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Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台

浏览次数:27 分类:全自动探针台 未分类

品牌:SemiProbe , 型号:PS4L FA-x

全自动探针台SemiProbe采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L可随着测试环境和测试条件的改变进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 产品描述:

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者6”升级为8”,8”升级为12”,增加密闭测试仓,增加高低温等,以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

 

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 机台

 

 

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 PILOT控制软件:

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 控制软件

SemiProbe的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作,软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上,客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准,功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

 

产品特点:

  • 同一系统可满足多种应用需求—— DC,高频率,OPTO,MEMS 以及更多
  • 有三种操作模式可选:全自动(不间断工作)、半自动和手动
  • 可处理不同尺寸的晶圆
  • 可测试芯片、晶圆
  • 可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物
  • 灵活的 PILOT 控制软件- 自动晶圆和芯片对准,Z 高度探测和分析,晶圆形貌,界面和更多。
  • 可提供多种配件-热夹盘,光学部件,CCTV 系统,条形码阅读器,OCR,操纵器,探针卡和更多。
  • 模块化结构设计,具有无与伦比的灵活性
  • 系统可升级:6”升级为8”,8”升级为12”等

应用范围:

 

  • 光伏工业
  • 材料科学
  • 光电行业
  • 失效分析
  • 通信器件测试
  • 微机电技术
  • 高频/微波测试
  • 半导体技术

 

 

技术参数(型号:PS4L FA-6)

  • 产品尺寸:900 mm x 1625 mm x 2438 mm
  • 重量:240Kg
  • 输入电压:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盘X-Y轴轨道: NEMA 17步进电机,光学线性编码器
  • 行程:155*155mm(可升级)
  • 速度:50mm/s(最大)
  • 平面性:±8μm
  • 分辨率:0.1μm
  • 精度:±3μm
  • 重复性:±0.5μm
  • 卡盘Z轴轨道:行程:15mm
  • 分辨率:0.5μm
  • 重复性:±1.5μm
  • θ移动:行程:±4°(可定制)
  • 分辨率:0.00001°
  • 卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等
  • 压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔
  • 360度机械手放置
  • 压盘位移:可选择固定和线性调节
  • 线性调节范围:40mm粗调,200um微调

 

可选配件:

包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。

 

Semiprobe全自动探针台-量产型全自动探针台-全自动探针台 配件

 

 

 

 

 

标签:探针台

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