电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 产品描述：

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能（PL）做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。无损检测且测量快速。凭借这种独特的性能，MaxMile ELPL技术为光电行业提供了前所未有的电致/光致发光解决方案，带来了新的性能和更高的效率。MaxMile ELPL电致/光致发光测试系统将专有EpiEL和PL技术结合到一个系统中，该系统可以（a）作为常规EpiEL系统，或者（b）作为常规PL测试系统，或者（c）作为ELPL组合测试系统。

MaxMile Robot I电致/光致发光系统是一款半自动测试系统，可以处理2”到8”的晶圆尺寸，而无需更改任何硬件。它可以选择支持最大12英寸的晶圆尺寸。采用业界最新的解决方案，所有关键部件包括系统平台、晶片对准器和盒式载卸台（仅支持1个）等均从零开始设计，强调功能性、可靠性和简单性。该系统具有优越的性能、通用性和可靠性，并且易于掌握和操作，能够以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。

技术参数：

• 外延片尺寸：2-8”（最高可定制12”）
• 工作台尺寸：57 ”×32”×68”
• 晶片加载：自动
• 盒载卸台：最大3个
• 光谱检测范围：200-800nm
• 光谱分辨率：0.5-2nm（取决于光谱范围）

测试项目:

1、电致发光Mapping ：

• 波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。
• 发光强度—辐射/发光功率，量子转换效率。
• 电流—正向电流/电压，导通电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻 正向漏电流，串接电阻，理想因子等。

2、光致发光Mapping ：

• 波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。
• 发光强度—辐射/发光功率，量子转换效率。

3、IV特性Mapping ：

• 正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻等

4、其他特性Mapping ：

• 翘曲度
• 薄膜厚度

*（对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局图）

测试曲线类型：

• 特定驱动电流/电压的电致发光光谱
• 光致发光谱
• LIV—电流/发光强度—电压
• 输出强度—驱动电流
• 波长&半高宽—驱动电流
• 反向IV

激发源：

• EL: Keithley数字电源
• PL:405nm光源（其他波长可定制）
• 探针类型：Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
• 电流测试：>10^-12A
• 采样点/采样步骤：

1. 电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。
2. 光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置（高分辨率模式应用于高标准的应用，快速扫描模式可用批量生产）

• 测试时间：约0.5-12分钟/外延片（取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。）
• Mapping颜色编码: 彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由最终用户指定的颜色类型。
• 输入电压：15A/110VAC 或是10A/220VAC（最大电压）;
• 环境条件：

1. 温度： 15 – 30℃
2. 相对湿度：30％ -70％无凝结。
3. 自动测试系统需要真空

测试报告展示：

1、电致/光致发光Mapping图

2、电致/光致发光曲线图