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TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用

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TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 背景简介:

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 美国依视路的研究人员观察到大量振动噪声,限制了其Keyence VK-X250 3D激光扫描共聚焦显微镜。产生的振动噪声影响了其表面粗糙度的测量,从而导致结果不准确。为了解决这些问题,Essilor根据环境的严峻程度为其仪器找到了最佳解决方案:Herzan TS-140主动隔振台。通过将TS-140主动隔振台与Keyence VK-X250共焦显微镜集成在一起,可显着降低测量中由于振动而产生的噪声。 现在,客户已经能够更准确地测量各种表面粗糙度参数,例如算术平均高度(Ra)和均方根高度(Rq)。

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用

 

设备:

Keyence VK-X250 3D 激光扫描共聚焦显微镜

 

最终用户:

Nathan Payne, Essilor USA

 

隔振系统:

TS-140主动隔振台

主动减振台-隔振台-防震台TS-140+40

TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统,六个自由度全方位隔振,即插即用系统,可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的工作性能。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜(AFM)、横向力显微镜等隔振应用。

 

隔振性能:镀铬零件表面图像对比

左图:不含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 11.47

Rq (nm): 14.16

 

右图:包含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 8.93

Rq (nm): 11.52