主动隔振技术 随着超精密加工、精密测试等技术的发展，对环境的敏感程度也越来越高，被动隔振已经远远不能满足现在的要求。例如在精密光学领域，扫描隧道显微镜（STM）利用隧道效应及隧道电流原理而工作，STM在工作时，探针针尖与测试样品的距离很近（小于1nm），由于隧道效应，在探针与测试样品表面之间就会产生隧道电流并保持不变，隧道电流与隧道距离成指数关系，若表面有微小起伏，也将使得穿透电流发生成千上万倍的变化。这种携带原子结构的信息经过计算机的处理即可显示出一幅三维图像，其分辨率可达到0.01nm，放大倍数可达几亿倍。要达到这些效果，超精密类仪器必须搭配性能优秀的隔振装置。

主动隔振技术 工作原理

单自由度振动系统是最简单的振动系统，我们通过分析该系统来解释主动隔振原理。如图 1 所示，有阻尼单自由度隔振系统受外力F做一定规律的运动，主动隔振通过传感器（按所测机械量分有位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、应变传感器、扭振传感器、扭矩传感器，按机电变换原理分电动式、压电式、电涡流式、电感式、电容式、电阻式）检测到该系统的运动信息，该信息经过内置信号处理器的处理，反馈到执行电机中，执行电机产生一个与外力F大小相同，相位相反的力F₀，使得该系统的合外力为零，该系统处于平衡状态。当然，实际情况振动是以波的方式传播，根据波的叠加原理，振动波也可通过主动隔振系统被抵消。

实际的系统具有多个自由度，刚性系统都具有六个自由度，分别是x轴、y轴、z轴以及绕x轴、y轴、z轴的转动。所以主动隔振系统在每个自由度具备相应的传感器及执行电机。

主动隔振技术 系统响应

主动隔振，根据波的叠加原理，振动波被抵消，实际上不可能绝对做到这点，因为存在一定的响应时间，所以波没有完全被抵消，事实上还会存在一定的振动，但是由于振动被大幅度的降低，已经可以使得需要隔振的设备发挥其最大的性能。

相关产品

Table Stable 作为主动隔振领域的领导者，低功率压电技术与瑞士品质完美契合，铸就了AVI系列与TS系列产品。广州市固润光电科技有限公司作为Table Stable 在中国的代理商，在隔振领域为广大客户提供主动隔振产品与专业的技术支持。

TS系列在水平轴隔振效果如图 2图 3所示：

在垂直方向隔振效果如图 4所示：

主动隔振技术最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 是一款用于高负载精密科研设备的优秀隔振系统， 模块化、易于安装的设计,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍适用于大量的仪器,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 400series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

产品特点:

• 主控频率  1Hz - 200Hz
• 被动防振频率   >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 通过LED显示屏控制

产品应用:

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• 光谱测量
• 高精度测量
• 其他高精密仪器

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台 产品优势:  

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

 技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

隔振范围：超过10Hz 的传输< 0.017(-35 dB)

模块尺寸： W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

模块重量：40 KG / 88 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约1.7 μm / N

水平方向：约3.4 μm / N

系统噪声：少于50nG/√Hz

耗电量：18 W(典型配置

输入电压：90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

可选型号：

Herz主动隔振台-Herz主动式隔振台-AVI主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI200主动式隔振台-AVI200主动隔振台-主动隔振台 是一款紧凑型主动隔振系统，对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择。AVI-200主动隔振台这款设备允许在一定的大小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量，通过增加选件可以将低频扩展至0.5hZ,单模块承重200kg,配置多个模块时承重为200*Nkg,为客户精密测试加工提供良好的振动环境，广泛引用于原子力显微镜，超景深显微镜，电子显微镜，微纳加工等等。

产品特点:

• 主动隔振台主动隔振频率 1Hz -200Hz
• 主动隔振台被动隔振频率 >200Hz
• 5-20毫秒的响应时间
• 安装简单,容易使用
• 能无故障连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计
• 多种顶板支持各种研究及应用

产品应用:

• STM
• AFM
• 摩擦学
• Spinstand
• 干涉测量
• 轮廓测量
• 其他高精密仪器

产品优势:

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

传输率:超过10Hz< -35 dB

模块尺寸:W 5.1” x D 23.6” x H 4.3” (AVI-200 M)

模块重量:20 KG / 4.4 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向:约 1.75 μm / N

水平方向:约3.5 μm / N

系统噪声:低于 50nG/√Hz

耗电量:通常情况下为9 W

输入电压:90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控:通过在示波器上显示 一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级。

可选型号：

AVI200主动式隔振台-AVI200主动隔振台-主动隔振台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

桌上型主动减振台TS-140+40适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

主动减振台|工作原理：

主动减振台 TS 系列采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

TS-140+40技术参数：

• 型号：TS-140+40/LP
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)
• 幅度: 20 um (垂直和水平)
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：500 (W) x 600 (D) mm
• 整体尺寸 (大约)：500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：180 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）
• 系统重量 (大约)：29 kg
• 输入电压：90 ～ 120 ＶAC,  200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

   主动减振台升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

主动减振台|TS-140+40隔振效果：

主动减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减振台-隔振台-防震台-TS-140+40与配套使用隔音箱，有效提高测试环境。

主动减振台-隔振台-防震台-除振台TS-140+40最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

产品描述：

Table Stable 减振台-主动隔振台 TS-300是TS系列产品中最大的型号，是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。

工作原理：

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台  TS-300技术参数：

• 型号：TS-300/LP ※可选 TS-300/LP/TP25
• 系统配置：完全整合
• 主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 200 Hz (超过200 Hz为被动隔振)
• 校准幅度: 最大20 um (垂直和水平)
• 修正力: 垂直±8N,水平±4N
• 静态顺应性: 约12 μm/N（垂直）、约30-40 μm/N（水平）
• 高度调节：自动
• 搬运或运输期间锁定：自动锁定功能
• 隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。
• 安装板尺寸：600 (W) x 800 (D) mm
• 整体尺寸 (大约) 600 (W) x 800 (D)x 121 (H) mm
• 负载能力(同等 /低重心）：300 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）。
• 系统重量 (大约)：53 kg
• 输入电压：115 - 230 V  AC +/- 10% 50 - 60 Hz
• 功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W
• 温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃
• 相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）
• 服务场所：仅用于室内
• 工作高度：高达2,000 m
• 选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,
• M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm
• 选项 2 遥控盒
• 选项 3 内置减振功能的高刚性框架

 升级选项：

• 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）
• 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)
• 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）
• 振动器集成（激励源）
• 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）
• 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）
• 提高负重 （TS-140和TS-300负重可提高40kg）

Table stable减振台 主动隔振台-防震台TS-300隔振效果：

减振台性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Table stable减振台-主动隔振台-防震台TS-300最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 产品描述：

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台  ATM系列是日本HERZ公司研发的一款显微镜用空气弹簧式减振台，设计注重易用性，配备扶手和脚轮，方便显微镜操作和室内移动，并且采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，可以轻松固定各种设备和光学部件。

工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动防震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台 技术参数：

• 型号：ATM-1010L  ※可选：ATM-1010LA(B)
• 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm
• 安装板尺寸：1000W×1000Dmm
• 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）
• 负载能力：300kg (低重心均等负载时)
• 产品重量：200kg
• 表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝
• 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆
• 表面构造：钢制蜂窝夹层结构
• 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

显微镜减振台-精密隔振平台-共聚焦显微镜减振平台最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

隔音箱制造商-HERZAN 产品与时俱进，适应现代研究的需求,美国知名 隔音箱 制造商 HERZAN 升级隔音箱增强隔音性能,Herzan团队根据研究人员的反馈进行更改，能够进一步提高产品性能，可访问性和可靠性。最新的产品展示了Herzan热销产品的最新升级，包括AVI系列主动振动控制平台，AEK 隔音箱 和SEM 隔音箱。

一、堆叠两个AVI平台可降低75dB

AVI系列目前可提供业界领先的低频振动控制，但Table Stable的研发团队证明堆叠主动隔振系统具有极大优势，下图显示了被动，主动和双堆叠主动隔振系统之间在振动控制性能方面的巨大差异。

添加可以改善任何AVI平台的低频隔离性能的LFS系统后，可以看到标准或双堆叠主动隔振系统性能得到进一步改善。

被动vs主动vs双堆叠主动

被动:禁用AVI-200主动隔振

主动:启用AVI-200主动隔振

双堆叠主动:AVI-200放置在现有AVI-200和顶板之上;两者均启用主动隔振

二、升级电缆夹可防止声音进入Herzan 隔音箱

Herzan 隔音箱 的设计旨在最大程度地为研究人员提供便利，同时最大程度地减少传入的噪音和气流。由于多年来支持的项目众多，因此引入该升级来支持这三个设计目标。

最新的升级改进了客户将电缆从隔音箱中移出的方式，现在可以根据每种仪器的电缆直径和数量进行定制。这种新方法可确保研究人员将仪器安全地安装在Herzan隔音箱内，而不会受到气流或本地噪声的干扰。

多种电缆端口插入件可供选择，优化 隔音箱 ，方便研究应用。

三、在Herzan SEM 隔音箱 中保持SEM温度稳定性-隔音箱

该图可视化了散热系统如何集成到Herzan SEM隔音箱和周围实验室环境中

随着电子显微镜的发展，对声学噪声的敏感性变得越来越普遍，通常需要隔音箱隔离周围实验室的噪声。将电子显微镜封闭在隔音箱中时，管理内部温度对防止热漂移有害影响的至关重要。

Herzan的动态散热解决方案旨在最大程度地提高隔音箱的散热量，同时最大程度地减少隔音箱内部循环的空气和进入隔音箱的噪音。

Herzan隔音箱

隔音箱制造商-HERZAN-升级隔音箱增强隔音性能最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（最大承重可至9000磅）。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振，以及半导体设备、大型干扰仪、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

性能优势：

• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 六个空间方向的自由隔振
• 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
• 低频隔振性能优秀
• 无低频共振、无空气要求

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数（负载能力：1200kg）：

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案，请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收.近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ-AVI 400M主动防震台隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意！

HERZ的AVI 400M主动防震台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。主动防震台安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振台、隔音箱和主动消磁系统十年！我司服务客户300多位！AVI系列和TS系列主动隔振台被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，出色的隔振效果取得了广大顾客的认可！我司拥有一支十年经验丰富技术团队，为客户提供设备的振动测试、安装、调试、使用培训、维修、维护等一站式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

电子显微镜主动防振台-在遵义和上海安装并通过验收最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年！

产品描述:

主动减震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列隔震台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子天平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

工作原理：

主动减震台AVI-400M使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动减震台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

AVI系列防振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。

主动减震台技术参数：

• 型号：AVI-400M/LP
• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
• LEDs 指示输出阶段的过载情况。
• 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm
• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
• 隔振单元重量: 20kg
• 负载能力:800 kg (同等/低重心)
• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
• 功耗：通常18W
• 校正力：水平最大8N，垂直最大16N
• 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
• 静态柔度：垂直约1.7 µm/N，水平约3.4 µm/N
• 温度范围：5℃ - 40℃
• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
• 室内/室外使用：仅用于室内

 升级选项：

• AVI-400M主动减震台 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

主动减震台隔振效果：

性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列防振台。当使用AVI系列防振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动减震台-防振台-隔震台-主动隔震台 AVI-400M最先出现在主动减振台-光谱辐射计-自相关仪-标准灯箱-固润光电。