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主动隔振台-Table stable-低频隔振台-除振台AVI-400S

主动隔振台-Table stable-低频隔振台-除振台AVI-400S

浏览次数:143659 分类:主动减振台 主动隔振台AVI系列

品牌:Herz,型号:AVI-400S

主动隔振台,Table stable,低频隔振台,除振台AVI-400S是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。

主动隔振台AVI-400S适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子天平主动防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!

Table stable 主动隔振台,低频隔振台,除振台AVI-400S响应时间快.主动隔振频率为 0.5Hz – 200Hz,被动隔振频率>200Hz.适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪主动式隔振台,轮廓主动隔振台,电子天平主动式隔振台,超快激光系统式主动隔振台,时频系统隔振台,大型半导体设备隔振台,激光设备主动隔振台.

主动隔振台-Table stable-低频隔振台AVI-400S

AVI-400S产品描述:

Table Stable低频隔振台-隔振台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。AVI系列隔震台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。

 

AVI-400S 低频隔振台,轴方向自由度隔振台,无低频共振刚度减振台,高负载隔振台,高承重减振系统,LCD实时显示主动隔振台,免安装减振台,即插即用避振系统,高分辨率显微镜减震系统,超低频率主动隔震系统,原子力显微镜减振台,隧道显微镜避振系统,微纳加工精密仪器主动防振设备

 

主动隔振台AVI-400S工作原理:

AVI-400S使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

 

AVI系列防震台采用先进的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。

 

 AVI-400S产品特点:

  • 六个空间方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)
  • 5-20ms响应时间
  • 低频隔振性能优异,安装和使用简单
  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 无低频共振、无空气要求

AVI-400S应用范围:

  • 超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器

 

主动隔振台 AVI-400S技术参数:

  • 型号:AVI-400S/LP
  • 系统配置:独立隔振装置 & 控制装置
  • 主动隔振范围:大致为1.0 Hz – 200 Hz
  • 被动隔振范围:大致为200 Hz以上
  • 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
  • LEDs 指示输出阶段的过载情况。
  • 单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm
  • 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
  • 隔振单元重量:  15kg
  • 负载能力:800 kg (同等/低重心)
  • 输入电压: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
  • 功耗:通常18W
  • 校正力:水平最大8N,垂直最大16N
  • 系统噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
  • 静态柔度:垂直约1.7 µm/N,水平约3.4 µm/N
  • 温度范围:5℃ – 40℃
  • 相对湿度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)・10 – 60 % (30 – 40 ℃)
  • 室内/室外使用:仅用于室内

 

主动式隔振台 升级选项:

  • AVI-400S 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

AVI-400S隔振效果:

性能对比图:SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像: 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

隔振台-Table stable-低频隔振台AVI-400S的隔振效果图