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LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪

浏览次数:83 分类:半导体EL&PL测试仪

品牌:MaxMile,型号:EL/PL

MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL电致/光致发光测试系统将专有EpiEL和PL技术结合到一个系统中,该系统可以(a)作为常规EpiEL系统,或者(b)作为常规PL测试系统,或者(C)作为ELPL组合测试系统。它们具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作,能够以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。

Originally posted on 2020年12月8日 @ 上午4:11

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 产品描述:

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL电致/光致发光测试系统将专有EpiEL和PL技术结合到一个系统中,该系统可以(a)作为常规EpiEL系统,或者(b)作为常规PL测试系统,或者(C)作为ELPL组合测试系统。它们具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作,能够以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。此外,在ELPL测试系统中,所有的电致发光和光致发光信息都被有效地集成到一个统一的数据结构和用户界面中,使数据浏览和材料信息调查非常简单和直观。

 

  LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪
自动版

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 1

手动版

产品特点:

  • 可同时兼容电致和光致发光测试
  • 无损检测,可快速测试
  • 图形系统控制
  • 直观的系统软件
  • 一键式操作
  • 无需样品制备,高生产率
  • 可升级自动测试系统
  • 自动化wafer-size识别
  • 高度定制的系统配置
  • 不同的多功能探针测试需求
  • 可根据不同的测试需求选择探针
  • 可升级为半自动和自动款
  • 易于掌握和操作

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 应用范围:

  • LED/LD外延片性能测量
  • 无损快速EL和wafer-level EL映射
  • 材料科学研究
  • 无晶圆厂材料和系统开发
  • 为配方修改提供即时响应
  • 半导体制造流程与系统优化
  • 为配方修改、工艺和系统优化提供即时响应
  • 为材料生长提供设备级的质量控制
  • 进行高效率晶圆评估,筛选以及设备分选

 

技术参数:

  • 外延片尺寸:2-8”(最高可定制12”)
  • 光谱检测范围:200-800nm
  • 光谱分辨率:0.5-2nm(取决于光谱范围)

 

测试项目:

1、电致发光Mapping :

  • 波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
  • 发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。
  • 电流—正向电流/电压,导通电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻,顶部电阻 正向漏电流,串接电阻,理想因子等。

2、光致发光Mapping :

  • 波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
  • 发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。

3、IV特性Mapping :

  • 正向电流/电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻等

4、其他特性Mapping :

  • 翘曲度
  • 薄膜厚度

 

*(对于上述所有测试项目,无论mapping还是快速测试均可做布局图)

 

测试曲线类型:

  • 特定驱动电流/电压的电致发光光谱
  • 光致发光谱
  • LIV—电流/发光强度—电压
  • 输出强度—驱动电流
  • 波长&半高宽—驱动电流
  • 反向IV

 

激发源:

  • EL: Keithley数字电源
  • PL:405nm光源(其他波长可定制)
  • 探针类型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
  • 电流测试:>10-12A
  • 采样点/采样步骤:
  1. 电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。
  2. 光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置(高分辨率模式应用于高标准的应用,快速扫描模式可用批量生产)
  • 测试时间:约0.5-12分钟/外延片(取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。)
  • Mapping颜色编码: 彩虹色,渐变色,二元色,温度,灰色,或任何由最终用户指定的颜色类型。
  • 输入电压:15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大电压);
  • 环境条件:
  1. 温度: 15 – 30℃
  2. 相对湿度:30% -70%无凝结。
  3. 自动测试系统需要真空

 

测试报告展示:

1、电致/光致发光Mapping图

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 2

 

2、电致/光致发光曲线图

LED外延片PL&EL测试仪-电致发光测试仪 3

 

标签:PLEL

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