等
应用范围:
- 光伏工业
- 材料科学
- 光电行业
- 失效分析
- 通信器件测试
- 微机电技术
- 高频/微波测试
- 半导体技术
技术参数(型号:PS4L FA-6):
- 产品尺寸:900 mm x 1625 mm x 2438 mm
- 重量:240Kg
- 输入电压:110/220V 50/60Hz,20A
- 真空:23 Hg or -0.8 bar
- 卡盘X-Y轴轨道: NEMA 17步进电机,光学线性编码器
- 行程:155*155mm(可升级)
- 速度:50mm/s(最大)
- 平面性:±8μm
- 分辨率:0.1μm
- 精度:±3μm
- 重复性:±0.5μm
- 卡盘Z轴轨道:行程:15mm
- 分辨率:0.5μm
- 重复性:±1.5μm
- θ移动:行程:±4°(可定制)
- 分辨率:0.00001°
- 卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等
- 压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔
- 360度机械手放置
- 压盘位移:可选择固定和线性调节
- 线性调节范围:40mm粗调,200um微调
可选配件:
包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。