电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。TS150/LP/TP25 桌面式主动隔震台已经稳定的销售近20年，反应速度快，扁平化设计重心低，模块化设计灵活搭配为客户提供更多的选择，减振效果好，频响曲线一日了然，满足客户的各种需求。新推出的一些其他厂家主动减震台，不能提供完整的数据，没有经过时间的考验，有的甚至效果很差，完全不能满足客户测试需求。我们可以提供Herz多种样机试用。

工作原理：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS150/LP/TP25 产品特点：

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台  技术参数：

• 型号：TS 150/LP/TP25              ※可选：TS-150/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TS150/LP/TP25-桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M 是六个空间方向自由隔振(1Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)，通过增加选件可以将低频扩展至0.5hZ,单模块承重200kg,配置多个模块时承重为200*Nkg,为客户精密测试加工提供良好的振动环境，广泛引用于原子力显微镜，超景深显微镜，电子显微镜，微纳加工等等。

主动防振台-减振台-隔震台-AVI系列 是一款紧凑型模块化的主动防振台，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

主动防振台Avi系列适用于各类大型电子显微镜AEM,SEM,ATM,TEM,干扰仪,轮廓仪,电子天平,超快激光系统时频系统,大型半导体设备,激光设备！

主动消振台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用主动防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

主动式防振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动防振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列主动防振台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M 技术参数：

• 减振台型号：AVI-200M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):130 x 636 x 112.5 Hmm,
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 10kg
• 负载能力:400 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常9W
• 校正力：水平最大4N，垂直最大8N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约3.5µm/N，水平约7µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

   升级选项：

AVI-200M主动防振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动防振台AVI-200M隔振效果：

AVI-200M性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含主动式防振台和包含AVI系列主动防振台。当使用AVI系列主动减振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

如果客户需要卓越的测试环境，我们的主动防振台AVI-200M还不能满足要求时,我们也强烈建议客户了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如图：

主动防振台-主动式防震台-防振台 Herz AVI-200M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌面式主动隔震台 TS-150是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

台式主动防振台-桌面主动除振台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理：

TS 系列 桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列 主动隔振台 利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

桌面主动除振台 技术参数：

• 型号：TS-150/LP              ※可选：TS-150/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：18 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

桌面主动除振台 隔振效果：

台式主动防振台 性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列 桌面主动除振台 搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

桌面式主动隔震台-台式主动防振台-桌面主动除振台 TS-150最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台TS-140/LP是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动防振台适用于原子力显微镜（AFM）、光学显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防振系统。

桌上型主动防振台 TS-140工作原理：

桌上型主动防振台 TS-140 采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

技术参数：

• 型号：TS-140/LP  ※可选：TS-140/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：140 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

主动防震台 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300减振台 负重可提高40kg）

隔振效果-主动防震台：

主动防震台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列主动防震台 。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

无论用于原子力显微镜还是光学显微镜 桌上型主动防振台TS-140都是一个不错的选择，同时我们推荐客户购买隔音箱，以除去空气中的声音干扰，如图：

桌上型主动防振台-主动防震台-减振台-防震台TS140最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Table stable |防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL为各类精密仪器主动减振台-防振台-隔振台，光学显微镜主动防振台-干涉仪主动防震台-电子天平防振台-轮廓仪防震台-半导体设备主动防震台-激光设备防振台-微纳加工精密仪器防振系统。优点：六轴方向自由度隔防振台，超低频负刚度防震台，高负载主动防震台！

产品描述：

AVI系列主动隔震台-防震台-减震台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动隔震台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列主动隔震台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

技术参数：

• 型号：AVI-600XL/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
• 隔振单元重量: 34kg
• 负载能力:1200 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常27W
• 校正力：水平最大12N，垂直最大24N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1µm/N，水平约2 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

  升级选项：

• Table stable|主动隔震台-防震台-减震台AVI-600XL可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔zhen系统和包含AVI系列隔震台。当使用AVI系列减震台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable 防震台-主动隔震台-主动减震台-隔振台 AVI-600XL最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

美国HERZAN公司研发的一款现场勘测工具推出的WaveCatcher，我们适合 作为 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪,环境振动分析仪，配备了强大的软件功能和硬件选项，可在几秒钟内获取复杂而全面的环境数据（振动，声学和EMI噪声），以满足现场服务工程师，研发人员，OEM研发工程师等的测量需求。

工作原理：

场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher可与各种振动，声学和EMI传感器兼容，满足多种应用的要求。以下提供了一些可用传感器选项：单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器.WaveCatcher现场勘测工具经过升级和完善，可以以紧凑，用户友好的方式提供全面的环境数据。最新版本软件带来了重要的变化和提升：

1.改进到1/3倍频程，

2.校准提高，

3.错误记录功能，

4.外加用户体验改进。

使用3.6版本时，系统将提示 低频振动分析仪 WaveCatcher用户按照建议的时间表校准传感器和WaveCatcher硬件，以确保所收集数据的最大准确性。所有的Herzan校准程序都使用NIST-Traceable硬件和记录完整的测试程序，以确保校准结果的一致性，可靠性和准确性。

技术参数：

• 振动传感器1规格：
• 型号：VA-3
• 灵敏度(Volts/EU) ：10,000
• 频率范围：2–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：速度 (m/s)
• 测量范围：10-7–10-3 m/s
• ICP传感器：无

• 振动传感器2规格：
• 型号：393B31
• 灵敏度(Volts/EU) ：10 = MFG
• 频率范围：0–300 Hz
• 轴数：1
• 测量单位：加速度 (g’s)
• 测量范围：0.5g pk
• ICP传感器：有

• 声学传感器规格：
• 型号：130E20
• 灵敏度(Volts/EU) ：40 = MFG
• 频率范围：20–20,000 Hz
• 轴数：N/A
• 测量单位：全向(帕斯卡)
• 测量范围：N/A
• ICP传感器：有

• EMI传感器规格：
• 型号：MAG649
• 灵敏度(Volts/EU) ：3
• 频率范围：0–1,000 Hz
• 轴数：3
• 测量单位：AC或DC磁场(G:高斯)
• 测量范围：+- 100 µT
• ICP传感器：无

• 可选型号：
• WaveCatcher-B:不含传感器，仅含WaveCatcher基本硬件
• WaveCatcher-V:包含三轴振动传感器
• WaveCatcher-A:包含声学麦克风
• WaveCatcher-E:包含三轴EMI传感器
• WaveCatcher-VA:包含三轴振动传感器和声学麦克风
• WaveCatcher-VE:包含三轴振动传感器和三轴EMI传感器
• WaveCatcher-AE:包含声学麦克风和三轴EMI传感器
• WaveCather-VAE:包含三轴振动传感器，声学麦克风和三轴EMI传感器

升级选项：

• 硬件（便携手提箱，模数转换器，配备分析软件的笔记本电脑）
• 传感器（单轴或三轴振动传感器，宽带声学麦克风，三轴EMI传感器)
• 远程数据访问和操作
• 自动报告生成
• 隔离系统测量可视化
• 数据记录

测量效果-环境振动分析仪 WaveCatcher：

我们在为客户提供主动减振台时，客户往往需要提供有无主动减振台振动数据作为验收的依据。我们的TS-C30主动减振台,TS-150主动隔振台，TS-140主动防振台,TS-300主动减震台在验收时，固润光电都会提供 低频振动分析仪 场地测试振动分析仪WaveCatcher测试数据给客户参考。

低频振动分析仪-场地测试振动分析仪-环境振动分析仪-WaveCatcher最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动，而这些振动将可能对电干涉仪等精密仪器设备造成不利影响，导致测量数据不精确等。 隔振台，又称减振台或减震台，即是消除这些振动最有效的解决方案，是科学研究当中常用的一种光学平台，用于搭载各类高精度显微镜，干涉仪，轮廓仪，摩擦学，高精度计量等精密仪器设备，以消除影响测量的破坏性低频振动噪声，以便营造最适合该精密设备的实验环境条件。

隔振台主要分为两种类型：

1、电控的主动隔振台

2、利用材料特性的被动隔振台

1、什么是主动隔振台

主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。

主动减振台-隔振台-防震台的主动隔振频率为 0.7Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

HERZ的AVI系列主动隔振台：

HERZ的TS系列主动隔振台：

2、什么是被动隔振台

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

使用螺旋弹簧的隔振台也是被动式。Herz被动隔振台采用高阻尼处理技术和超高性能空气弹簧，完全集成且使用简单，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

 HERZ的DT系列被动隔振台：

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介 主动隔振台与被动隔振台的区别

两者的区别在于隔振方法。被动隔振台是由于材料特性（例如空气弹簧）而使用抗损失性（粘滞性，空气阻力等）的控件，而主动隔振台是被动隔振台控件的一部分，但使用专用振动（或振动）。该相位由控制系统进行电子调节（反相），该系统命令执行器获取由检测传感器获得的传感器信息。

当寺庙的钟声在外面回荡并发出响亮的声音时，请注意在钟声的内部中心附近会“减弱为小声音”的事实，请注意声音会在例如高速公路上逐渐减弱。外墙的开发很活跃。主动减振基座的想法可能是基于可以以相同方式消除振动的想法而开始发展的。除了首先想到的是一个非常有趣的领域。两者之间的最大区别在于，前者具有自然频率，而后者则没有。

隔振技术-主动式隔振台-主动式减震台-简介最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列 是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz。

广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、干涉仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。Herz AVI系列利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振           
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性：                                                                                

AVI-200 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：高达400kg) :

隔振效果：

主动隔振光学平台-主动隔振台-主动式除振平台-Herz AVI200系列最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。