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电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII

浏览次数:10020 分类:EL/PL测试 半导体EL&PL测试仪

品牌:MaxMile 型号:Robot II System

MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。无损检测且测量快速。凭借这种独特的性能,MaxMile ELPL技术为光电行业提供了前所未有的电致/光致发光解决方案,带来了新的性能和更高的效率。MaxMile ELPL电致/光致发光测试系统将专有EpiEL和PL技术结合到一个系统中,该系统可以(a)作为常规EpiEL系统,或者(b)作为常规PL测试系统,或者(c)作为ELPL组合测试系统。

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 产品描述:

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。无损检测且测量快速。凭借这种独特的性能,MaxMile ELPL技术为光电行业提供了前所未有的电致/光致发光解决方案,带来了新的性能和更高的效率。MaxMile ELPL电致/光致发光测试系统将专有EpiEL和PL技术结合到一个系统中,该系统可以(a)作为常规EpiEL系统,或者(b)作为常规PL测试系统,或者(c)作为ELPL组合测试系统。

 

MaxMile Robot I电致/光致发光系统是一款半自动测试系统,可以处理2”到8”的晶圆尺寸,而无需更改任何硬件。它可以选择支持最大12英寸的晶圆尺寸。采用业界最新的解决方案,所有关键部件包括系统平台、晶片对准器和盒式载卸台(仅支持1个)等均从零开始设计,强调功能性、可靠性和简单性。该系统具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作,能够以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。

 

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII

产品特点:

  • 可同时兼容电致和光致发光测试
  • 无损检测,可快速测试
  • 全自动测试系统
  • 图形系统控制
  • 直观的系统软件
  • 一键式操作
  • 无需样品制备,高生产率
  • 可升级自动测试系统
  • 自动化wafer-size识别
  • 高度定制的系统配置
  • 不同的多功能探针测试需求
  • 可根据不同的测试需求选择探针
  • 可升级为半自动和自动款
  • 易于掌握和操作

 

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 应用范围:

  • LED/LD外延片性能测量
  • 无损快速EL和wafer-level EL映射
  • 材料科学研究
  • 无晶圆厂材料和系统开发
  • 为配方修改提供即时响应
  • 半导体制造流程与系统优化
  • 为配方修改、工艺和系统优化提供即时响应
  • 为材料生长提供设备级的质量控制
  • 进行高效率晶圆评估,筛选以及设备分选

 

技术参数:

  • 外延片尺寸:2-8”(最高可定制12”)
  • 工作台尺寸:57 ”×32”×68”
  • 晶片加载:自动
  • 盒载卸台:最大3个
  • 光谱检测范围:200-800nm
  • 光谱分辨率:0.5-2nm(取决于光谱范围)

 

测试项目:

1、电致发光Mapping :

  • 波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
  • 发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。
  • 电流—正向电流/电压,导通电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻,顶部电阻 正向漏电流,串接电阻,理想因子等。

2、光致发光Mapping :

  • 波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
  • 发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。

3、IV特性Mapping :

  • 正向电流/电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻等

4、其他特性Mapping :

  • 翘曲度
  • 薄膜厚度

 

*(对于上述所有测试项目,无论mapping还是快速测试均可做布局图)

 

测试曲线类型:

  • 特定驱动电流/电压的电致发光光谱
  • 光致发光谱
  • LIV—电流/发光强度—电压
  • 输出强度—驱动电流
  • 波长&半高宽—驱动电流
  • 反向IV

 

激发源:

  • EL: Keithley数字电源
  • PL:405nm光源(其他波长可定制)
  • 探针类型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
  • 电流测试:>10-12A
  • 采样点/采样步骤:
  1. 电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。
  2. 光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置(高分辨率模式应用于高标准的应用,快速扫描模式可用批量生产)
  • 测试时间:约0.5-12分钟/外延片(取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。)
  • Mapping颜色编码: 彩虹色,渐变色,二元色,温度,灰色,或任何由最终用户指定的颜色类型。
  • 输入电压:15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大电压);
  • 环境条件:
  1. 温度: 15 – 30℃
  2. 相对湿度:30% -70%无凝结。
  3. 自动测试系统需要真空

 

测试报告展示:

1、电致/光致发光Mapping图

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 1

 

2、电致/光致发光曲线图

电致发光光致发光测试系统-PL&EL测试仪-RobotII 2

 

标签:PLEL