电镜/显微镜主动式隔振台
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名 称:电镜/显微镜主动式隔振台
型号:AVI-600
品牌:Herz
描述:支持纳米技术大型仪器的最佳解决方案
服务热线:020-85666701
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AVI-600 work station 

主动隔振台                                                                                 隔振案例                                                                  

AVI-600 为紧凑型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的最佳解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(最大承重可至9000磅)。

 

工作原理

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术,适用于任何科研环境下,该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和竖直方向),AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

                                                                                                                            

            

产品特点                                                                                        

主动隔振频率 1Hz - 200Hz               

  • 被动隔振频率>200Hz
  • 5-20ms的响应时间
  • 安装简单,容易使用
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 控制器带数字LED显示屏

  • 产品应用

    • SEM                              TEM
    • UHV-SPM                       光刻
    • 隧道显微镜                    Fabry-Perot干涉仪
    • 大型对振动敏感的仪器设备


    性能优势 

      • 系统主动检测输入振动并动态消除
      • 六个空间方向的自由隔振
      • 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
      • 低频隔振性能优秀
      • 无低频共振、无空气要求

    技术参数(负载能力:1200kg)

    型号

    AVI-600S/LP

    AVI-600M/LP

    AVI-600XL/LP

    系统配置

    独立隔振装置 & 控制装置

    主动隔振范围

    大致为 1.0 Hz - 200 Hz

    被动隔振范围

    大致为200 Hz以上

    显示屏信号

    多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

    LEDs  指示输出阶段的过载情况。

    单元尺寸(每个)

    288 x 396 x 112.5 Hmm

    288 x 720 x 112.5 Hmm

    318 x 856 x 112.5 Hmm

    控制器尺寸

    448 x 286 x 143 Hmm

    隔振单元重量

     23 kg

    26 kg

     34 kg

    负载能力

    1,200 kg (同等/低重心)

    输入电压

    90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

    功耗

    通常 27 W

    温度范围

    5 - 40

    相对湿度

    10 - 90 % (5  - 30 )10 - 60 % (30 - 40 )

    室内/室外使用

    仅用于室内


     兼容性

    AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。



     

     


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