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主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列

主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列

浏览次数:3183 分类:主动减振台 主动隔振台AVI系列

品牌:Herz,型号:AVI-400

主动式减震平台|主动隔振平台 |主动式隔振平台 |AVI-400系列 可以主动检测输入振动并动态消除,六个空间方向的自由隔振,系统内部反馈回路抑制所有机械共振,低频隔振性能优秀,无低频共振、无空气要求!自动调节负载,即插即用。LCD显示屏实时显示振动情况,多种面板定制选择。主动隔振台AVI-400 work station,模块化、易于安装的设计,AVI400主动隔振台广泛运用于各种需要高性能振动隔离的仪器。 为各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪,轮廓仪,电子太平,超快激光系统,时频系统,大型半导体设备,激光设备主动减振。

产品描述:

AVI-400系列可以主动检测输入振动并动态消除,六个空间方向的自由隔振,系统内部反馈回路抑制所有机械共振,低频隔振性能优秀,无低频共振、无空气要求!自动调节负载,即插即用。LCD显示屏实时显示振动情况,多种面板定制选择。

主动隔振台AVI-400 work station,模块化、易于安装的设计,主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列广泛运用于各种需要高性能振动隔离的仪器。 为各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪,轮廓仪,电子太平,超快激光系统,时频系统,大型半导体设备,激光设备主动减振。

主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列

工作原理:

Herz AVI-400使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生作用力,并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。

 

AVI-400系列采用先进的隔振技术,适用于任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。AVI系列利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动,通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器产生一个与传入压力大小相等,相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。

 

产品特点:   

  • 主动隔振频率5Hz – 200Hz
  • 被动隔振频率>200Hz
  • 5-20ms的响应时间
  • 安装简单,容易使用
  • 稳定性高,能无故障连续使用多年
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用

产品应用:

  • SEM
  • TEM
  • UHV-SPM
  • 光刻
  • 光谱测量
  • 高精度测量
  • 其他高精密仪器

 

性能优势:

  • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 六个空间方向的自由隔振
  • 系统内部反馈回路抑制所有机械共振
  • 低频隔振性能优秀
  • 无低频共振、无空气要求

 

兼容性:                                             

主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

主动式减震平台-主动隔振平台-主动式隔振平台 AVI-400系列+低频稳定器 LFS-3

 

技术参数(负载能力:高达800kg)

 

隔振实例:

 

 

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